一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置和磁力检测方法与流程

1.本发明涉及薄膜真空蒸镀技术领域，具体涉及一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置和磁力检测方法。

背景技术：

2.真空镀膜是指在真空环境下在薄膜表面形成一层金属薄膜的过程，包括多种镀膜方法，比如真空镀膜、磁控溅射等。以磁控溅射为例，磁控溅射镀膜设备内含有靶材，靶材表面为需要镀在薄膜上的金属，靶材内部含有磁芯，在真空环境下，往磁控溅射设备内通入惰性气体，惰性气体经过处理成为带有电荷的离子，在磁芯磁力的作用下，加速冲向靶材，靶材表面的金属接受能量，表面的原子会逃离靶材表面，在真空作用下就会层积到路过的薄膜上。但是现有的靶材上各个部分磁力不一，造成层积在薄膜上的原子受力不一，有的可能能量过大从而击穿薄膜，造成薄膜烧孔，影响产品质量。

技术实现要素：

3.有鉴于此，本发明实施例的目的在于提供一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置和磁力检测方法，以解决现有技术中靶材上各个部分磁力不一，造成层积在薄膜上的原子受力不一，导致局部能量过大而击穿薄膜技术问题。
4.为达上述目的，第一方面本发明实施例提供了一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置，其包括：
5.磁芯检测座，所述磁芯检测座包括：若干支座，间隔地设置在同一水平线上，每个所述支座包括上支座和下支座；
6.检测杆，固定地设置在所述上支座上，所述检测杆上间隔设置有若干孔洞；
7.靶材内部的待测磁芯，设置在所述下支座上。
8.在一些可能的实施方式中，还包括支架，所述支架的顶部设置有磁力板；
9.所述磁芯检测座还包括：连接板，所述连接板与所述支架上的磁力板连接；所述若干支座间隔地固定在所述连接板上；
10.所述上支座为高低台阶的结构，所述高低台阶中的高台阶部分的侧面用于对所述检测杆进行定位，使得所述检测杆上的若干孔洞对准所述待测磁芯的宽度方向的中间位置。
11.在一些可能的实施方式中，还包括：冷却管，设置在所述下支座上，且位于所述待测磁芯的下方，所述冷却管上设置有支撑件，用于支撑所述待测磁芯；
12.所述冷却管与所述待测磁芯通过调节件活动连接，所述冷却管中设置有冷凝物质。
13.在一些可能的实施方式中，在所述上支座和下支座之间设置有让位台阶，所述让位台阶的宽度小于所述上支座和所述下支座的宽度，所述让位台阶用于对所述冷却管进行让位。
14.在一些可能的实施方式中，所述的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置，还包括检测机构，所述检测机构包括：磁力显示面板，以及与所述磁力显示面板连接的检测探针；
15.所述磁力显示面板设置在所述磁力板上；
16.所述检测探针设置在所述孔洞内。
17.在一些可能的实施方式中，所述检测探针与所述待测磁芯表面之间的距离与所述靶材的厚度相同；
18.所述检测杆上任意相邻两个孔洞之间的间隔为40cm至50cm。
19.在一些可能的实施方式中，所述磁力显示面板内设置有存储介质，所述存储介质用于存储所述检测探针检测的所述待测磁芯的检测位置以及每个检测位置对应的磁力；
20.所述磁力显示面板上显示每个检测位置对应的磁力。
21.在一些可能的实施方式中，所述磁力显示面板上还设置有报警器，当所述检测探针检测到磁力发生异常时，所述报警器用于发出警报，以调整所述检测探针的检测位置。
22.第二方面，本发明提供了一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测方法，包括：
23.将检测杆放置在磁芯检测座的上支座上，将待测磁芯放置在在磁芯检测座的下支座上；
24.将检测机构的磁力显示面板放置在支架的磁力板上，将所述检测机构的检测探针通过导线与所述磁力显示面板连接；
25.依次将所述检测探针放置在所述检测杆的若干孔洞中，所述检测探针的针尖对准所述待测磁芯的宽度方向的中间位置；
26.通过所述磁力显示面板依次显示每个孔洞中的检测探针检测到的待测磁芯的磁力。
27.在一些可能的实施方式中，所述磁力检测装置还包括：冷却管，设置在所述下支座上，且位于所述待测磁芯的下方，所述冷却管上设置有支撑件，用于支撑所述待测磁芯；所述冷却管与所述待测磁芯通过调节件活动连接；所述冷却管中设置有冷凝物质，用于对待测磁芯进行降温，所述冷凝物质为冷却水；所述方法还包括：
28.在所述待测磁芯下方的冷却管中设置有冷凝物质，用于对待测磁芯进行降温；
