(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202011103046.8
(22)申请日 2020.10.15
(71)申请人 绍兴网策科技有限公司
地址 312030 浙江省绍兴市柯桥区越州大
道958号浙江工业大学之江学院科创
楼内315、317房间
(72)发明人 金浩
(74)专利代理机构 杭州宇信知识产权代理事务
所(普通合伙) 33231
代理人 李学红
(51)Int.Cl.
G01R 31/28(2006.01)
G01R 31/55(2020.01)
(54)发明名称
机防呆方法
(57)摘要
本发明提出了一种多Site模式测试装置防
作的测试工位基于预设阈值连续测试芯片；若测
Site模式测试装置防呆方法，分选机设置为单
site模式；测试机获取当前工作的测试工位的
site信息；若测试站接收ready信号超时或错误，
则判断第一信号线连接错误；若测试站接收测试
结果错误，则判断第二信号线连接错误，解决了
集成电路测试系统中由于测试排线和分选信号
线连接错误导致的集成电路测试结果错误的问
题。权利要求书2页 说明书6页 附图4页CN 112444730 A 2021.03.05
C N 112444730
A
1.一种多Site模式测试装置防呆方法，所述多Site模式测试装置包括分选机和测试机，所述分选机包含至少两个测试工位，所述测试机包含至少两个测试站，所述测试工位分别通过信号线与测试站连接，其特征在于，包括如下步骤：
S1，分选机设置为单site模式；
S2，当前工作的测试工位基于预设阈值连续测试芯片；
S3，若测试机判断连续测试结果错误，则判断分选机和测试机的信号线连接关系错误。
2.根据权利要求1所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，所述信号线包括用于传输ready信号和分选操作信号的第一信号线和用于传输测试信号/结果的第二信号线。
3.根据权利要求1所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，步骤S3还包括：若出现单次测试结果正确，则测试机判断分选机和测试机的信号线连接关系正确，测试机停止防呆测试。
4.根据权利要求3所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，步骤S3中，测试机根据通讯信息判断单次测试结果，其中通讯信息包括第一信号线返回的信号和第二信号线返回的信号。
5.根据权利要求1所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，步骤S1具体包括，开启当前工作的测试工位的进料口，关闭其余测试工位的进料口。
6.根据权利要求1所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，所述预设阈值N 大于等于2。
7.根据权利要求1-6任一所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，还包括S4，测试机停止测试，并报警提示。
8.一种多Site模式测试装置防呆方法，所述多Site模式测试装置包括分选机和测试机，所述分选机包含至少两个测试工位，所述测试机包含至少两个测试站，所述测试工位分别通过信号线与测试站连接，其特征在于，包括如下步骤：
S1，分选机设置为单site模式；
S2，测试机获取当前工作的测试工位的site信息；
S3，若测试站接收ready信号超时或错误，则判断第一信号线连接错误；若测试站接收测试结果错误，则判断第二信号线连接错误。
9.根据权利要求8所述的测试机防呆方法，其特征在于，所述第一信号线作为分选信号线用于传输ready和分选操作信号，第二信号线作为测试排线用于传输测试信号/结果。
10.根据权利要求8所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，步骤S1具体包括，开启当前工作的测试工位的进料口，关闭其余测试工位的进料口。
11.根据权利要求8所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，步骤S3中，测试站接收ready信号超时或错误包括单次接收超时或错误，或者，基于预设阈值N连续接收超时或错误；测试站接收测试结果错误包括单次接收结果错误，或者，基于预设阈值N连续接收测试结果超时，其中，预设阈值N大于等于2。
12.根据权利要求11所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，步骤S3还包括，若测试站单次接收测试结果超时，或者，基于预设阈值连续接收测试结果超时，则判断第一和/或第二信号线连接错误。
13.根据权利要求12所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，步骤S3包括：
若判断测试结果为错误的测试站为当前工作的测试工位对应的测试站，则判定第二信号线连接错误；
若判断测试结果为错误的测试站与当前工作的测试工位对应的测试站不一致，则判定第一信号线连接错误，或者第一信号线和第二信号线均连接错误。
14.根据权利要求9至13任一所述的多Site模式测试装置防呆方法，其特征在于，还包括S4，测试机停止测试，并报警提示。
15.一种测试机防呆方法，所述测试机包含至少两个测试站，所述测试站分别通过信号线与分选机的测试工位连接，其特征在于，包括如下步骤：
S1，测试机的工作测试站通过第一信号线接收分选机发送的ready信号，所述分选机设置为单Site模式；
S2，测试机的工作测试站通过第二信号线发送测试信号；
S3，若测试机的工作测试站超时未接收ready信号，或超时未收到测试结果，或接收错误的测试结果，则测试机判断单次测试结果错误；
S4，若测试机基于预设阈值N判断连续测试结果错误，则判定第一信号线和/或第二信号线连接错误，其中N大于等于2。
