一种真空蒸镀蒸发舟的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，具体地涉及一种真空蒸镀蒸发舟。

背景技术：

2.在柔性基材上均匀涂覆的最常用的方法是高真空带式蒸镀法。其原理是，在真空环境中，将蒸发舟直接通电加热到约1500℃，输入金属丝，金属丝在接触蒸发舟时，会在蒸发舟表面液化，并在真空环境中蒸发，使得在基材的整个宽度方向上涂敷厚度均匀的金属层。
3.现有的蒸发舟一般采用氮化硼复合材料等材质制成，其主要成分为二硼化钛(tib2)与氮化硼(bn)，部分蒸发舟会掺杂aln成分。蒸发舟大致形状均为舟形，中间有凹槽，金属丝接触蒸发舟后蒸发镀到基材表面上。
4.目前蒸发舟存在明显缺点，即因蒸发材料要放在蒸发舟的凹槽部分，中间接触部分的金属丝难以扩散到整个蒸发舟的表面，形成更大的金属熔池，会造成局部温度过高，容易溅出并且影响整体镀膜效果，同时送丝点位置更容易出现蒸发舟局部腐蚀现象，造成蒸发舟的开裂等缺陷，缩短蒸发舟使用寿命。

技术实现要素：

5.为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空蒸镀蒸发舟。
6.本实用新型提供了一种真空蒸镀蒸发舟，包括舟体以及设置在所述舟体上的第一结构面和蒸发槽，所述第一结构面设置在所述舟体的顶面，所述蒸发槽设置在所述第一结构面上，所述蒸发槽包括底壁，所述真空蒸镀蒸发舟还包括凸台，所述凸台从所述蒸发槽的底壁向上凸起设置，所述凸台的顶面设有多条第一导流槽，多条所述第一导流槽交错设置。
7.可选地，部分所述第一导流槽沿着所述第一结构面的长度方向设置，另一部分所述第一导流槽沿着所述第一结构面的宽度方向设置，所述第一导流槽的宽度为0.2mm至2mm，所述第一导流槽的深度为0.2mm至2mm，同向设置的相邻两条所述第一导流槽之间的距离为0.2mm至2mm。
8.可选地，所述凸台的侧面设有多条第二导流槽，所述第二导流槽具有相对的第一端和第二端，所述第一端与至少一条所述第一导流槽连通，所述第二端与所述蒸发槽连通。
9.可选地，所述第二导流槽的宽度为0.2mm至2mm，所述第二导流槽的深度为0.2mm至2mm，相邻两条所述第二导流槽之间的距离为0.2mm至2mm。
10.可选地，所述蒸发槽的底壁设有多条第三导流槽，多条所述第三导流槽沿着所述第一结构面的宽度方向间隔设置。
11.可选地，所述第三导流槽的宽度为0.2mm至2mm，所述第三导流槽的深度为0.2mm至2mm，相邻两条所述第三导流槽之间的距离为0.2mm至2mm。
12.可选地，所述蒸发槽的长度为100mm至200mm，所述蒸发槽的宽度为20mm至50mm。
13.可选地，所述凸台呈圆台状。
14.可选地，所述凸台的高度为1mm至5mm，所述凸台的上表面直径为3mm至20mm，所述凸台的下表面直径为5mm至25mm。
15.可选地，所述凸台与所述蒸发槽的交接位置设置有过渡圆角。
16.本实用新型实施方式提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：
17.本实用新型通过设置凸台作为送丝点，延长了蒸发舟可侵蚀深度，降低因侵蚀造成的蒸发舟开裂等缺陷，延长蒸发舟的使用寿命，金属丝在凸台的顶面液化，并沿着多条第一导流槽向各个方向扩散，增大了金属液扩散均匀性，并使得金属液能够沿着凸台的侧面流向蒸发槽，加大金属液对整个蒸发槽的浸润，使整个蒸发槽温度分布较均匀，降低因温差而产生爆沸发生的频率，提高产品良率。
附图说明
18.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施方式，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。
19.为了更清楚地说明本实用新型实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本实用新型实施方式所述真空蒸镀蒸发舟的结构示意图；
21.图2为本实用新型实施方式所述凸台的设置方式的示意图；
22.图3为本实用新型实施方式所述凸台的设置方式的俯视图。
23.附图标记说明
24.1、舟体；11、第一结构面；12、蒸发槽；2、凸台；21、第一导流槽；3、第二导流槽；4、第三导流槽。
具体实施方式
25.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面将对本实用新型的方案进行进一步描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型的实施方式及实施方式中的特征可以相互组合。
26.下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施；显然，说明书中的实施方式只是本实用新型的一部分实施方式，而不是全部的实施方式。
27.结合图1至图3所示，本实用新型实施方式提供的真空蒸镀蒸发舟包括舟体1以及设置在舟体1上的第一结构面11和蒸发槽12，第一结构面11设置在舟体1的顶面，蒸发槽12设置在第一结构面11上，蒸发槽12包括底壁，真空蒸镀蒸发舟还包括凸台2，凸台2从蒸发槽12的底壁向上凸起设置，凸台2的顶面设有多条第一导流槽21，多条第一导流槽21交错设置。