29.控制所述冷却水从所述冷却管的一端进入，再从所述冷却管的另一端流出。
30.上述技术方案的有益技术效果在于：
31.本发明实施例提供的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置和磁力检测方法，其包括：支架，支架的顶部设置有磁力板；磁芯检测座，该磁芯检测座包括：连接板，连接板与支架上的磁力板连接；若干支座间隔地设置在连接板上，每个支座包括上支座和下支座；检测杆固定地设置在上支座上，检测杆上间隔设置有若干孔洞；靶材内部的待测磁芯，设置在下支座上。本发明实施例中，通过支座中的上支座对检测杆进行定位，下支座对靶材内部的待测磁芯进行定位，因为磁芯的磁场是从其宽度方向的中间位置向上再向左右两边发散，宽度方向的中间位置为最强，本发明实施例可以使得若干孔洞刚好对准待测磁芯的中间位置，以测量待测磁芯中的最强磁场部位。
附图说明
32.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
33.图1为本发明实施例的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置的整体结构立体示意图；
34.图2为本发明实施例的磁芯检测座的结构示意图；
35.图3为本发明实施例的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置的整体结构的前视图；
36.图4为本发明实施例的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置的整体结构的后视图；
37.图5为本发明实施例的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置的整体结构的侧视图；
38.图6为本发明实施例的检测杆的结构示意图；
39.图7为本发明实施例的检测杆的局部放大图；
40.图8为本发明实施例的一种探针的示意图；
41.图9为本发明实施例的冷却管的局部剖视图；
42.图10为本发明实施例的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置的局部结构的剖视图；
43.图11为本发明实施例的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测方法的流程图。
44.附图标号说明：
45.1、支架；11、磁力板；
46.2、磁芯检测座；21、连接板；22、支座；22a、上支座；22b、下支座；22c、让位台阶；
47.3、检测杆；31、孔洞；
48.4、待测磁芯；
49.5、检测机构；51、磁力显示面板；52、检测探针；
50.6、冷却管；61、支撑件；62、调节件。
具体实施方式
51.下面将详细描述本发明的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本发明的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本发明可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本发明的示例来提供对本发明的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本发明造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。
52.如图1至图7所示，该磁力检测装置包括：磁芯检测座2、以及设置磁芯检测座2上的检测杆3，其中，磁芯检测座2包括若干支座22，若干支座22间隔地设置在同一水平线上，每
个支座22包括上支座22a和下支座22b；检测杆3固定地设置在上支座22a上，检测杆3上间隔设置有若干孔洞31；靶材内部的待测磁芯4设置在下支座22b上。具体的，由于待测磁芯4是放置在靶材内部，为了确保靶材的表面获得最大磁力，从而当惰性气体离子获得能量轰击靶材表面后，靶材表面的金属离子能够有相同的能量层积到薄膜上。本发明实施例中，通过支座22中的上支座22a对检测杆3进行定位，下支座22b对靶材内部的待测磁芯4进行定位，因为磁芯的磁场是待测磁芯4的宽度方向的中间位置向上再向左右两边发散，中间位置为最强，本发明实施例可以使得若干孔洞31刚好对准待测磁芯4的中间位置，以测量待测磁芯4中的最强磁场部位。
