一种蒸发器皿以及真空镀膜系统的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，具体地涉及一种蒸发器皿以及真空镀膜系统。

背景技术：

2.真空蒸镀是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
3.蒸发器皿是蒸发源的重要工作部件，通常用于真空镀膜系统中。蒸镀过程中，送丝机构将金属丝送至蒸发器皿上表面，通过电流加热，蒸发器皿将其上的金属丝汽化为金属蒸汽，金属蒸汽均匀沉积在衬底层上形成金属镀层。蒸发器皿的好坏对金属镀层的镀膜均匀性、成膜质量等参数有着重要影响。
4.然而，在实际生产薄膜的过程中，由于现有的蒸发器皿润湿性较差，金属蒸发液分布不均，无法铺满整个蒸发池。位于边缘的金属蒸发液与蒸发器皿之间的温差较大，容易产生金属液滴的飞溅，金属液滴飞溅到薄膜上时很可能还会将薄膜烧穿，形成孔洞。

技术实现要素：

5.本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的蒸发器皿润湿性差的问题，提供一种蒸发器皿，该蒸发器皿能够减少金属蒸发液的飞溅。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供一种蒸发器皿，包括具有底壁的第一蒸发池，所述第一蒸发池内设置有池壁，所述池壁从所述底壁向上延伸设置，所述池壁首尾相接以形成第二蒸发池，所述第二蒸发池用于容纳金属蒸发液，所述第一蒸发池用于容纳由所述第二蒸发池溢出的所述金属蒸发液。
7.可选地，所述蒸发器皿包括第一表面、第二表面以及第三表面，所述第一表面设置于所述第二表面的上方，所述第三表面连接于所述第一表面和所述第二表面之间，所述第三表面沿所述蒸发器皿的长度方向延伸设置，所述第三表面从所述第一表面倾斜向内地延伸至所述第二表面。
8.可选地，所述蒸发器皿具有上宽下窄的梯形截面。
9.可选地，所述蒸发器皿包括第一表面、第二表面以及第三表面，所述第一表面设置于所述第二表面的上方，所述第三表面连接于所述第一表面和所述第二表面之间，所述第三表面沿所述蒸发器皿的长度方向延伸设置，所述第三表面从所述第一表面竖直向下地延伸至所述第二表面。
10.可选地，所述蒸发器皿具有矩形截面。
11.可选地，所述第一蒸发池包括相邻的内侧壁，所述相邻的内侧壁的连接处设置有圆角。
12.可选地，所述第一蒸发池与所述第二蒸发池的深度均为1mm至5mm。
13.可选地，所述池壁具有顶面，所述第一表面与所述顶面的高度相等。
14.可选地，所述第一蒸发池包括内侧壁，所述池壁包括外侧壁，所述内侧壁与所述外侧壁之间的距离为1mm至20mm。
15.可选地，所述第二蒸发池包括第一池体以及两个第二池体，所述第一池体沿所述蒸发器皿的长度方向延伸设置，两个所述第二池体分别设置于所述第一池体的两端并与所述第一池体连通，所述第二池体在所述蒸发器皿的宽度方向上的尺寸大于所述第一池体在所述蒸发器皿的宽度方向上的尺寸。
16.可选地，所述第二蒸发池具有工字型的投影轮廓。
17.本实用新型还提供一种真空镀膜系统，所述真空镀膜系统包括上述的蒸发器皿。
18.通过上述技术方案，本实用新型中通过在第一蒸发池内设置池壁，并且该池壁首尾相接以形成第二蒸发池，由于第二蒸发池的面积小于第一蒸发池的面积，金属蒸发液更容易在第二蒸发池内铺满，从而能够提高蒸发器皿的润湿性，并且第一蒸发池和第二蒸发池处于同一温度场下，即使金属蒸发液溢出第二蒸发池外，也不会因温场变化造成金属蒸发液的飞溅。
附图说明
19.图1是本实用新型中蒸发器皿的一种实施方式的立体图；
20.图2是图1中蒸发器皿的俯视图；
21.图3是图1中蒸发器皿的侧视图。
22.附图标记说明
23.1-第一蒸发池；11-底壁；12-内侧壁；2-池壁；21-顶面；22-外侧壁；3-第二蒸发池；31-第一池体；32-第二池体；101-第一表面；102-第二表面；103-第三表面；44-圆角。
具体实施方式
24.以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是指参照附图所示的方位，“内、外”通常是指参照各部件本身轮廓的内、外。
