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静电放电防护程序_PE201F

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感温元件Internal use only

版次 Rev. A B C D

生效日期 Effective Date 2003-5-22 2004-6-18 2004-9-17 2005-06-29

ECN 编号 ECN No. D03002 D04011 D04030

修订者 Reviser -New Issue

说明 Description

陈国政 1. 8.6.2 及 8.7.2，标注量测电压 500V 2. 修改储物柜接地每月量测记录表(FE20106) 陈国政全面修订

6200-05024 胡兆民 1.修改表单:”手环每日测试记录表(FE20101) 改为” 静电环/鞋每日量测记录表” 2.废止表单:”静电放电鞋每日测试记录表” 3.修改 5.5.2 8600-05032 陈国政修改 3.5 、 3.6 、 5.5.7

、 5.5.12 5.6.3 、 5.7.3 、 5.7.5 、 5.7.8 、 5.10.2 5.11.1 、 5.12 、 5.13.1 、 5.13.2 、 5.15.1 8.3 附录三修改 5.4.6 修改 5.5.7

2005-07-15

2005-09-17

8600-05050

张雅

制订部门： Initial Dept.: 制订者： Initial by: 核准： Approved by:

品管处

文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure 文件编号： PE201 No.: 1 of 26

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页数： Page：

文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure

文件编号：PE201 No.

版次(Rev.)： F 页次(Page)：2 of 26

1.目的 (Purpose)：为防止或保护客户产品于 KLT 生产及搬运过程中因静电放电因素而造成破坏。 2.范围 (Scope)： 2.1 本程序提供有关 ESD 管制以及为维护无静电放电环境(ESD free)的测试需求之所有作业与相关人员指示。ESD 管制计画是一完整的系统会影响所有人员。所有生产之半导体元件及组件皆应视为感电(Static-sensitive)的元件。如本说明述之 ESD 管制程序应使用于任何时间点，对任何半导体元件的安全处理上。 2.2 静电放电防护作业区域 ESD Protective Area（EPA）： 2.1 产品由进料，经测试加工至出货之生产区域，如：针测、奔应、卷带、研磨…等。 2.2 物料仓管区。 3.权责 (Responsibility)： 3.1 作业者：依规定配戴适当防护服装及器材。 3.2 领班：查核作业者是否依规定配戴适当防护器材。 3.3 单位主管：督导本 ESD 防护各项规定确实被执行。 3.4 生产部：负责所有使用之工作桌、手环、桌垫，重复使用包装材料及 ESD 防护器具的编码。 3.5 品管部：负责所有使用

之工作桌接地、手环阻值、桌垫接地线，静电消除器、EPA 环境静电压、传导性推车、储物架、静电桌垫、静电服及导电地板表面阻抗量测，负责新购所有 ESD 防护器具抽样检测，以符合 ESD 要求。 3.6 厂务部：确认 ESD 防护系统的接地及大地接地的定期量测执行。 4.名词定义 (Definition)： 4.1 ESD：Electro-static Discharge(静电放电) 4.2 物料特性：应用下列阻值类别定义物料性质。 4.2.1 传导性物质：表面电阻系数小于 1×10E5 欧姆/单位面积。 4.2.2 静电消散性物质：表面电阻系数介于 1×10E5 与 1×10E12 欧姆/单位面积。 4.2.3 抗静电物质：物质本身能抑制或与其他材质物体摩擦后所产生之静电压值不大于±200 伏。 4.2.4 绝缘性物质：表面电阻系数大于 1×10E12 欧姆/单位面积（EPA 禁止使用）。

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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure

文件编号：PE201 No.

