一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113264670 A (43)申请公布日 2021.08.17

(21)申请号 CN202110393643.7

(22)申请日 2021.04.13

(71)申请人江苏永鼎股份有限公司;江苏永鼎光纤科技有限公司

地址 215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇318国道74K处芦墟段北侧

(72)发明人王龙飞李凡顾建宏帅小立刘顺冀云磊张佚吴林清

(74)专利代理机构 32277 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人沈彬彬

(51)Int.CI

C03B37/018(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管

(57)摘要

本发明公开了一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管，该方法包括以下步骤：S10、在靶棒表面沉积二氧化硅粉末，得到疏松体棒；S20、将疏松体棒转移至烧结炉中，对疏松体棒进行脱水处理，得到纯化疏松体棒；S30、向烧结炉中通入含有C2F6和氦气的混合气体一，对纯化疏松体棒进行氟掺杂，得到纯化掺氟疏松粉棒；S40、向烧结炉中通入含有C2F6和氦气的混合气体二，对纯化掺氟疏松粉棒进行烧结，使其完全玻璃化，得到烧结预制棒；S50、重复步骤S10‑S40n次，得到烧结预制棒成品，n为总沉积次数；S60、将烧结预制棒成品加工成石英管。本发明通过多次沉积和氟掺杂疏松体棒，可增大掺氟石英管尺寸、保证氟含量均匀性。具有工艺简单，掺氟效果好的优点。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-08-17	公开	公开
2023-06-13	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C03B37/018专利申请号:2021103936437申请公布日:20210817	发明专利申请公布后的驳回