一种数字化激光直写曝光机分区对位方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 114200786 A (43)申请公布日 2022.03.18

(21)申请号 CN202111671014.2

(22)申请日 2021.12.31

(71)申请人中山新诺科技股份有限公司

地址 528437 广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一

(72)发明人白国梁梅文辉汪孝军罗覃东

(74)专利代理机构 11346 北京汇智胜知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人赵立军

(51)Int.CI

G03F7/20(20060101)

G03F9/00(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种数字化激光直写曝光机分区对位方法

(57)摘要

本发明公开了一种数字化激光直写曝光机分区对位方法。所述方法包括：S1、制作一次曝光资料，其中，在矩形的一次曝光图的两侧，根据相机视野布置多个mark点；S2、在第一曝光机台上对基板曝光一次曝光资料；S3、制作二次曝光资料；S4、选取四个角落mark点作为对位点，生成对位数据；S5、根据一次曝光机台的扫描轴轨迹添加对位点；S6、将所述基板放置在第二曝光机台上，通过对位相机获取基板上作为对位点的mark点的实际坐标数据；S7、根据所述作为对位点的mark点的实际坐标数据与理论坐标数据，对二次曝光图形进行分区对位涨缩、旋转与偏移，使得二次曝光图形贴合于一次曝光图形。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2022-03-18	公开	发明专利申请公布
2022-04-05	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20专利申请号:2021116710142申请日:20211231	实质审查的生效
2023-07-04	授权	发明专利权授予