专利类型:实用新型专利
发明人:谭勇,姚念,银宗强,郗志通,罗钰萌申请号:CN201020180828.7
申请日:20100429
公开号:CN201680151U
公开日:
20101222
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本实用新型揭示了一种化学试剂供应装置,所述化学试剂供应装置包括:回收管路,其一端连接储存有化学试剂的供应单元,另一端连接储液单元;第一供气管路,其一端连接所述储液单元,另一端连接第一三通接头;第二供气管路,其一端连接所述第一三通接头,另一端连接气体供应单元;第一排气管路,其一端连接所述第一三通接头,另一端连接气体排放单元。所述化学试剂供应装置可以回收供应单元内的化学试剂,且所述化学试剂不会受到任何污染,可继续用于工艺生产,节约了生产成本,且减轻了废水处理单元的负担,并有利于保护环境。 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址:430205 湖北省武汉市东湖技术开发区高新四路18号
国籍:CN
代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)