一种基于硅通孔技术的低通滤波器[发明专利]

专利名称:一种基于硅通孔技术的低通滤波器专利类型:发明专利
发明人:王凤娟,王刚,余宁梅
申请号:CN201610533310.9
申请日:20160708
公开号:CN106158835A
公开日:
20161123
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明属于滤波器,具体涉及一种基于硅通孔技术的低通滤波器,包括螺旋电感单元、重新布线层和硅通孔组件,所述螺旋电感单元由螺旋电感一和螺旋电感二组成,所述重新布线层包括输入端、输出端、接地金属、互连层一和互连层二,所述硅通孔组件中包括五个结构相同的同轴型硅通孔,分别为硅通孔一、硅通孔二、硅通孔三、硅通孔四和硅通孔五,所述同轴型硅通孔由外向内依次包括第一介质层、外金属层、第二介质层和金属芯层;本发明采用同轴型硅通孔实现垂直的电容器,相对于普通的平面结构电容器,大大缩小了电容器所占面积,将器件尺寸缩小到微米量级,不仅可以提高电路的集成度,而且节约成本。
申请人:西安理工大学
地址:710048 陕西省西安市金花南路5号
国籍:CN
代理机构:西安智萃知识产权代理有限公司
代理人:张蓓

本文发布于:2024-09-21 12:35:24,感谢您对本站的认可!

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