发明人：孟璇璇，张峻豪，张鸿军
申请号：CN201520334345.0
申请日：20150521
公开号：CN204758648U
公开日：
20151111
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型提供了一种用于测试射频GSG结构的探针卡，包括电路板、探针模组和连接线，探针模组和连接线设置于电路板上，探针模组与射频GSG结构电连接并通过连接线与电路板电连接，其中，在射频GSG结构的测试信号的传输通道上设置有EMI滤波装置，用于提高探针卡的抗EMI 能力，进而提高测试准确度。此外，EMI滤波装置可设置在与射频GSG结构的栅极焊垫连接的连接线上，EMI屏蔽效果好，且采用铁氧体元件并套接于连接线上，结构简单，导入方便。另外，利用跳线将与射频GSG结构的栅极焊垫连接的连接线以及与射频GSG结构的源极焊垫连接的连接线连通，并作为接地点，可以提升探针卡的接地效果，进一步提高测试准确度。
申请人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
地址：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
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