简介:ME-S微蚀稳定剂是属于H2SO4/ H2O2体系的稳定剂,用于铜箔氧化前的表面处理,能形成均匀的、微粗化表面,为氧化提供理想的微观表面,从而达到最佳的粘合力。 一、特点
1、板面光亮,效果均匀一致;
2、微蚀速率恒定,操作方便;
3、铜溶量大,高含铜状态下,微蚀速率稳定。
二、溶液的配制
微蚀缸: H2SO4(98%): 10%
H2O2(50%): 5%
ME-S: 8%
DI水: 余量
(加硫酸时应慢加入并搅拌,待温度低于350C ,再加其他成分)
三、操作条件
最佳值 控制范围
微蚀缸: H2SO4 : 80ml/L 50-100ml/L
H2O2(50%):45ml/L 30-60ml/L
时间: 1min 0.5-1.5min
温度: 30 0C 25-35 0C
铜离子: <50g/L
四、药水添加与换缸
每100平方米,补加硫酸3升,50%双氧水2升和1升的ME-S双氧水稳定剂稳定剂;当铜离子浓度 > 45g/L时,换缸.
五、化学分析
(1)H2SO4的分析
(A)试剂:
1、1.0N的NaOH溶液
2、甲基橙指示剂
( B ) 方法:
1、精确吸取2.0ml样品于250ml锥形瓶中
2、加入50ml的DI水
3、加入 3滴甲基橙指示剂
(C) 计算:
H2SO4(ml/L) = 27 ×(V . N) NaOH / Vs
(2)H2O2的分析
(A) 试剂:
1、0.1N的KMnO4标准液(3.16g/L)
2、20%的H2SO4
(B) 方法:
1、精确吸取0.5ml样品于250ml锥形瓶中
2、加入30ml D.I水
3、加入20ml 20%的H2SO4
4、用0.1N KMnO4滴定至红30s不消失,即为终点。记录滴定体积。
(C) 计算:
H2O2(50%, ml/L) = 28.4× (V . N) KMnO4 / Vs
(3)Cu2+的分析
(A) 试剂:
1、浓NaOH液
2、PAN指示剂
3、pH值9.5的缓冲液
4、0.1N(0.05M)的EDTA标准液(18.6g/L Na2EDTA.·2H2O)
(B) 方法:
1、精确吸取1.0ml样品于250ml锥形瓶中
2、用浓NaOH滴定至沉淀出现
3、加入50ml D I水
4、加入10ml pH值9.5的缓冲液
5、加入3滴PAN指示剂
6、用0.1N的EDTA滴定至由蓝变绿
(C) 计算:
Cu2+ (g/L) = 64 ×(V. N) EDTA / Vs
六、产品规格
25升/桶