一种用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备。

背景技术：

2.纳米压印设备通过模片对基板进行压印时，需要对模片进行固定，然后再通过压板压合或辊轴碾压的方式使模片均匀的与下方基板平整的压合。在此过程中，由于模片材质较薄，模片在进行安装固定时，很容易使模片处于一种松弛或褶皱状态，继而无法与下方基板保持较好的平整度，因此也很难达到较好的压印效果。

技术实现要素：

3.(一)要解决的技术问题
4.本实用新型旨在提出一种用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备，能够将装夹后的模片张紧展平，使模片与下方基板压合时保持较好的平整度，有效提升纳米压印设备的压印效果。
5.(二)技术方案
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于纳米压印的模片固定装置，包括：支架；设置有升降装置；
7.固定架组件，与所述升降装置相连接；所述固定架组件包括框架，以及至少设置于所述框架一端用于模片张紧的弹性夹紧机构；
8.张紧组件，用于将所述模片张紧，所述张紧组件包括分别压设于所述模片两端并沿所述支架高度方向上下运动的第一压紧组件和第二压紧组件。
9.根据本实用新型一种优选实施方式，所述框架包括外框架和内框架，所述外框架与所述支架滑动连接，所述内框架架设于所述外框架，所述内框架的下底面水平设置有所述模片，所述模片远离所述弹性夹紧机构的一端与所述内框架的下底面可拆卸连接。
10.根据本实用新型一种优选实施方式，所述弹性夹紧机构包括沿所述模片张紧方向设置于所述内框架的相对两侧的第一导轨，以及与所述第一导轨滑动连接的弹性夹板，所述弹性夹板与所述模片的一端紧固，所述模片的另一端通过设置于所述内框架底部的压板紧固。
11.根据本实用新型一种优选实施方式，所述外框架设置有与所述支架滑动连接的竖直壁，所述第一压紧组件与所述竖直壁紧固。
12.根据本实用新型一种优选实施方式，所述第一压紧组件包括沿所述竖直壁高度方向设置的第二导轨、设置于所述竖直壁顶部的第一气缸、以及设置于所述第一气缸的驱动端并与所述第二导轨滑动连接的压头，所述压头位于所述模片一端的上方。
13.根据本实用新型一种优选实施方式，所述第二压紧组件包括与所述弹性夹板滑动配合的压紧件，以及设置于所述外框架的相对两侧壁用于驱动所述压紧件压紧所述模片的
驱动组件。
14.根据本实用新型一种优选实施方式，所述驱动组件包括分别枢接于所述外框架侧壁相对两侧壁的枢接臂，以及设置于所述外框架的侧壁用于驱动所述枢接臂翻转的气缸，所述枢接臂远离所述气缸的一端与设置于所述压紧件侧壁的凸起相卡接。
15.根据本实用新型一种优选实施方式，所述压紧件包括横跨于所述外框架的压紧架，以及水平设置于所述压紧架内的压条，所述压条通过导杆与所述压紧架紧固。
16.根据本实用新型一种优选实施方式，所述弹性夹板的一侧设置有延伸凸起，所述延伸凸起贯穿设置有导孔，所述导杆穿设于所述导孔并与所述导孔滑动连接；所述压条位于所述延伸凸起的下方。
17.为解决上述技术问题，本实用新型还提供一种纳米压印设备，包括上述任意一项所述的模片固定装置。
18.(三)有益效果
19.本实用新型提供的用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备，在支架上设置升降装置与固定架组件连接，并在固定架组件的框架一端设置用于模片张紧的弹性夹紧机构，在张紧组件中分别设置压紧模片两端并沿支架高度方向上下运动的第一压紧组件和第二压紧组件，使用时，通过弹性夹紧机构将模片张紧于固定架组件内；通过第一压紧组件沿竖直方向运动将模片一端张紧，通过第二压紧组件将模片另一端张紧，从而将装夹后的模片张紧展平，使模片与下方基板压合时保持较好的平整度，有效提升纳米压印设备的压印效果。
附图说明
20.图1是本实用新型用于纳米压印的模片固定装置的结构示意图；
21.图2是本实用新型内框架的结构示意图；
22.图3是本实用新型固定架组件的俯视图；
23.图4是本实用新型夹紧组件的结构示意图；