28.本实用新型通过设置凸台2作为送丝点，延长了蒸发舟可侵蚀深度，降低因侵蚀造成的蒸发舟开裂等缺陷，延长蒸发舟的使用寿命，金属丝在凸台2的顶面液化，并沿着多条第一导流槽21向各个方向扩散，增大了金属液扩散均匀性，并使得金属液能够沿着凸台2的
侧面流向蒸发槽12，加大金属液对整个蒸发槽12的浸润，使整个蒸发槽12温度分布较均匀，降低因温差而产生爆沸发生的频率，提高产品良率。
29.为了增加金属液扩散的均匀性，在本实用新型的其中一个实施方式中，结合图2和图3所示，部分第一导流槽21沿着第一结构面11的长度方向设置，另一部分第一导流槽21沿着第一结构面11的宽度方向设置，以此使得多条第一导流槽21垂直交错设置。其中，第一导流槽21的宽度优选为0.2mm至2mm，第一导流槽21的深度优选为0.2mm至2mm，同向设置的相邻两条第一导流槽21之间的距离优选为0.2mm至2mm。进一步优化地，同向设置的相邻两条第一导流槽21之间的距离相同，以使得金属液能够均匀扩散。
30.为了确保金属液能够均匀的流向蒸发槽12，以进一步确保金属液扩散的均匀性，在本实用新型的另一个实施方式中，结合图2和图3所示，凸台2的侧面设有多条第二导流槽3，第二导流槽3具有相对的第一端和第二端，所述第一端与至少一条第一导流槽21连通，所述第二端与蒸发槽12连通。其中，第二导流槽3的宽度优选为0.2mm至2mm，第二导流槽3的深度优选为0.2mm至2mm，相邻两条第二导流槽3之间的距离优选为0.2mm至2mm。
31.为了确保金属液能够扩散至整个蒸发槽12，在本实用新型的另一个实施方式中，结合图1、图2和图3所示，蒸发槽12的底壁设有多条第三导流槽4，且多条第三导流槽4沿着第一结构面11的宽度方向间隔设置。进一步优化地，相邻两条第三导流槽4之间的距离相同。其中，第三导流槽4的宽度优选为0.2mm至2mm，第三导流槽4的深度优选为0.2mm至2mm，相邻两条第三导流槽4之间的距离优选为0.2mm至2mm。
32.通过设置第三导流槽4，使得金属液能够沿着第三导流槽4扩散到蒸发舟的整个蒸发槽12内，提高了金属液的润湿性，优化了蒸发舟热场分布，降低金属液因温度不均匀产生的爆沸产生，提高产品良率，且第三导流槽4可加大金属液与蒸发舟的接触面积，间接提高蒸发舟的表面能，使金属液更易扩散。
33.本技术提供的真空蒸镀蒸发舟的外形为可为标准舟、梯形舟或异形舟等。图1示意出了真空蒸镀蒸发舟的外形呈矩形的实施方式，但真空蒸镀蒸发舟的外形不限于矩形。其中，蒸发槽12的长度优选为100mm至200mm，蒸发槽12的宽度优选为20mm至50mm，其可根据使用需求进行设计。此外，在蒸发槽12上根据具体需求设置凸台2，使得金属液的流动更加均匀。优选地，如图1所示，以蒸发槽12的距离边部(长边和宽边)的1/4-1/2位置为中心建立凸台2，以使得凸台2满足均匀分布金属液的需求。
34.结合图1至图3所示，凸台2呈圆台状。凸台2具有上表面、下表面和侧面，凸台2的下表面与蒸发槽12连接，且凸台2的上表面的面积小于凸台2的下表面的面积，以使得金属液能够通过凸台2的上表面沿着侧面流向蒸发槽12。其中，凸台2的高度优选为1mm至5mm，凸台2的上表面直径优选为3mm至20mm，凸台2的下表面直径优选为5mm至25mm。进一步优化地，凸台2与蒸发槽12的交接位置设置有过渡圆角，确保金属液流动的流畅性。
35.传统蒸发舟的舟槽通常为平面，金属液在蒸发舟内扩散轨迹为从送丝点向舟面扩散，对蒸发舟的侵蚀主要由于铝液的流动冲刷和高速导入的铝丝的机械冲击。本技术通过在送丝点位置加工凸台2，局部增加了蒸发舟受金属液侵蚀部位的厚度，延长了蒸发舟可侵蚀深度，降低因侵蚀造成的蒸发舟开裂等缺陷，延长蒸发舟的使用寿命。金属丝在凸台2的顶面液化，并沿着多条第一导流槽21向各个方向扩散，且金属液能够沿着凸台2侧面的第二导流槽3流向蒸发槽12，增大了金属液扩散均匀性。蒸发槽12上设有第三导流槽4，使得金属
液能够沿着第三导流槽4扩散到蒸发舟的整个蒸发槽12内，提高了金属液的润湿性，优化了蒸发舟热场分布，降低金属液因温度不均匀产生的爆沸产生，提高产品良率，且第三导流槽4可加大金属液与蒸发舟的接触面积，间接提高蒸发舟的表面能，使金属液更易扩散。
36.需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
37.以上所述仅是本实用新型的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本实用新型。对这些实施方式的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施方式中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所述的这些实施方式，而是要符合与本文所实用新型的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

