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机械手、基底传输系统和光刻机[实用新型专利]

专利名称：机械手、基底传输系统和光刻机

专利类型：实用新型专利

发明人：张阔峰，姜杰，郑锋标，郑教增，陈淮阳，陶洪建，王刚申请号：CN201721514589.2

申请日：20171114

公开号：CN207402799U

公开日：

20180525

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型提供了一种机械手，包括：机械手手臂、柔性缓冲装置、机械手手部、第一定位端和第二定位端，所述柔性缓冲装置连接于所述机械手手臂与机械手手部之间，所述第一定位端固定在柔性缓冲装置上，所述第二定位端安装于待定位位置，所述第一定位端随着机械手手部运动，当机械手手部运动到目标位置时，所述第一定位端为待定位位置处的所述第二定位端所限位。本实用新型实施例提供了一种机械手、基底传输系统和光刻机，机械手包括柔性缓冲装置，在定位时，机械手手部与机械手手臂解耦，避免常规定位技术的刚性接触，避免将机械手手臂处的震动传至机械手手部，不影响机械手的使用寿命，提高了机械手点到点的位置重复性。

申请人：上海微电子装备(集团)股份有限公司

地址：201203 上海市浦东新区张东路1525号

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

本文发布于:2024-09-23 01:19:40，感谢您对本站的认可！

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