53.如图2所示，在一些实施例中，该磁力检测装置还可以包括：支架1，在支架1的顶部设置有磁力板11，磁芯检测座2还可以包括连接板21，若干支座22间隔地设置在连接板21上；上支座22a为高低台阶的结构。本发明实施例通过设置支架1，并将磁芯检测座2设置在支架1的顶部，不仅便于测试人员进行磁力测试，还可以将若干支座22间隔地固定在连接板21上，可以避免测试过程中支座22晃动，影响测试精度；另外，本发明实施例将上支座22a设置为高低台阶状，这样高台阶的侧面刚好可以对检测杆3起到定位的作用，保证检测杆3上间隔设置的若干孔洞31对准待测磁芯4的正中心(即宽度方向的中间位置)。
54.如图6所示，在一些实施例中，为了使得测量更加精确，本发明实施例中的检测杆3上任意相邻两个孔洞31之间的间隔为40cm至50cm，以精确地测量待测磁芯4上每一个部位的磁力，保证靶材各个部位的磁力统一。
55.如图1、图4、图5和图8所示，在一些实施例中，还包括检测机构5，检测机构5包括：磁力显示面板51，以及与磁力显示面板51连接的检测探针52；磁力显示面板51设置在磁力板11上；检测探针52设置在孔洞31内。具体的，测量时，如图6和图7所示，将检测探针52放置在检测杆3上的孔洞31中，检测探针52的针尖刚好对准待测磁芯4，以测量待测磁芯4中的最强磁场部位，另外，本发明实施例可以通过磁力板11的磁力直接将磁力显示面板51吸引在磁力板11上，无需额外的连接件固定就可保持磁力显示面板51稳定。本实施例中的检测机构5可以为高斯计或者为特斯拉计等检测装置。
56.在本实施例中，检测探针52与待测磁芯4表面之间的距离与靶材的厚度相同。具体的，检测探针52与待测磁芯4表面的距离与实际靶材的厚度相当，检测探针52的尖部刚好接触到靶材外径表面。也就是说，本发明实施例中，检测探针52距离待测磁芯4中间的间距根据靶材的厚度而定，检测探针52距离待测磁芯4中间的距离多远，靶材的厚度就设置多厚，这样可以给予靶材上的金属原子以最大的动力，提高薄膜蒸镀质量。
57.在一些实施例中，为了保证检测探针52与待测磁芯4表面的距离与实际靶材的厚度相当，可以在下支座22b上设置有垫片，用于调节待测磁芯4与检测杆3之间的距离。可选的，在一些实施例中，支座22也可以为间距可调节支座，即上支座22a和下支座22b之间的间距可以任意调节，以适应不同厚度的靶材。
58.在一些实施例中，磁力显示面板51内设置有存储介质，该存储介质用于存储检测探针52检测的待测磁芯4的检测位置以及每个检测位置对应的磁力；同时，每个检测位置对应的磁力将显示在磁力显示面板51。以便于直观的显示磁力检测数据以及对磁力检测的数据进行记录和分析。
59.在一些实施例中，磁力显示面板51上还设置有报警器，当检测探针52检测到磁力
发生异常时，报警器用于发出警报，以调整检测探针52于待测磁芯4的相对检测位置。例如，当检测探针52检测到某一个位置时，检测的磁力发生异常(例如磁力过或者过小)时，可以调整检测探针52与待测磁芯4的相对位置，重新进行检测，以保证待测磁芯4的每个位置的磁力均相等。
60.在一些实施例中，由于金属会被磁芯影响，所以避免测量不准确，本发明实施例中的检测杆3与支座22均为非金属材质，以提高磁力测量的准确度。
61.在一些实施例中，检测杆3与上支座22a通过螺丝固定连接，避免在测量过程中检测杆3掉落，损坏磁力检测装置。
62.如图1、图3、图4、图5、图9和图10所示，在一些实施例中，磁力检测装置还包括：冷却管6，该冷却管6设置在下支座22b上，且位于待测磁芯4的下方，冷却管6上设置有支撑件61，通过支撑件61支撑着待测磁芯4，以便于在安装进靶材或者拆卸拉出靶材时可以支撑着冷却管6和与待测磁芯4的作用，避免冷却管6和待测磁芯4掉落，冷却管6与待测磁芯4通过调节件62活动连接，该调节件62可以为调节螺丝组件，通过调节螺丝组件来调节冷却管6与待测磁芯4之间的距离，即当把冷却管6和待测磁芯4安装到靶材里后就是调节待测磁芯4与靶材之间的距离，使得待测磁芯4基于靶材最大的磁力，可选的，支撑件61可以为橡胶圈或者塑料圈等绝缘物体，冷却管6中设置有冷凝物质。具体的，由于待测磁芯4是安装在靶材内部的，在待测磁芯的下面固定一个冷却管6后，相当于在靶材内部设置了冷却管6，因为靶材在受到惰性气体离子轰击后会发热，热量会传递到待测磁芯4上，从而影响待测磁芯4的性能，因此，冷却管6中的冷凝物质既可以对靶材进行降温，也可以对待测磁芯4进行降温以提高检测性能。当然，在一些实施例中，冷凝物质还可以为冷却水或者低温气体，控制冷却水从冷却管6的一端进入，从另一端出来，在靶材内部流动。本发明实施例通过在待测磁芯4的下面固定一个冷却管6后，冷却管6中的冷凝物质既可以对靶材进行降温，也可以对待测磁芯4进行降温以提高检测性能。
