专利名称：外观检查装置和外观检查装置用输送部专利类型：发明专利 发明人：今川丰，佐佐木义浩
申请号：CN200510127094.X
申请日：20051130
公开号：CN1800775A
公开日：
20060712
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：提供一种部件数量少、制造成本低、结构紧凑并且设置面积小的外观检查装置和外观检查装置用输送部。在本发明的外观检查装置(100)中，在于旋转载物台(103)上旋转的水平旋转输送部(101)的两端配置检查对象物，通过使构成水平旋转输送部(101)的臂(120、121)正反反转180度，可以有效进行移动、反转及测定时的三维移动，能够削减输送所需要的载物台和输送部的数量。并且，由于以旋转载物台(103)为中心在其周边配置二维刻印面检查功能、二维下表面测定(GBA型半导体装置等电子部件的情况下为球面，QFP型半导体装置等电子部件的情况下导线下表面)检查功能，所以能够实现整体紧凑的设置面积。
申请人：新光工程技术股份有限公司，恩益禧电子股份有限公司
地址：日本新潟县
国籍：JP
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
豫公网安备41160202000603
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