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用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针[发明专利]

专利名称：用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针专利类型：发明专利

发明人：宋杰，齐岱宗

申请号：CN201711111195.7

申请日：20171113

公开号：CN107879309A

公开日：

20180406

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：一种用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针，中空悬臂探针，为扁立方体结构，由漏斗状的探针和管状的悬臂梁组成，其中：悬臂梁与探针内部中空且相连通以输送物质，即以悬臂梁的一端为始端、探针的针尖开口一端为末端，通过在始端施加正压或负压，实现从末端吸入或投送物质至试样表面。本发明以MEMS技术对传统悬臂梁与探针施以恰当改造，则可取得具有物质投送及提取功能的新结构，即将带有输送通道的悬臂梁与探针的组合结构“中空悬臂探针”。本发明通过与试样表面相吸引或排斥而反映出试样的表面形貌信息。

申请人：上海交通大学

地址：200240 上海市闵行区东川路800号

国籍：CN

代理机构：上海交达专利事务所

本文发布于:2024-09-22 01:57:27，感谢您对本站的认可！

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