源瓶、TCA瓶的更换程序
当瓶内液面淹没出气长管高度低于15MM时，必须及时更换，为确保扩散源瓶或TCA瓶更换时操作者人身安全和设备安全，特制定本程序，操作者必须严格按本程序规定步骤和方法实施。 一、操作前的准备和确认：
1、更换前必须确认该管已退出工艺运行，控制屏上扩散小N2或清洗流量小N2 流量显示值为0
2、正确穿戴好防护服、耐酸碱长手套、自主送风式防毒面具，更换时必须两人在场，一人负责各操作步骤唱票，另一人实际操作，每步操作完后，须经确认无误后方可进入下一步操作；
二、操作步骤
1、取新瓶：在通风储藏处，将装有源液的源瓶取出，检查塑料包装膜内是否有源液外漏迹象（通过瓶外液体或源瓶手动阀是否潮湿判断，如有泄漏，立即报告技术人员处理），从存放点取瓶到安装地点过程中，必须双手端瓶，走路时注意防滑摔倒，过门时由另一人开、关门。将取过来的源瓶放在扩散灰区地上，放稳。 2．卸旧瓶：先关瓶上手动阀进气阀，关严后，卸下进气管，再关紧瓶上出气手动阀，然后卸下出气管。
用双手捧住瓶体部分（严禁向上提两阀门或堵头），将用完的瓶从恒温槽内向上提，当源瓶提至将近最顶端时，将源瓶倾斜缓慢取出恒温槽，取瓶过程严禁瓶体和恒温槽磕碰。取出的空瓶小心轻放在地上，放稳。
3．加水：观察浸泡在恒温槽内的另一个石英玻璃瓶，水位不低于该瓶的横隔板下1CM，否则加水至该位置。加完水后，用无尘纸将恒温槽周边的水迹擦拭干净。
4．检漏：取瓶要点同上（捧住瓶体部分），将源瓶从塑料袋中取出，用无尘纸擦拭瓶底及其四周，若湿润和有强烈的刺激性气味则须报告技术人员处理，确认无泄漏的源瓶还需检查源液的泽。正常的源液颜应是无透明的，变黄则表示已经吸潮变质，须更换。
5．确认长短管连接：正确的连接是带有较小的外螺纹接口的手动阀接长管，为进气口；带有较大外螺纹接口的手动阀接短管，为出气口。旋紧进出口手动阀。
5．装新瓶：捧瓶要点同上叙操作，将源瓶稍倾斜缓慢放入恒温槽，放瓶过程严禁瓶体和恒温槽磕碰
6．管道连接：按先后连接进、出气管（进气口和源瓶长管连接，出气口源瓶短管相连）。
7．开手动阀：先开出气阀，再开进气阀，直到完全打开。开阀过程中观察阀芯的长度是否随着往外延伸，阀芯和旋钮间是否打滑，确认阀门开启动作完成。
8．将换下的空瓶放入塑料袋中，用橡皮筋扎紧，放回存放处。
9．更换TCA不同之处是将库房内存放的三氯乙烷取出在扩散灰区现场灌装，灌装前用无尘纸擦拭漏斗，拧开两手动阀做灌装时排气口，将堵头部分卸开做灌装入口，灌装完后拧紧堵头和手动阀，其他操作同上。 10．填写源瓶、TCA瓶更换记录表
三、注意事项：
1．从槽内取、放瓶要特别小心，轻拿轻放，避免磕碰槽口，否则可能造成源瓶损坏，源液泄露、爆炸。
2．连接源瓶和TCA瓶时，进气管一定要接源瓶的长管端，出气管一定要接源瓶的短管端，否则会在几秒钟内把瓶中液体喷入石英管，造成事故
3．倾斜进、出槽口时，注意拧紧阀门，不让瓶中液体泄露。
4．在更换3、4管时，注意攀登楼梯时的安全，以防高空坠落危险。
5．换瓶完毕后，手套必须用水冲洗干净后才能脱掉并用水冲手。
四、紧急情况处理：
1．源瓶长短管接反，造成源液喷入炉管，扩散间有烟雾和刺鼻气味。
处理方法：立即报告技术人员，疏散厂房内所有员工至厂房外。
现场处理人员必须正确穿戴好防护服、耐酸碱长手套、配备自主送风式防毒面具，将计算机推出工艺运行屏，各工艺气体流量值清零，炉管内石英舟推舟出炉。待烟雾、刺激性气味散尽方可回厂房继续操作。
2．在存放间内发现源液泄漏或破瓶，立即报告，采用专用沙粒吸附，多层塑料袋封口包裹，待下次厂家带回处理；
3．源瓶出口阀门未开（进气口开）时通小氮，造成源瓶损坏，源液泄露、爆炸。
处理：处理方法：立即报告技术人员，疏散厂房内所有员工至厂房外。
现场处理人员必须正确穿戴好防护服、耐酸碱长手套、配备自主送风式防毒面具，将计算机推出工艺运行屏，各工艺气体流量值清零，炉管内石英舟推舟出炉后。关整机供电。扩散灰区部分会有浓烟和刺鼻气味，将破瓶取出，关恒温槽电源，取下恒温槽放在地上，将专用吸附沙粒倒入恒温槽内，将溅出的源液擦拭干净，清理溅落的玻璃碎片。
三氯氧磷知识介绍：
名称：三氯氧磷，Phosphorus oxychloride
分子式 POCl3
分子量 153.33
理化性质
无透明液体。具有刺激性臭味。在潮湿空气中剧烈发烟。相对密度(水=1) 1.67，相对密度(空气=1)5.3。熔点1.25℃。沸点 105.1℃，蒸汽压
5.33kPa(27.3℃)。在水、乙醇中分解形成磷酸及氯化氢。大量水骤然倒入时,
可发生剧烈反应。稳定性：稳定；危险标记 20(酸性腐蚀品)
危险特性：遇水猛烈分解，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸。具有较强的腐蚀性。
燃烧(分解)产物：氯化氢、氧化磷、磷烷。
侵入途径：经呼吸道及皮肤侵入。
毒理学简介
毒性与三氯化磷、五氯化磷及光气相似。由于本品有强烈的氧化和脂溶作用，除引起消化道灼伤外，经消化道吸收时对肝脏可造成急性坏死和自溶现象。另外，本品除引起皮肤灼伤外，还可通过完整的皮肤吸收, 3％即可引起动物死亡。三氯氧磷吸入后，遇湿润的呼吸道粘膜，可分解成磷酸及氯化氢，对粘膜产生刺激、腐蚀作用。人接触70mg/m^3浓度时，发生急性中毒。临床表现 接触本品烟雾后，经2～6小时的潜伏期，可出现急性中毒症状，有流涕、咽喉干痒、头痛、呼吸困难。稍重的病例有鼻衄、全身无力、痰中有血丝、鼻中隔粘
膜灼伤。严重病例可发生喉水肿致窒息，肺炎或肺水肿。口服液体可致消化道灼伤。本品液体可引起刺激症状及眼和皮肤灼伤。眼灼伤后愈合缓慢。杂质中含磷黄时可引起磷中毒。
急救处理措施
吸入后急救和原则与、氯化氢等刺激性气体相同。
皮肤接触：尽快用软纸或棉花等擦去毒物，继之用3%碳酸氢钠液浸泡。然后用水彻底冲洗。如先用少量水冲洗，可在皮肤上形成磷酸而引起更严重的灼伤。按酸灼伤处理，就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗至少15分钟。就医。吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。
恒温阀门食入：患者清醒时立即漱口，给饮牛奶或蛋清。立即就医。
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