碳酰氟，又名氟光气、氟化羰、、氟氧化碳、氧氟化碳等。高毒刺激性气体，对皮肤及呼吸道粘膜具有强烈的刺激作用。能溶于水和碳酰氟。分子量66.01。可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2。车间空气有害物质接触限值：ACGIH 5.4mg/m3=2PPM。短时间接触限值：ACGIH 13mg/m3≈4.82PPM。急性毒性：LC50：270mg/m3，4小时(大鼠吸入)；972mg/m3，1小时(大鼠吸入)。 碳酰氟的用途
碳酰氟（COF2）又称、 氟光气， 可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2。
碳酰氟的日常防护
储存防护：储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。保持容器密封。应与氧化剂、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。应严格执行极毒物品“五双”管理制度。cof
操作防护：穿密闭型防毒服。戴橡胶手套。空气中浓度超标时，必须佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）。紧急事态抢救或撤离时，应该佩戴空气呼吸器。工作现场严禁吸烟。保持良好的卫生习惯。注意检测毒物。 碳酰氟的应急措施
人体吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。 泄露处理：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即进行隔离，小泄漏时隔离150m，大
泄漏时隔离450m，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。从上风处进入现常尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
灭火方法：消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风向灭火。迅速切断气源，用水喷淋保护切断气源的人员，然后根据着火原因选择适当灭火剂灭火。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。
硬件预防碳酰氟
SK/MIC-600-COF2-F在线式碳酰氟（COF2）检测仪由气体检测报警控制器和固定式碳酰氟（COF2）检测器组成，对各监测点进行监测控制，碳酰氟（COF2）检测器安装于气体最易泄露的地点，其核心部件为气体传感器。碳酰氟（COF2）检测器将传感器检测到的碳酰氟（COF2）浓度转换成电信号，通过线缆传输到气体检测报警控制器，气体浓度越高，电信号越强，当气体浓度达到或超过报警控制器设置的报警点时，气体检测报警控制器发出报警信号，并可启动电磁阀、排气扇等外联设备，自动排除隐患。 SK/MIC-800-COF2-F便携式碳酰氟（COF2）气体检测仪配置了一个小型气泵，其工作方式是电源带动气泵对待测区域的气体进行抽气采样，然后将样气送入仪表进行检测。碳酰氟检测仪的特点是检测速度快，对现对危险的区域可进行远距离测量，维护人员安全，其
它和扩散式气体检测仪一样。扩散式气体检测仪顾名思义是被检测区域的气体随着空气的自由流动缓慢的将样气流入仪表进行检测。这种方式受检测环境的影响，如环境温度、风速等。扩散式气体检测仪特点是成本低。碳酰氟检测仪与扩散式气体检测仪的工作原理基本一样，通过仪器的传感器对样气检测然后通过电路放大整理转换成对应的数值显示在屏幕上。
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