一种电容式湿度传感器及其制作方法

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 113340950 A (43)申请公布日 2021.09.03

(21)申请号 CN202110592227.X

(22)申请日 2021.05.28

(71)申请人苏州锐光科技有限公司

地址 215211 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号

(72)发明人不公告发明人

(74)专利代理机构 44260 深圳市兴科达知识产权代理有限公司

代理人徐民奎

(51)Int.CI

G01N27/22(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种电容式湿度传感器及其制作方法

(57)摘要

本发明公开了一种电容式湿度传感器及其制作方法，具体涉及湿度传感器技术领域，所述的电容式湿度传感器采用下至上依次设置的衬底、绝缘层、底部电极层、湿敏材料层和上电极层，所述底部电极层的端部边缘处刻蚀出底电极焊盘，所述上电极层的端部边缘处刻蚀出上电极焊盘，所述湿敏材料层采用蛇形排布结构。本发明采用湿敏材料蛇形凸起结构设计，加大外界空气与湿敏材料的接触面积，提高湿敏材料吸湿和脱湿的速度，从而提高湿度传感器的灵敏度、降低响应时间及降低回滞特性，进而满足更高精度的测试要。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2021-09-03	公开	公开
2023-07-18	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):G01N27/22专利申请号:202110592227X申请公布日:20210903	发明专利申请公布后的驳回