24.图5是本实用新型中模片处于张紧状态的示意图；
25.其中：1-模片，2-支架，3-固定架组件，31-外框架，32-内框架，321-支撑腿，322-第一压板，323-提手，4-驱动机构，51-第一压紧组件，511-滑座第二导轨，512-第一气缸，513-压头，52-第二压紧组件，5211-弹性夹板，52111-延伸凸起，5212-弹力件，5213-定位块，5214-第二压板，5221-压紧架，5222-导杆，5223-压条，5224-凸起，5231-枢接臂，5232-气缸，5233-连接件，6-导风件。
具体实施方式
26.在对于具体实施例的介绍过程中，对结构、性能、效果或者其他特征的细节描述是为了使本领域的技术人员对实施例能够充分理解。但是，并不排除本领域技术人员可以在特定情况下，以不含有上述结构、性能、效果或者其他特征的技术方案来实施本实用新型。
27.附图中的框图一般表示的是功能实体，并不一定必然与物理上独立的实体相对应。即，可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理单元装置和/或微控制器装置中实现这些功能实
体。
28.各附图中相同的附图标记表示相同或类似的元件、组件或部分，因而下文中可能省略了对相同或类似的元件、组件或部分的重复描述。还应理解，虽然本文中可能使用第一、第二、第三等表示编号的定语来描述各种器件、元件、组件或部分，但是这些器件、元件、组件或部分不应受这些定语的限制。也就是说，这些定语仅是用来将一者与另一者区分。例如，第一器件亦可称为第二器件，但不偏离本实用新型实质的技术方案。此外，术语“和/或”、“及/或”是指包括所列出项目中的任一个或多个的所有组合。
29.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。
30.本实用新型提出的一种用于纳米压印的模片固定装置，用于模片的安装固定及张紧，使得模片与基板压合时能够保持较好的平整度，提高压合效果。
31.参见图1～图5，该用于纳米压印的模片固定装置包括：支架2，固定架组件3和张紧组件，其中：
32.支架2设置有升降装置，该升降装置与固定架组件3连接，通过升降装置可使固定架组件3沿竖直方向上下运动。进一步，支架2上还可以设置驱动升降装置上下运动的驱动机构4。
33.固定架组件3包括框架，和设置于框架一端用于模片1张紧的弹性夹紧机构；
34.参见图1和2，框架可以设置为长方形框架，框架包括外框架31和内框架32，外框架31的一端可以通过滑轨与支架2滑动连接，并通过支架2上的驱动机构4驱动外框架31在滑轨上滑动，保证框架组件3可以在支架2上沿竖直方向上下运动。内框架32架设于外框架31上，比如，可以在内框架32外侧设置凸缘，外框架31的框体内壁设置台阶，之后通过凸缘将内框架32架设于外框架31的台阶上。模片1水平设置于内框架32的下底面，所述弹性夹紧机构设置于内框架32上与支架2相对的一端，模片1远离弹性夹紧机构的一端与内框架32的下底面可拆卸连接。这样，模片1通过弹性夹紧机构可以张紧于内框架32的下底面，并且可以拆装更换。
35.进一步的，可以在内框架32上设置提手323，内框架32通过弹性夹紧机构装夹有模片1，模片1拆装更换时，可通过内框架32两侧的提手323将内框架32从外框架31中提出，然后顶部朝下，从底部将模片1拆下对其更换。此外，为了方便更换模片1时内框架32的摆放，可以在内框架32上表面的四角设置支撑腿321，从而方便内框架32倒置后的摆放。
36.参见图2和3，所述弹性夹紧机构包括沿模片1张紧方向设置于内框架32的相对两侧的第一导轨，以及与第一导轨滑动连接的弹性夹板5211，其中，张紧方向与支架2和弹性夹紧机构所在直线的方向一致，通过滑动弹性夹板5211，可使弹性夹板5211与模片1的一端紧固，模片1的另一端通过设置于内框架32底部的第一压板322紧固。
37.具体的，弹性夹板5211通过弹力件5212与设置于内框架32上的定位块5213连接，弹性夹板5211下底面设有将模片1一端夹紧于内框架32的第二压板5214。通过弹力件5212拉动弹性夹板5211在第一导轨内滑动，并将模片1张紧，弹性夹板5211停止滑动后，第二压板5214将模片一端夹紧于内框架32内。