25.本实用新型一方面提供一种蒸发器皿，参照图1至图2，包括具有底壁11的第一蒸发池1，所述第一蒸发池1内设置有池壁2，所述池壁2从所述第一蒸发池1的底壁11向上延伸设置，所述池壁2首尾相接以形成第二蒸发池3，所述第二蒸发池3用于容纳金属蒸发液，所述第一蒸发池1用于容纳由所述第二蒸发池3溢出的所述金属蒸发液。
26.具体地，所述蒸发器皿在使用时，在该蒸发器皿的两端施加电压，从而使得该蒸发器皿被加热。金属丝在第二蒸发池3的上方被加热并融化为液体，熔融的金属液流入第二蒸发池3后继续被加热并汽化为气体。
27.通过上述技术方案，本实用新型中通过在第一蒸发池1内设置池壁2，并且该池壁2首尾相接形成第二蒸发池3，由于第二蒸发池3的面积小于第一蒸发池1的面积，金属蒸发液更容易在第二蒸发池3内铺满，从而能够提高蒸发器皿的润湿性，优化蒸发器皿的温场分布；并且第一蒸发池1和第二蒸发池3处于同一温度场下，即使金属蒸发液溢出第二蒸发池3
外，也不会因温场变化造成金属蒸发液的飞溅。
28.参照图1-图3，在本实用新型的一种实施方式中，所述蒸发器皿包括第一表面101、第二表面102以及第三表面103，所述第一表面101设置于所述第二表面102的上方，所述第三表面103连接于所述第一表面101和所述第二表面102之间，所述第三表面103沿所述蒸发器皿的长度方向延伸设置，所述第三表面103从所述第一表面101倾斜向内地延伸至所述第二表面102。其中，优选地，所述蒸发器皿具有上宽下窄的梯形截面(参见图3)。该实施方式在不减少第一蒸发池1的蒸发面积的前提下，通过减少蒸发器皿的体积，从而降低了加热蒸发器皿所使用的能耗。
29.在本实用新型的另一种实施方式中，为了降低蒸发器皿的制作难度，所述蒸发器皿包括第一表面101、第二表面102以及第三表面103，所述第一表面101设置于所述第二表面102的上方，所述第三表面103连接于所述第一表面101和所述第二表面102之间，所述第三表面103沿所述蒸发器皿的长度方向延伸设置，所述第三表面103从所述第一表面101竖直向下地延伸至所述第二表面102。其中，优选地，所述蒸发器皿具有矩形截面。
30.此外，为了减少金属蒸发液在第一蒸发池1的拐角处的堆积，提高金属蒸发液的流动性，在一种实施方式中，所述第一蒸发池1包括相邻的内侧壁12，所述相邻的内侧壁12的连接处设置有圆角44(参见图2)。
31.进一步地，为了使得第二蒸发池3内容纳较多的金属蒸发液，在一种实施方式中，所述池壁2具有顶面21，顶面21可以与所述蒸发器皿的第一表面101的高度相等。
32.为了便于所述蒸发器皿的制作，在本实用新型的一种实施方式中，所述第一蒸发池1与所述第二蒸发池3的深度均可以为1mm至5mm。另外，所述第一蒸发池1包括内侧壁12，所述池壁2包括外侧壁，所述内侧壁12与所述外侧壁22之间的距离优选为1mm至20mm。
33.如图2所示，为了进一步提高蒸发器皿的润湿性，优化蒸发器皿的温场分布，所述第二蒸发池3包括第一池体31以及两个第二池体32，所述第一池体31沿所述蒸发器皿的长度方向延伸，两个所述第二池体31分别设置于所述第一池体31的两端并与所述第一池体31连通，所述第二池体32在所述蒸发器皿的宽度方向上的尺寸大于所述第一池体31在所述蒸发器皿宽度方向上的尺寸。在该实施方式中，池壁2首尾相接以使得第二蒸发池3具有“工”字型的投影轮廓。在其他实施方式中，池壁2可以首尾相接以使得第二蒸发池3具有矩形、椭圆形或者其他形状的投影轮廓。
34.此外，在一种实施方式中，所述蒸发器皿的材质包括二硼化钛和氮化硼。在另一种实施方式中，所述蒸发器皿的材质还可以包括氮化铝、氧化铝、氧化锆、碳化钨、碳化硅、氮化硅中的一种或多种。
35.本实用新型第二方面提供一种真空镀膜系统，所述真空镀膜系统包括上述的蒸发器皿。该真空镀膜系统与上述的蒸发器皿相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。
36.以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于此。在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，包括各个具体技术特征以任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。但这些简单变型和组合同样应当视为本实用新型所公开的内容，均属于本实用新型的保护范围。