技术特征：

1.一种真空蒸镀蒸发舟，包括舟体(1)以及设置在所述舟体(1)上的第一结构面(11)和蒸发槽(12)，所述第一结构面(11)设置在所述舟体(1)的顶面，所述蒸发槽(12)设置在所述第一结构面(11)上，所述蒸发槽(12)包括底壁，其特征在于，所述真空蒸镀蒸发舟还包括凸台(2)，所述凸台(2)从所述蒸发槽(12)的底壁向上凸起设置，所述凸台(2)的顶面设有多条第一导流槽(21)，多条所述第一导流槽(21)交错设置。2.根据权利要求1所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，部分所述第一导流槽(21)沿着所述第一结构面(11)的长度方向设置，另一部分所述第一导流槽(21)沿着所述第一结构面(11)的宽度方向设置，所述第一导流槽(21)的宽度为0.2mm至2mm，所述第一导流槽(21)的深度为0.2mm至2mm，同向设置的相邻两条所述第一导流槽(21)之间的距离为0.2mm至2mm。3.根据权利要求1所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，所述凸台(2)的侧面设有多条第二导流槽(3)，所述第二导流槽(3)具有相对的第一端和第二端，所述第一端与至少一条所述第一导流槽(21)连通，所述第二端与所述蒸发槽(12)连通。4.根据权利要求3所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，所述第二导流槽(3)的宽度为0.2mm至2mm，所述第二导流槽(3)的深度为0.2mm至2mm，相邻两条所述第二导流槽(3)之间的距离为0.2mm至2mm。5.根据权利要求1所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，所述蒸发槽(12)的底壁设有多条第三导流槽(4)，多条所述第三导流槽(4)沿着所述第一结构面(11)的宽度方向间隔设置。6.根据权利要求5所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，所述第三导流槽(4)的宽度为0.2mm至2mm，所述第三导流槽(4)的深度为0.2mm至2mm，相邻两条所述第三导流槽(4)之间的距离为0.2mm至2mm。7.根据权利要求1所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，所述蒸发槽(12)的长度为100mm至200mm，所述蒸发槽(12)的宽度为20mm至50mm。8.根据权利要求1至7中任意一项所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，所述凸台(2)呈圆台状。9.根据权利要求8所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，所述凸台(2)的高度为1mm至5mm，所述凸台(2)的上表面直径为3mm至20mm，所述凸台(2)的下表面直径为5mm至25mm。10.根据权利要求8所述的真空蒸镀蒸发舟，其特征在于，所述凸台(2)与所述蒸发槽(12)的交接位置设置有过渡圆角。

技术总结

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，公开了一种真空蒸镀蒸发舟。该真空蒸镀蒸发舟包括舟体以及设置在舟体上的第一结构面和蒸发槽，蒸发槽包括底壁，真空蒸镀蒸发舟还包括凸台，凸台从蒸发槽的底壁向上凸起设置，凸台的顶面设有多条第一导流槽，多条第一导流槽交错设置。本实用新型通过设置凸台作为送丝点，延长了蒸发舟可侵蚀深度，降低因侵蚀造成的蒸发舟开裂等缺陷，延长蒸发舟的使用寿命，金属丝在凸台的顶面液化，并沿着多条第一导流槽向各个方向扩散，增大了金属液扩散均匀性，并使得金属液能够沿着凸台的侧面流向蒸发槽，加大金属液对整个蒸发槽的浸润，使整个蒸发槽温度分布较均匀，降低因温差而产生爆沸发生的频率，提高产品良率。品良率。品良率。