一．实验目的
了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。
二．基本原理
扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条，接成电桥。在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，我们把这一变化引入测量电路，其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。
三．需用器件与单元
压力源（已在主控箱）、压力表、压阻式压力传感器、CGQ-002压力传感器实验模块、流量计、连接导管、电压表、直流稳压源±4V、±15V。
四．实验步骤
1．根据图2-1连接管路和电路，主控箱内的气源部分，压缩泵、贮气箱、流量计已接好。将硬管一端插入主控板上的气源快速插座中（注意管子拉出时请用手按住气源插座边缘往内压，则硬管可轻松拉出）。另一端软导管与压力传感器接通。这里选用的差压传感器两只气咀中，靠右边一只为高压嘴，另一只为低压嘴。本实验模块连接见图2-2，压力传感器有4端：3端VS接+4V电源，1端接地线，2端为V
o+，4端为Vo- 。1、2、3、4端顺序排列见图2-2。
图2-2 压力传感器压力实验接线图
2．实验模块接入模块电源±15V（从主控箱引入），检查无误后，合上主控箱电源开关。实验模块上Rw2用于调节零位，Rw1可调节放大倍数，按图2-2接线，模块的放大器输出Vo2引到主控箱电压表表的Vi插座。将显示选择开关拨到20V档，反复调节Rw2（Rw1旋到 满度的1/3）使电压表表显示为零。
3．先松开流量计下端进气口调气阀的旋钮，开通流量计。
4．合上主控箱上的气源开关，启动压缩泵，此时可看到流量计中的滚珠浮子向上浮起悬于玻璃管中。
5．逐步关小流量计旋钮，使标准压力表指示某一刻度。
压力传感器电路
6．仔细地逐步由小到大调节流量计旋钮，使在5~20KP之间每上升1KP分别读取压力表读数，记下相应的电压表值列于表2-1。
表2-1 压力传感器输出电压与输入压力值
7．计算本系统的灵敏度和非线性误差。
8．如果本实验装置要成为一个压力计，则必须对电路进行标定，方法如下：输入10KPa气压，调节Rw2（低限调节）使电压表显示1.00V，当输入20KPa气压，调节Rw1（高限调节）使电压表显示2.00V，这个过程反复调节直到足够的精度即可。
五．思考题
利用本系统如何进行真空度测量？
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