38.更换模片1时，将模片1放置适当位置，通过弹性夹板5211的第二压板5214将模片1一端固定于内框架32，通过第一压板322将模片1另一端固定于内框架32，最终将模片1张紧
于内框架32的下底面。其中：弹力件5212可以采用弹簧。
39.张紧组件，用于将模片1张紧，所述张紧组件包括分别压设于模片1两端并沿支架2高度方向上下运动的第一压紧组件51和第二压紧组件52，通过第一压紧组件51上下运动将模片1的一端张紧，通过第二压紧组件将模片1的另一端张紧。
40.参见图1，外框架31设置有与支架2滑动连接的竖直壁，第一压紧组件51与所述竖直壁紧固。
41.第一压紧组件51包括沿所述竖直壁高度方向设置的第二导轨511、设置于所述竖直壁顶部的第一气缸512、以及设置于第一气缸512的驱动端并与第二导轨511滑动连接的压头513，其中，压头513位于模片1一端的上方。压头513可以包括竖直端和水平端，所述水平端与第一气缸512的驱动端连接，且所述水平端的端部与第二导轨511滑动连接，通过第一气缸512驱动压头513的竖直壁沿第二导轨511高度方向向下运动，将模片1的一端张紧。
42.第二压紧组件52包括与弹性夹板5211滑动配合的压紧件，以及设置于外框架31的相对两侧壁用于驱动所述压紧件压紧模片1的驱动组件。
43.如图1～3，所述驱动组件包括分别枢接于外框架31相对两侧壁的枢接臂5231，以及设置于外框架31的侧壁用于驱动枢接臂5231翻转的气缸5232，枢接臂5231远离气缸5232的一端与设置于压紧件侧壁的凸起5224相卡接。这样，通过气缸5232驱动枢接臂5231向下翻转，继而使得枢接臂5231远离气缸5232的一端下压凸起5224，从而带动压紧件向下运动将模片1的另一端张紧。具体的，可以在枢接臂5231远离气缸5232的一端设置卡槽，通过卡槽与凸起5224卡接。
44.如图2至图4所示，压紧件可以包括横跨于外框架31的压紧架5221，以及水平设置于压紧架5221内的压条5223，压条5223通过导杆5222与压紧架5221紧固，并且，压紧架5221的两端分别设置凸起5224。此外，可以在弹性夹板5211相对于压紧件的一侧设置延伸凸起52111，延伸凸起52111延伸至压条5223的上方，并在延伸凸起52111内贯穿设置导孔，导杆5222穿设于导孔并与所述导孔滑动连接；通过延伸凸起52111内的导孔可以使弹性夹紧机构定位更加精准。基于这种结构，通过气缸5232驱动枢接臂5231翻转，下压凸起5224，继而使得凸起5224带动压紧架5221向下运动，压紧架5221带动导杆5222沿导孔向下滑动，从而使压条5223将模片1的一端张紧。
45.压合过程中，当气缸5232的驱动端向上运动时，枢接臂5231设置有卡槽的一端下压压紧架5221上的凸起5224带动压紧架5221向下运动，压紧架5221带动导杆5222在导孔内向下滑动，即可通过压条5223将模片1的一端张紧；同时，配合控制第一压紧组件51上的第一气缸512的驱动端向下运动，使压头将模片1的另一端张紧。这样，模片1如图5所示处于张紧状态，以此方式张紧后的模片1的下底面向下凸起并具备较好的平整度，而且还可以适时的对模片1两端的张紧力进行调整。
46.进一步的，为了方便模片1与基板压合后分离，可以在外框架31下底面两端分别设置与外部气管相连接的导风件6。这样，外框架31带动内框架32整体向上抬升时，可以通过两侧导风件6向模片1与基板之间出入气体，其中：吹入的气体优选氮气，以此防止水汽和杂质对压印后的基板造成影响。
47.本实用新型还提供一种纳米压印设备，该纳米压印设备包括上述任意一项所述的模片固定装置。
48.本实用新型提供的纳米压印设备，通过在模片固定装置的支架2上设置升降装置与固定架组件3连接，并在固定架组件3的框架一端设置用于模片1张紧的弹性夹紧机构，在张紧组件中分别设置压紧模片1两端并沿支架2高度方向上下运动的第一压紧组件51和第二压紧组件52，使用时，通过弹性夹紧机构将模片1张紧于固定架组件3内；通过第一压紧组件51沿竖直方向运动将模片1一端张紧，通过第二压紧组件52将模片1另一端张紧，从而将装夹后的模片1张紧展平，使模片1与下方基板压合时保持较好的平整度，有效提升纳米压印设备的压印效果。