版次(Rev.)： F 页次(Page)：3 of 26

4.3 软接地：搭配 1MΩ±10%电阻与地线连接之接地方式。 4.4 硬接地：一个导电点藉由电子线路或特殊设备和大地连接。其值小于 1 欧姆。 4.5 共地点：经由此点可直接或间接连接至大地接地。其值小于 1 欧姆。 4.6 自动工作站：作业时人员并不接触产品及材料 4.7 非自动工作站：作业时人员需用手接触产品及材料 5.作业内容 (Operating Requirement)： 5.1 所有 EPA 均应依循本程序书之要求执行/实施。 5.2 除客户指定供应厂商及特殊需求外，所有使用于生产过程之服装、配备、直接与产品接触之包装材料均应使用静电防护材质。如传导性、静电消散性及抗静电性 5.3 CD（Charge-distance Rule）法则：物体表面若带有静电压时（以静电压表量测），应与静电敏感元件保持之安全距离。d = (V ) /1.8 （d：与带电表面之最小安全距离 in；V：静电压表之读值 Volts） V, Volts 300 500 1000 2000 3000 4000 D, inches（cm） 10（25） 12（32） 18（45） 25（63） 30（78） 35（90） V, Volts 6000 8000 10000 15000 20000 30000 D, inches（cm） 43（110） 50（127） 56（141） 68（173） 79（200） 96（245）

5.4 人员：所有人员进入 EPA 均应依规定穿着或配戴静电防护服装/装备。 5.4.1 区域与服装规定区域服装规定 CP、研磨切割、组装等晶片前段作业连身静电服、头罩、静电鞋、手套、口罩(手环、区指套必须时) F/T、M/T、奔应测试、TAPE/REEL 静电服、静电帽、静电鞋、手环(手套、指套必区等封装后段作业区须时) 5.4.2 防静电手环：作业人员应使用含 1MΩ±10%电阻之静电手环，不得使用无线手环，静电手环须直接与皮肤紧密接触，若因作业需求而手环必须使用于腿部或戴手套时，亦须直接与皮肤紧密接触。手环应使用香蕉接头连接或以鳄鱼夹连接地线。

静电消除装置文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure

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文件编号：PE201 No.

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5.4.3 头发容易产生静电，因此应以静电帽罩住，长度如超过肩部应将头发挽起，收于静电帽内。 5.4.4 手套及指套：手套与指套必须用于直接接触产品及直接搬运产品过程。 5.4.5 静电鞋：人员(包括访客、施工人员)进入 EPA 均应穿着静电鞋。 5.4.6 作业者每日进入 EPA 前均应先测试手环及静电鞋功能是否正常，并记录量测结果,量测 pass 后，方可进入产线,若量测 fail 后，则必须进行更换，直到量测 pass 后方可进入。 5.4.7 识别证：人员识别证应配挂身上且置于静电服内且衣服拉链须拉至顶端定位，扣上领口。不得取下放置于工作台面或产品上。 5.4.8 离开 EPA 时须脱下静电服装。 5.5 工作站： 5.5.1 在作业区使用导电工作桌（如不锈钢）需直接接地，接地阻值小于 1 欧姆，若为非导电工作桌则需在工作桌面使用静电桌垫及附 1MΩ±10%电阻之软接地。 5.5.2 工作站(含包装区工作站)中之