技术特征：

1.一种蒸发器皿，包括具有底壁(11)的第一蒸发池(1)，其特征在于，所述第一蒸发池(1)内设置有池壁(2)，所述池壁(2)从所述底壁(11)向上延伸设置，所述池壁(2)首尾相接以形成第二蒸发池(3)，所述第二蒸发池(3)用于容纳金属蒸发液，所述第一蒸发池(1)用于容纳由所述第二蒸发池(3)溢出的所述金属蒸发液。2.根据权利要求1所述的蒸发器皿，其特征在于，所述蒸发器皿包括第一表面(101)、第二表面(102)以及第三表面(103)，所述第一表面(101)设置于所述第二表面(102)的上方，所述第三表面(103)连接于所述第一表面(101)和所述第二表面(102)之间，所述第三表面(103)沿所述蒸发器皿的长度方向延伸设置，所述第三表面(103)从所述第一表面(101)倾斜向内地延伸至所述第二表面(102)。3.根据权利要求2所述的蒸发器皿，其特征在于，所述蒸发器皿具有上宽下窄的梯形截面。4.根据权利要求1所述的蒸发器皿，其特征在于，所述蒸发器皿包括第一表面(101)、第二表面(102)以及第三表面(103)，所述第一表面(101)设置于所述第二表面(102)的上方，所述第三表面(103)连接于所述第一表面(101)和所述第二表面(102)之间，所述第三表面(103)沿所述蒸发器皿的长度方向延伸设置，所述第三表面(103)从所述第一表面(101)竖直向下地延伸至所述第二表面(102)。5.根据权利要求4所述的蒸发器皿，其特征在于，所述蒸发器皿具有矩形截面。6.根据权利要求1所述的蒸发器皿，其特征在于，所述第一蒸发池(1)包括相邻的内侧壁(12)，所述相邻的内侧壁(12)的连接处设置有圆角(44)；并且/或者所述第一蒸发池(1)与所述第二蒸发池(3)的深度均为1mm至5mm。7.根据权利要求2或4所述的蒸发器皿，其特征在于，所述池壁(2)具有顶面(21)，所述第一表面(101)与所述顶面(21)的高度相等。8.根据权利要求1所述的蒸发器皿，其特征在于，所述第一蒸发池(1)包括内侧壁(12)，所述池壁(2)包括外侧壁(22)，所述内侧壁(12)与所述外侧壁(22)之间的距离为1mm至20mm；并且/或者，所述第二蒸发池(3)包括第一池体(31)以及两个第二池体(32)，所述第一池体(31)沿所述蒸发器皿的长度方向延伸设置，两个所述第二池体(32)分别设置于所述第一池体(31)的两端并与所述第一池体(31)连通，所述第二池体(32)在所述蒸发器皿的宽度方向上的尺寸大于所述第一池体(31)在所述蒸发器皿的宽度方向上的尺寸。9.根据权利要求8所述的蒸发器皿，其特征在于，所述第二蒸发池(3)具有工字型的投影轮廓。10.一种真空镀膜系统，其特征在于，所述真空镀膜系统包括根据权利要求1-9中任意一项所述的蒸发器皿。

技术总结

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，公开了一种蒸发器皿以及真空镀膜系统。所述蒸发器皿包括具有底壁的第一蒸发池，所述第一蒸发池内设置有池壁，所述池壁从所述底壁向上延伸设置，所述池壁首尾相接以形成第二蒸发池，所述第二蒸发池用于容纳金属蒸发液，所述第一蒸发池用于容纳由所述第二蒸发池溢出的所述金属蒸发液。本实用新型的蒸发器皿通过在第一蒸发池内设置池壁，并且该池壁首尾相接形成第二蒸发池，由于第二蒸发池的面积小于第一蒸发池的面积，金属蒸发液更容易在第二蒸发池内铺满，从而能够提高蒸发器皿的润湿性，并且第一蒸发池和第二蒸发池处于同一温度场下，即使金属蒸发液溢出第二蒸发池外，也不会因温场变化造成金属蒸发液的飞溅。金属蒸发液的飞溅。金属蒸发液的飞溅。