49.以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，本实用新型不与任何特定计算机、虚拟装置或者电子设备固有相关，各种通用装置也可以实现本实用新型。以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，包括：支架；设置有升降装置；固定架组件，与所述升降装置相连接；所述固定架组件包括框架，以及至少设置于所述框架一端用于模片张紧的弹性夹紧机构；张紧组件，用于将所述模片张紧，所述张紧组件包括分别压设于所述模片两端并沿所述支架高度方向上下运动的第一压紧组件和第二压紧组件。2.根据权利要求1所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述框架包括外框架和内框架，所述外框架与所述支架滑动连接，所述内框架架设于所述外框架，所述内框架的下底面水平设置有所述模片，所述模片远离所述弹性夹紧机构的一端与所述内框架的下底面可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述弹性夹紧机构包括沿所述模片张紧方向设置于所述内框架的相对两侧的第一导轨，以及与所述第一导轨滑动连接的弹性夹板，所述弹性夹板与所述模片的一端紧固，所述模片的另一端通过设置于所述内框架底部的压板紧固。4.根据权利要求2所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述外框架设置有与所述支架滑动连接的竖直壁，所述第一压紧组件与所述竖直壁紧固。5.根据权利要求4所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述第一压紧组件包括沿所述竖直壁高度方向设置的第二导轨、设置于所述竖直壁顶部的第一气缸、以及设置于所述第一气缸的驱动端并与所述第二导轨滑动连接的压头，所述压头位于所述模片一端的上方。6.根据权利要求3所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述第二压紧组件包括与所述弹性夹板滑动配合的压紧件，以及设置于所述外框架的相对两侧壁用于驱动所述压紧件压紧所述模片的驱动组件。7.根据权利要求6所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述驱动组件包括分别枢接于所述外框架侧壁相对两侧壁的枢接臂，以及设置于所述外框架的侧壁用于驱动所述枢接臂翻转的气缸，所述枢接臂远离所述气缸的一端与设置于所述压紧件侧壁的凸起相卡接。8.根据权利要求6所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述压紧件包括横跨于所述外框架的压紧架，以及水平设置于所述压紧架内的压条，所述压条通过导杆与所述压紧架紧固。9.根据权利要求8所述的一种用于纳米压印的模片固定装置，其特征在于，所述弹性夹板的一侧设置有延伸凸起，所述延伸凸起贯穿设置有导孔，所述导杆穿设于所述导孔并与所述导孔滑动连接；所述压条位于所述延伸凸起的下方。10.一种纳米压印设备，其特征在于，包括权利要求1至9任意一项所述的模片固定装置。

技术总结

本实用新型公开一种用于纳米压印的模片固定装置及纳米压印设备，涉及半导体设备技术领域，所述用于纳米压印的模片固定装置包括：支架；设置有升降装置；固定架组件，与所述升降装置相连接；所述固定架组件包括框架，以及至少设置于所述框架一端用于模片张紧的弹性夹紧机构；张紧组件，用于将所述模片张紧，所述张紧组件包括分别压设于所述模片两端并沿所述支架高度方向上下运动的第一压紧组件和第二压紧组件。本实用新型能够将装夹后的模片张紧展平，使模片与下方基板压合时保持较好的平整度，有效提升纳米压印设备的压印效果。有效提升纳米压印设备的压印效果。有效提升纳米压印设备的压印效果。