一种石英双炉门结构[发明专利]

专利名称：一种石英双炉门结构专利类型：发明专利

发明人：张海林，滕玉朋

申请号：CN202010481591.4申请日：20200601

公开号：CN111486712A

公开日：

20200804

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种石英双炉门结构，包括内密封石英炉门、石英包、保温材料、外密封炉门、炉口密封垫、炉门水冷进出水嘴、炉门腔室进气管、双炉门驱动机构安装座、弹性部件、炉门腔室、双腔室石英工艺管、冷却水道和压力平衡气口，所述双腔室石英工艺管的左端设置有炉门腔室，所述炉门腔室的内部设置有内密封石英炉门，所述内密封石英炉门的左端固定安装有石英包。本发明通过对常用的炉门结构进行改进，使其在使用炉门处不会产生双腔室工艺管在工艺过程中的反应物在炉口处积存，最终实现炉口干净而使双炉门的密封效果保持良好、炉口没有反应物积存，也不会阻碍工艺管内完成工艺工作的物料进出顺畅，不浪费清理和维护时间。

申请人：青岛赛瑞达电子装备股份有限公司

地址：266000 山东省青岛市李沧区北崂路1022号F楼

国籍：CN

本文发布于:2024-09-21 03:24:14，感谢您对本站的认可！

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