一种碳化硅原料合成炉的热场及合成炉

(19)中华人民共和国国家知识产权局

	(12)发明专利说明书
		(10)申请公布号 CN 112725903 A (43)申请公布日 2021.04.30

(21)申请号 CN202011350688.8

(22)申请日 2020.11.26

(71)申请人南京晶升能源设备有限公司

地址 211113 江苏省南京市南京经济技术开发区恒发路30-1号

(72)发明人李辉杨茜毛瑞川叶迎海郭志强逯文东

(74)专利代理机构 32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)

代理人张弛

(51)Int.CI

C30B35/00(20060101)

C30B29/36(20060101)

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种碳化硅原料合成炉的热场及合成炉

(57)摘要

碳化硅石墨坩埚

本发明公开了一种碳化硅原料合成炉的热场，包括坩埚主加热器、辅加热器、保护筒及气路管，该保护筒包括围绕坩埚周向的保护筒侧壁、位于坩埚底部下方的保护筒底壁位于坩埚顶部的顶盖，其中保护筒侧壁位于坩埚与主加热器之间，保护筒底壁位于辅加热器与坩埚底之间；本发明的热场可以使原料在圆周方向及底部区域都均匀受热，避免局部过热或过冷的情况，具有更好的温度均匀性，热场性能加稳定，提高了热效率。石墨保护筒将加热器与粉料隔离，保护加热器在使用过程中不受污染，延长加热器寿命。本发明还提供了一种合成炉，具有上述技术方案中的热场。

法律状态

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2021-04-30	公开	公开
2021-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2021-07-20	著录事项变更	著录事项变更