63.如图2所示，在一些实施例中，由于冷却管6的宽度与待测磁芯4的宽度不同，往往比待测磁芯4的宽度要大，为了不影响待测磁芯4在下支座22b上的位置，以保证检测杆3的孔洞31刚好对准待测磁芯4的中间位置，因此，本实施例中，在上支座22a和下支座22b之间设置有让位台阶22c，让位台阶22c的宽度小于上支座22a和下支座22b的宽度，即支座22成e形。本发明实施例通过在支座22上设置让位台阶22c，刚好对冷却管6进行让位，避免影响待测磁芯4在下支座22b上的位置，以保证检测杆3的孔洞31刚好对准待测磁芯4的中间位置。
64.如图11所示，本发明实施例还提供了一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测方法，该磁力检测方法包括如下步骤：
65.s1：将检测杆3放置在磁芯检测座2的上支座22a上，将待测磁芯4放置在在磁芯检测座2的下支座22b上；
66.s2：将检测机构5的磁力显示面板51放置在支架1的磁力板11上，将检测机构5的检测探针52通过导线与磁力显示面板51连接；
67.s3：依次将检测探针52放置在检测杆3的若干孔洞31中，检测探针52的针尖对准待测磁芯4的中心位置(即宽度方向的中间位置)；
68.s4：通过磁力显示面板51依次显示每个孔洞31中的检测探针52检测到的待测磁芯4的磁力。
69.在一些实施例中，该方法还包括：
70.在待测磁芯4下方的冷却管6中设置有冷凝物质，用于对待测磁芯4进行降温；冷凝物质为冷却水，冷却水从冷却管6的一端进入，再从冷却管6的另一端流出。
71.具体的，将检测机构5的磁力显示面板51放置在支架1的磁力板11上，检测探针52通过导线与磁力显示面板51连接后，将检测探针52依次放置在检测杆3中的每个孔洞31中，依次测量靶材内部的待测磁芯4上各个位置的磁力，并且检测到的每个位置的磁力均显示在磁力显示面板51上，磁力显示面板51内部的存储介质存储每个检测位置以及每个检测位置对应的磁力，通过当某个检测位置检测发生异常时，磁力显示面板51上的报警器会发出警报，以调整检测探针52与待测磁芯4的相对检测位置，重新测量以保证每个位置的磁力统一。
72.本发明实施例的有益效果如下：
73.本发明实施例中，通过支座22中的上支座22a对检测杆3进行定位，下支座22b对靶材内部的待测磁芯4进行定位，因为磁芯的磁场是从中间位置向两边发散，中间位置为最强，本发明实施例可以使得若干孔洞31刚好对准待测磁芯4的中间位置，以测量待测磁芯4中的最强磁场部位；
74.本发明实施例将上支座22a设置为高低台阶状，这样高台阶的侧面刚好可以对检测杆3起到定位的作用，保证检测杆3上间隔设置的若干孔洞31对准待测磁芯4的正中心；
75.本发明实施例中的检测杆3上任意相邻两个孔洞31之间的间隔为40cm至50cm，以精确地测量待测磁芯4上每一个部位的磁力，保证靶材各个部位的磁力统一；
76.本发明实施例可以通过磁力板11的磁力直接将磁力显示面板51吸引在磁力板11上，无需额外的支撑件固定既可保持磁力显示面板51稳定；
77.本发明实施例为了保证检测探针52与待测磁芯4表面的距离与实际靶材的厚度相当，可以在下支座22b上设置有垫片，用于调节待测磁芯4与检测杆3之间的距离；
78.本发明实施例中的检测杆3与支座22均为非金属材质，以提高磁力测量的准确度；
79.本发明实施例的检测杆3与上支座22a通过螺丝固定连接，避免在测量过程中检测杆3掉落，损坏磁力检测装置；
80.本发明实施例通过在待测磁芯的下面固定一个冷却管6后，冷却管6中的冷凝物质既可以对靶材进行降温，也可以对待测磁芯4进行降温以提高检测性能；
81.本发明实施例通过在支座22上设置让位台阶22c，刚好对冷却管6进行让位，避免影响待测磁芯4在下支座22b上的位置，以保证检测杆3的孔洞31刚好对准待测磁芯4的中间位置。
82.在本发明实施例的描述中，需要说明的是，术语中的“上、下、内和外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一、第二或第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
83.本发明实施例中除非另有明确的规定和限定，术语“安装、相连、连接”应做广义理解，例如：可以是固定连接、可拆卸连接或一体式连接；同样可以是机械连接、电连接或直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技
术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
84.虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