手环、桌垫应与共地点连接。 5.5.3 手环、桌垫、料架及工作桌接地均应以并联方式或串联方式直接与共地点连接。 5.5.4 工作桌表面应随时保持清洁并避免损伤，以免降低静电防护能力。 5.5.5 工作站使用之仪器、设备应实施电源接地，同时绝缘体应依 CD 法则与产品保持距离。若物品、操作、设备会产生大于±200 伏静电压在接近敏感元件前需以离子中和或降低至±200 伏静电压以下 5.5.6 桌垫下禁止摆放任意纸张及杂物。 5.5.7 工作站使用推车之车轮应具导电性，否则应直接与共地点连接或加装铁链，铁链须与地板接触。其它可移动设备和办公用设备，如椅子、桌子等在工作站中使用时均需与共地点连接或加装铁链.(若接近静电敏感元件 30 公分以内不得高过±200 伏静电压。) 5.5.8 产品不得直接放置工作台面上，应以 Tray、Tube 或其它静电防护材料承装。 5.5.9 静电消除器上下禁止摆放任意纸张及杂物。使用静电消除器时应置于工作区 120 公分以内，二边各近似 45 度角之范围。且方向正对着工作区域，中间不可有阻隔。 5.5.10 标准静电管制工作站应依照附录一要求设立。(除最终装箱作业站外均为 anti-static material 静电管制工作站)并加贴 ESD 工作站标签。 5.5.11 ESD 静电防护警示标示参照附录二。 5.5.12 非自动工作站应保持于±200 伏以内之静电压且人员需佩戴手环及手套. 5.5.13 当工作桌及储物柜需新增或位置变更时申请部门须填写 ESD 接线施工申请单 (FE20113)以知会厂务部进行施工 5.5.14 当 ESD 接线施工完工后设施维修部需执行 ESD 施工验收并记录于 ESD 接线验收单

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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure

文件编号：PE201 No.

版次(Rev.)： F 页次(Page)：5 of 26

(FE20114) 5.6 机台、设备 5.6.1 所有机台、设备等都须注意静电防护。其机台、设备外壳应做设备接地，其值应小于 1Ω；机器设备内部 Pick & Place 及运作轨道之接地系统 R≦10Ω 5.6.2 具 Pick & Place 功能；贴/撕胶及有滑轨输送之测试、生产设备应加装静电消除器，以平衡环境之电场。 5.6.3 人员操作机台时应将手环与共地点连接且佩戴手套。 5.6.4 使用于 EPA 之静电消除器应每周实施功能性测试，以静电压表充电至 1000 伏于 30 公分距离 20 秒内抑制电压小于±200 伏 5.7 静电放电防护区 EPA： 5.7.1 EPA 之入口处应张贴或悬挂 ESD 防护区域标示、人员服装/配备标准示意、鞋环测试器、鞋环测试标准步骤及鞋环测试记录。手环测试不可使用公用测试线 5.7.2EPA 区所有与静电相关之标示均以黄底黑字区别，其它非静电相关标示不得使用。 5.7.3 EPA 环境湿度规格为 50﹪±10，温度最少应保持 18ºC，最高应保持 26ºC. 5.7.4 一般纸张于温湿度管制环境中视为非带电材质，若使用于

EPA 或与随产品移动之非光面纸张流动文件、标示卡等应采用具静电防护材质材料包覆。 5.7.5 接触产品或取放产品应使用静电防护吸笔或佩戴静电环及静电手套。 5.7.6 访客在进入 ESD 防护区之前，应有相关人员陪同，在进入前应着静电防护工作服及静电鞋，若要接触 ESD 敏感零件或组件时，应先做适当的防护(例如：配戴静电手环、戴防静电手套或指套、使用吸笔等)方可碰触，否则应予以制止。 5.7.7 置物架的内层应由各使用单位定期清洁及记录。 5.7.8 储物架、料架、柜子等应使用导电材质，需与共地点连接或加装铁链.烤漆铁柜不具静电防护功能，如需使用时应于内层装置静电消散桌垫，并做软接地。仓储库房如无静电防护措施，则所有静电敏感元件需置于静电防护包装中 5.7.9 所有用于搬运、组装、测试、清洁、修复、检验或包装电子元件/组件的工作区域皆应适当地接地。并且注意防止任何会产生静电的物料。这些物料，包含下述项目：标准塑胶工件箱，毛刷、杯子、水瓶以及其它人员的影响。确保工作区域符合上述要求是所有员工的责任，并应由各区组长督导其确实被遵从。各区(副)组长是确保其负责区域内所有的置物架都已接地，并且保持清洁。 5.7.10 使用于产品包装材料至少都需有抗静电处理或抗静电材质。 5.8 物料的采购： 5.8.1 从供应商或客户处装运来的，对静电敏感的电子元件都应有静电防护包装。

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