首页 > 专利学习

MEMS器件[发明专利]

专利名称：MEMS器件

专利类型：发明专利

发明人：施芹，胡启方，裘安萍，徐景辉申请号：CN202010761268.2

申请日：20200731

公开号：CN114057154A

公开日：

20220218

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：一种MEMS器件，属于电子技术领域，可应用于手机、智能家居、物联网(Internetofthings，IoT)、自动驾驶等领域。该MEMS器件包括管壳、底板和第一惯性组件。第一惯性组件位于底板与管壳形成的封装空间内。底板面向封装空间的表面具有第一对位部，第一惯性组件具有第一安装部。第一安装部与第一对位部的形状匹配。也即，该MEMS器件自带安装对准基准，第一安装部与第一对位部连接，就可以将第一惯性组件以预设角度安装在底板上。工艺简单，安装成本较低。并且，由于第一惯性组件的底部不直接和底板连接，所以可以降低因封装应力而导致的各项零位误差。

申请人：华为技术有限公司，南京理工大学

地址：518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼

国籍：CN

代理机构：北京三高永信知识产权代理有限责任公司

代理人：颜晶

本文发布于:2024-09-20 22:51:27，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/1/437980.html

上一篇：基于深度学习的四旋翼无人机地面效应补偿降落控制方法[发明专利]

下一篇：基于高阶滑模算法的直线永磁电机位置伺服系统[发明专利]