技术特征：

1.一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置，其特征在于，其包括：磁芯检测座(2)，所述磁芯检测座(2)包括：若干支座(22)，间隔地设置在同一水平线上，每个所述支座(22)包括上支座(22a)和下支座(22b)；检测杆(3)，固定地设置在所述上支座(22a)上，所述检测杆(3)上间隔设置有若干孔洞(31)；靶材内部的待测磁芯(4)，设置在所述下支座(22b)上。2.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置，其特征在于，还包括：支架(1)，所述支架(1)的顶部设置有磁力板(11)；所述磁芯检测座(2)还包括：连接板(21)，所述连接板(21)与所述支架(1)上的磁力板(11)连接；所述若干支座(22)间隔地固定在所述连接板(21)上；所述上支座(22a)为高低台阶的结构，所述高低台阶中的高台阶部分的侧面用于对所述检测杆(3)进行定位，使得所述检测杆(3)上的若干孔洞(31)对准所述待测磁芯(4)的宽度方向的中间位置。3.根据权利要求1或2所述的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置，其特征在于，还包括：冷却管(6)，设置在所述下支座(22b)上，且位于所述待测磁芯(4)的下方，所述冷却管(6)上设置有支撑件(61)，用于支撑所述待测磁芯(4)；所述冷却管(6)与所述待测磁芯(4)通过调节件(62)活动连接；所述冷却管(6)中设置有冷凝物质。4.根据权利要求3所述的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置，其特征在于，在所述上支座(22a)和下支座(22b)之间设置有让位台阶(22c)，所述让位台阶(22c)的宽度小于所述上支座(22a)和所述下支座(22b)的宽度，所述让位台阶(22c)用于对所述冷却管(6)进行让位。5.根据权利要求1所述的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置，其特征在于，还包括检测机构(5)，所述检测机构(5)包括：磁力显示面板(51)，以及与所述磁力显示面板(51)连接的检测探针(52)；所述磁力显示面板(51)设置在所述磁力板(11)上，所述检测探针(52)设置在所述孔洞(31)内。6.根据权利要求5所述的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置，其特征在于，所述检测探针(52)与所述待测磁芯(4)表面之间的距离与所述靶材的厚度相同；所述检测杆(3)上任意相邻两个孔洞(31)之间的间隔为40cm至50cm。7.根据权利要求5所述的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置，其特征在于，所述磁力显示面板(51)内设置有存储介质，所述存储介质用于存储所述检测探针(52)检测的所述待测磁芯(4)的检测位置以及每个检测位置对应的磁力；所述磁力显示面板(51)上显示每个检测位置对应的磁力。8.根据权利要求7所述的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置，其特征在于，所述磁力显示面板(51)上还设置有报警器，当所述检测探针(52)检测到磁力发生异常时，所述报警器用于发出警报，以调整所述检测探针(52)的检测位置。9.一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测方法，其特征在于，所述方法基于权利要求5所述的磁力检测装置，所述磁力检测方法包括：
将检测杆(3)放置在磁芯检测座(2)的上支座(22a)上，将待测磁芯(4)放置在在磁芯检测座(2)的下支座(22b)上；将检测机构(5)的磁力显示面板(51)放置在支架(1)的磁力板(11)上，将所述检测机构(5)的检测探针(52)通过导线与所述磁力显示面板(51)连接；依次将所述检测探针(52)放置在所述检测杆(3)的若干孔洞(31)中，所述检测探针(52)的针尖对准所述待测磁芯(4)的宽度方向的中间位置；通过所述磁力显示面板(51)依次显示每个孔洞(31)中的检测探针(52)检测到的待测磁芯(4)的磁力。10.根据权利要求9所述的一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测方法，其特征在于，所述磁力检测装置还包括：冷却管(6)，设置在所述下支座(22b)上，且位于所述待测磁芯(4)的下方，所述冷却管(6)上设置有支撑件(61)，用于支撑所述待测磁芯(4)；所述冷却管(6)与所述待测磁芯(4)通过调节件(62)活动连接；所述冷却管(6)中设置有冷凝物质用于对待测磁芯(4)进行降温，所述冷凝物质为冷却水；所述方法还包括：控制所述冷却水从所述冷却管(6)的一端进入，再从所述冷却管(6)的另一端流出。

技术总结

本发明提供一种真空蒸镀用靶材磁芯的磁力检测装置和磁力检测方法，该装置包括：支架，支架的顶部设置有磁力板；磁芯检测座，该磁芯检测座包括：连接板，连接板与支架上的磁力板连接；若干支座间隔地设置在连接板上，每个支座包括上支座和下支座；检测杆固定地设置在上支座上，检测杆上间隔设置有若干孔洞；靶材内部的待测磁芯，设置在下支座上。本发明实施例中，通过支座中的上支座对检测杆进行定位，下支座对靶材内部的待测磁芯进行定位，因为磁芯的磁场是从中间位置向两边发散，中间位置为最强，本发明可以使得若干孔洞刚好对准待测磁芯的中间位置，以测量待测磁芯中的最强磁场部位。位。位。