一种双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体的制作方法



1.本实用新型涉及加热装置技术领域,尤其是涉及一种双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体。


背景技术:



2.氮化铝陶瓷热导率高,清洁无污染,是带内置电路的高级陶瓷加热器的首选材料。但氮化铝陶瓷烧结温度超高1850℃且需要氮气保护,目前能满足氮化铝陶瓷烧结的炉体通常采用2种结构,一种是采用多层(10-15层)钨金属隔热屏和钨金属加热体的全金属烧结炉,该炉气氛清洁,可以用来烧结带内置电路的氮化铝陶瓷件,但该炉结构复杂,能耗巨大,设备造价高,生产成本高。另外一种是采用石墨作为发热体,碳钎维作为保温材料的石墨烧结炉,该炉能耗较低,设备造价也较低,但炉内高温时碳气氛复杂,无法进行带内置电路的氮化铝陶瓷件的高温共烧结,只能用来烧结简单的氮化铝结构件。


技术实现要素:



3.针对上述问题,本实用新型的目的是提供一种升温快,节能耗,双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体。
4.为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案如下:一种双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体,包括保温层,所述保温层内设有加热体和载物台,所述加热体包括第一加热体和第二加热体,所述第一加热体和第二加热体间设有隔热屏,所述第二加热体和隔热屏的材质均为钨,所述载物台设置在隔热屏内。
5.在上述技术方案中,所述载物台的材质为钨,所述保温层的材质为高纯氧化铝纤维。
6.在上述技术方案中,所述隔热屏包括3-4层钨金属层。
7.在上述技术方案中,所述氧化铝保温层上设有外层炉门,所述隔热屏上设有内层炉门,所述外层炉门和所述内层炉门4的位置一致。
8.在上述技术方案中,所述第一加热体与外层热电偶连接测温,所述第二加热体与内层层热电偶连接测温。
9.在上述技术方案中,所述第一加热体的材质为钼。
10.综上所述,采用本实用新型的技术方案相较于传统技术手段具有的有益效果是:本实用新型采用高纯氧化铝纤维制备外层炉体,两侧金属钼加热体并将外层炉体温度控制在1600℃,可以有限避免传统全金属炉体的水冷系统,大幅度降低烧结能耗,多层金属钨隔热屏制备内层炉体,两侧金属钨加热体实现二次加热,并将内层炉体温度控制在1850℃,可以有效的避免传统的石墨加热体的碳气氛污染,保证炉内气氛清洁的同时实现超高温控制加热。
附图说明
11.通过下面结合附图的详细描述,本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。
12.图1为本实用新型的主视示意图;
13.图2为本实用新型的俯视示意图;
14.标号如下:保温层100;外层炉门110;加热体200;第一加热体210;外层热电偶211;第二加热体220;内层热电偶221;载物台300;隔热屏400;内层炉门410。
具体实施方式
15.以下依据本实用新型的理想实施例为启示,通过以下的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
16.参考下列附图,对本实用新型进行进一步地说明:
17.如图1、2所示,一种双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体,包括保温层100,所述保温层100内设有加热体200和载物台300,所述加热体200包括第一加热体210和第二加热体220,所述第一加热体210和第二加热体220间设有隔热屏400,所述第二加热体220和隔热屏400的材质均为钨,所述载物台300设置在隔热屏400内。
18.所述载物台300的材质为钨,所述保温层100的材质为高纯氧化铝纤维。
19.如图1、2所示,所述隔热屏400包括3-4层钨金属层,3-4层钨金属为隔热屏实现超高温保温。
20.如图2所示,所述氧化铝保温层100上设有外层炉门110,所述隔热屏400上设有内层炉门410,所述外层炉门和所述内层炉门410的位置一致,利用高纯氧化铝纤维制备外层炉门,利用钨金属隔热屏制备内层炉门,既可以实现炉体保温要求,又可以灵活开关炉门实现进出物料要求。
21.如图2所示,所述第一加热体210与外层热电偶211连接测温,所述第二加热体220与内层层热电偶221连接测温。所述第一加热体210的材质为钼。
22.通过二级炉体设计,外层炉体设计温度1600℃,采用高纯氧化铝纤维为保温材料,金属钼为加热体。内层设计温度1850℃,采用较少的金属钨隔热屏(一般用3-4层)为保温材料,金属钨为加热体。通过二层设计,由于外层采用高纯氧化铝纤维且温度较低,气氛清洁且保温效果良好,无需水冷系统,大幅度降低了烧结能耗。内层用金属钨为加热体实现二次加热,2-3层钨金属为隔热屏实现超高温保温,由于只是超高温(1850℃)部分用金属结构,大幅度降低了设备制造成本,同时也可以有效的保证超高温时气氛的清洁,炉内无复杂碳气氛污染。本专利设备造价低,能耗低,且炉内高温下气氛清洁,可以用来做带内置电路的氮化铝陶瓷件的高温共烧结设备。
23.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征:


1.一种双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体,包括保温层(100),所述保温层(100)内设有加热体(200)和载物台(300),其特征在于:所述加热体(200)包括第一加热体(210)和第二加热体(220),所述第一加热体(210)和第二加热体(220)间设有隔热屏(400),所述第二加热体(220)和隔热屏(400)的材质均为钨,所述载物台(300)设置在隔热屏(400)内。2.根据权利要求1所述的双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体,其特征在于:所述载物台(300)的材质为钨,所述保温层(100)的材质为高纯氧化铝纤维。3.根据权利要求1所述的双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体,其特征在于:所述隔热屏(400)包括3-4层钨金属层。4.根据权利要求1所述的双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体,其特征在于:所述保温层(100)上设有外层炉门(110),所述隔热屏(400)上设有内层炉门(410),所述外层炉门和所述内层炉门(410)的位置一致。5.根据权利要求1所述的双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体,其特征在于:所述第一加热体(210)与外层热电偶(211)连接测温,所述第二加热体(220)与内层层热电偶(221)连接测温。6.根据权利要求1所述的双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体,其特征在于:所述第一加热体(210)的材质为钼。

技术总结


本实用新型涉及加热装置技术领域,尤其是涉及一种双层结构氮化铝陶瓷烧结炉体,包括外保温层,保温层内设有加热体,加热体包括第一加热体和第二加热体,第一加热体和第二加热体间设有隔热屏,第二加热体和隔热屏的材质均为钨,载物台设置在隔热屏内。本实用新型采用高纯氧化铝纤维制备外层炉体,两侧金属钼加热体即第一加热体并将外层炉体温度控制在1600℃,可以有效避免传统全金属炉体的水冷系统,大幅度降低烧结能耗,多层金属钨隔热屏制备内层炉体,两侧金属钨加热体实现二次加热,并将内层炉体温度控制在1850℃,可以有效的避免传统的石墨加热体的碳气氛污染,保证炉内气氛清洁的同时实现超高温控制加热。同时实现超高温控制加热。同时实现超高温控制加热。


技术研发人员:

党桂彬 杨世养 杨泽荣 杨军

受保护的技术使用者:

常州联德陶业有限公司

技术研发日:

2022.08.11

技术公布日:

2022/12/6

本文发布于:2024-09-22 12:55:20,感谢您对本站的认可!

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