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光罩夹具[实用新型专利]

专利名称：光罩夹具

专利类型：实用新型专利

发明人：杨艳全

申请号：CN201420019263.2申请日：20140113

公开号：CN203720527U

公开日：

20140716

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型提出了一种用于夹紧光罩边缘的光罩夹具，包括手柄、与手柄固定在一起的活动夹、和设于光罩夹具内部的弹簧，所述弹簧与所述活动夹、手柄均相连接。光罩夹具具有能够活动的活动夹，被一弹簧控制，能够夹住光罩的边缘，不会污染所述光罩，同时由于光罩夹具能够牢靠的夹紧所述光罩，防止所述光罩脱落，避免对所述光罩造成损伤，也能够避免对下方的透镜造成破坏，提高了取出光罩的成功率。

申请人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

地址：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

本文发布于:2024-09-21 13:27:16，感谢您对本站的认可！

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