16.根据权利要求15所述的测试机防呆方法，其特征在于，所述第一信号线作为分选信号线用于传输ready和分选操作信号，第二信号线作为测试排线用于传输测试信号/结果。
17.根据权利要求15所述的测试机防呆方法，其特征在于，步骤S4还包括：若单次测试结果正确，则测试机判断第一信号线和/或第二信号线连接正确，中止防呆测试。
18.根据权利要求15-17任一所述的测试机防呆方法，其特征在于，还包括S5，测试机停止测试并报警。
一种多Site模式测试装置防呆方法和测试机防呆方法
技术领域
[0001]本发明涉及集成电路测试领域，尤其涉及一种多Site模式测试装置防呆方法和测试机防呆方法。
背景技术
[0002]集成电路测试是采用测试手段评估集成电路功能和性能的重要环节。集成电路的自动测试系统通常由测试机、分选机等构成来完成对IC功能参数的测试。典型的测试系统结构如图1所示。分选机测试工位上的待测芯片准备就绪后，通过分选信号线向测试机发送ready信号，表示测试芯片已准备好；测试机收到ready信号后向分选机测试工位中放置的待测芯片（DUT）提供测试信号，测试工位根据接收到的测试信号对待测芯片进行测试并将测试结果返回至测试机，测试机对测试结果进行分析以判断待测芯片是否存在缺陷、故障和失效等，并产生分选操作信号发送至分选机。分选机根据分选信号对待测芯片进行相应的操作：将正常工作的待测芯片置入良品料盒，将存在缺陷、故障或失效的待测芯片置入不良品料盒。测试机与分选机采用测试排线彼此连接以传输测试信号和测试结果，以及采用分选信号线彼此连接以传输Ready信号和分选操作信号。
[0003]在现有技术的集成电路测试装置中，出于提高测试效率的考虑，常常采取多个测试工位同时进行测试的模式，即多Site模式。多Site模式的测试装置结构如图2所示，其中：测试机包括若干个测试站，分选机包括若干个测试工位和若干通信口。测试机的一个测试站(Site)和分选机的一个测试工位及其对应的通信口分别连接。测试机与分选机的测试信号连接的正确方式如图2所示，然而，随着测试工位的增加，测试排线和分选信号线的数量也相应增加，在连接测试机和分选机时，测试机和分选机的会出现交叉连接错误连接情况，例如图3所示分选信号线交叉连接，图4所示测试排线交叉连接的情形，在这两种错误的连接下测试机将无法进行正常的集成电路测试。
发明内容
[0004]本发明为了解决上述问题，提供了一种防止测试机的测试排线和分选信号线连接错误的防呆方法，解决了测试排线和分选信号线连接错误导致的集成电路测试结果错误，降低了集成电路发生混料的概率，提高了生产效率，更好的控制了集成电路的品质和集成电路测试的效率。
[0005]为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案实现：
本发明的第一个方面为一种多Site模式测试装置防呆方法，多Site模式测试装置包括分选机和测试机，分选机包含至少两个测试工位，测试机包含至少两个测试站，测试工位分别通过信号线与测试站连接，包括如下步骤：
S1，分选机设置为单Site模式；
S2，当前工作的测试工位基于预设阈值连续测试芯片；
S3，若测试机判断连续测试结果错误，则判断分选机和测试机的信号线连接关系错误。
[0006]进一步的，信号线包括用于传输ready信号和分选操作信号的第一信号线和用于传输测试信号/结果的第二信号线。
[0007]进一步的，步骤S3还包括若出现单次测试结果正确，则测试机判断分选机和测试机的信号线连接关系正确，测试机停止防呆测试。
[0008]进一步的，测试机根据通讯信息判断单次测试结果，其中通讯信息包括第一信号线返回的信号和第二信号线返回的信号。
[0009]进一步的，步骤S1具体包括，开启当前工作的测试工位的进料口，关闭其余测试工位的进料口。
[0010]进一步的，所述预设阈值N大于等于2。
[0011]进一步的，还包括S4，测试机停止测试，并报警提示。
[0012]本发明的第二个方面是提供了一种多Site模式测试装置防呆方法，多Site模式测试装置包括分选机和测试机，分选机包含至少两个测试工位，测试机包含至少两个测试站，测试工位分别通过信号线与测试站连接，包括如下步骤
S1，分选机设置为单site模式；
S2，测试机获取当前工作的测试工位的site信息；
S3，若测试站接收ready信号超时或错误，则判断第一信号线连接错误；若测试站接收测试结果错误，则判断第二信号线连接错误。
[0013]进一步的，第一信号线作为分选信号线用于传输ready和分选操作信号，第二信号线作为测试排线用于传输测试信号/结果。
[0014]进一步的，步骤S1具体包括，开启当前工作的测试工位的进料口，关闭其余测试工位的进料口。
[0015]进一步的，步骤S3中，测试站接收ready信号超时或错误包括单次接收超时或错误，或者，基于预设阈值N连续接收超时或错误；测试站接收测试结果错误包括单次接收结果错误，或者，基于预设阈值N连续接收测试结果超时，其中，预设阈值N大于等于2。[0016]进一步的，步骤S3还包括，若测试站单次接收测试结果超时，或者，基于预设阈值连续接收测试结果超时，则判断第一和/或第二信号线连接
错误。
[0017]进一步的，步骤S3包括：若判断测试结果为错误的测试站为当前工作的测试工位对应的测试站，则判定第二信号线连接错误；若判断测试结果为错误的测试站与当前工作的测试工位对应的测试站不一致，则判定第一信号线连接错误，或者第一信号线和第二信号线均连接错误。
[0018]进一步的，还包括S4，测试机停止测试，并报警提示。
[0019]本发明的第三个方面是提供了一种测试机防呆方法，测试机包含至少两个测试站，测试站分别通过信号线与分选机的测试工位连接，包括如下步骤：
S1，测试机的工作测试站通过第一信号线接收分选机发送的ready信号，分选机设置为单Site模式；
S2，测试机的工作测试站通过第二信号线发送测试信号；
S3，若测试机的工作测试站超时未接收Ready信号，或超时未收到测试结果，或接收错误的测试结果，则测试机判断单次测试结果错误；
S4，若测试机基于预设阈值判断连续测试结果错误，则判定第一信号线和/或第二信号
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