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一种建模方法[发明专利]

专利名称：一种建模方法

专利类型：发明专利

发明人：周育润，柯思羽，陈冠廷，张凱翔申请号：CN202011389935.5

申请日：20201201

公开号：CN112541205A

公开日：

20210323

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明提供了一种建模方法，包括：获取预设量测图形；在所述预设量测图形的周边设计对准图形，形成具有对准功能的中间量测图形；基于所述中间量测图形进行仿真；获取仿真后图形影像上的轮廓图形；基于所述轮廓图形和所述中间量测图形上的对准图形进行漂移校准；基于校准结果对所述预设量测图形进行模型修正，得到目标建模图形。该建模方法通过在预设量测图形的周边设计对准图形，基于该对准图形进行漂移校准，进而对预设量测图形进行模型修正得到目标建模图形，解决了现有技术中存在漂移的问题。

申请人：泉芯集成电路制造(济南)有限公司

地址：250101 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室

国籍：CN

代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：李晓光

本文发布于:2024-09-25 07:21:37，感谢您对本站的认可！

本文链接：https://www.17tex.com/tex/1/413941.html

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