,chvacuum/leakhunting/095515.html)已经提到了真空系统的透气现象,在真
空腔的两侧假如存在压强差,任何材料总会或多或少渗透一些气体。渗透率与
气体的种类和材料的种类有关,而且差异很大。比如铁和镍,对氢气就有较高
日志存储的渗透率。
物质表面吸附(或冻结)有水和油等有机化合物。当物质处于真空环境中 时,表面的吸附物会慢慢挥发或升华成为气体,逐渐放出。特别是多孔等表面
积大的物质,放出的气体会极大地影响真空度。要达到较高的真空度,必须选
择放出气体少的材料。假如从外部没有导入气体,经过充分时间后真空腔所能
年糕加工达到的压强由排气速度和气体放出量决定。
材料的放气是一个非常复杂的过程。首先,物体表面放出的气体可能会
真空环境
被其他表面吸附,那里又会成为新的气体放出源。其次,从固体内部还不断有
气体扩散到表面。气体放出量会随时间而不断减少,但不可能达到零。因此,
根据所需达到的压强,一直到气体放出可以忽略,都要不停地排气,而且要维
持气体压强,也必须不断排气。
超高真空中应尽量避免使用黄铜材料,因为黄铜中含有大量的防止冷凝水 Zn。Zn 的
蒸气压高,处于真空中的黄铜假如温度升高,则 Zn 会大量放出,从而污染真空
系统。
假如气体的放出量和吸附量成正比例,则放气率应该随时间 t 呈指数函数
关系减少,而实际上放气率随时间应用系统运维 t 呈反比例关系减少。这一现象也证明气体的
吸附和放出过程中有许多复杂的中间状态。通常情况下,金属和玻璃的放气率
较小,而树脂和橡胶较大。因此在高真空领域,尽量不用树脂和橡胶。如关于
气体放出,简单总结如下:
(1)双面斜纹布达到高真空度必须选择放气率较小的材料;
(2)气体放出量随时间增加而减少,但不能达到 0;
(3)通常情况下按橡胶、树脂、陶瓷、金属、玻璃的顺序放气率依次减
小;
(4)放出气体的主要成分是水蒸气;
(5)放气率和材料所处的环境及表面状态有关,难于精确预测。