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椭偏仪测量系统的随机误差评估方法[发明专利]

专利名称：椭偏仪测量系统的随机误差评估方法

专利类型：发明专利

发明人：刘世元，谷洪刚，陈修国，张传维，李伟奇，杜卫超申请号：CN201310094643.2

申请日：20130322

公开号：CN103217385A

公开日：

20130724

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种评估椭偏仪测量系统的随机误差的方法。该方法首先建立椭偏仪测量系统的系统模型和系统传递函数，然后通过分析椭偏仪测量系统的随机噪声的来源及特点，建立适用于具体配置类型椭偏仪测量系统的随机噪声模型，最后根据传递函数和随机噪声模型，推导随机噪声的传递模型，从而计算评估系统的随机误差。评估仪器随机误差的一般方法是进行多次测量，然后根据多次测量结果的分布情况评估测量系统的随机误差，本发明方法通过建立随机噪声模型和计算随机噪声传递特性，可以在一次测量中评估椭偏仪测量系统的随机误差。适用于现有多种配置类型的椭偏仪测量系统。

申请人：华中科技大学

地址：430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

国籍：CN

代理机构：华中科技大学专利中心

代理人：曹葆青

本文发布于:2024-09-22 04:28:16，感谢您对本站的认可！

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