发明人:赵宁,詹翡纱
申请号:CN202210011015.2
申请日:20220106
公开号:CN114368688A
公开日:
20220419
摘要:本发明公开了一种用于天车的旋转机构,包括承载座,所述包括承载座下端面可拆卸连接托架,所述托架下端面左侧设有驱动电机,所述驱动电机的输出轴连接减速机,所述减速机末端的蜗杆连接传动齿轮,所述传动齿轮通过皮带连接旋转轮,所述旋转轮下端面上固定连接检知板,所述检知板外边缘上方设有检测传感器。通过本旋转机构能够实现晶圆片盒可控角度的旋转,可满足不同机台装载口的布局需要,同时可在晶圆片盒运输的过程中对其进行180度旋转,无需输送带的台车进行调整,大大提高了工作效率。 申请人:耘德有限公司
地址:315336 浙江省宁波市杭州湾新区世纪城梦想公寓7号楼1511室(鸿基商务秘书托管)
国籍:CN
代理机构:北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人:苏泳生