一种激光直写镜头调焦结构的制作方法



1.本实用新型涉及曝光机领域,特别是一种激光直写镜头调焦结构。


背景技术:



2.对ldi曝光设备,一般是多个镜头同时曝光,这就要求各镜头的焦面都在同一高度。镜头制作过程中,加工、装配及调试等原因,导致各镜头焦面不可能做到完全一致。
3.如图1所示,目前镜头1与法兰面2是一体的,通用的调焦方式是在法兰面垫不同厚度的垫片,以保证各镜头焦面在同一高度。基本步骤是:先安装固定好镜头测量焦面,然后取下镜头装垫片,再安装镜头测焦面。这过程可能重复多次才能达到所需结果。同时,还需要提前准备好各种不同厚度的垫片。并且使用垫片调焦,镜头成像中心位置,镜头与平台的垂直度、镜头旋转角度参数等也会受到影响,调试时还要检测这些参数有没变动。


技术实现要素:



4.针对上述问题,本实用新型提供了一种激光直写镜头调焦结构,可只改变焦面位置而不影响其他参数,并且调焦方式简单,操作方便。
5.本实用新型采用的技术方案为:
6.一种激光直写镜头调焦结构,包括镜头,镜头上套有用于安装的法兰盘,镜头还套有用于调节镜头高度的调焦环,镜头与调焦环螺纹配合,调焦环通过螺钉安装在法兰盘上。
7.优选地,所述镜头上设有用于限制法兰盘旋转的导向槽,法兰盘上设有与导向槽配合的凸起。
8.优选地,所述镜头上设有用于限制法兰盘旋转的凸起,法兰盘上设有与导向槽配合的导向槽。
9.更优选地,所述法兰盘上设有多个用于安装调焦环的安装孔,所述调焦环上还设有至少一个用于转动调焦环后与法兰盘上安装孔对应的弧形槽。
10.与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:本实用新型提供一种激光直写镜头调焦结构,在需要调焦时,取下法兰盘与调焦环之间的螺钉,转动调焦环,调焦环与镜头螺纹配合,镜头进行升降以调节焦面位置,调焦至合适位置后,采用螺栓将调焦环进行固定,这样只改变焦面位置而不影响其他参数,调焦方式简单,操作方便。
附图说明
11.图1,为现有技术中镜头的示意图;
12.图2,为本实用新型提供的一种激光直写镜头调焦结构的示意图;
13.图3,为本实用新型提供的一种激光直写镜头调焦结构的一种实施方式爆炸图;
14.图4,为本实用新型提供的一种激光直写镜头调焦结构的另一种实施方式爆炸图。
具体实施方式
15.根据附图对本实用新型提供的优选实施方式做具体说明。
16.图2至图4,为本实用新型提供的一种激光直写镜头调焦结构的优选实施方式。如图2至图4所示,该激光直写镜头调焦结构包括镜头10,镜头10上套有用于安装的法兰盘20,镜头10还套有用于调节镜头高度的调焦环30,镜头10与调焦环30螺纹配合,调焦环30通过螺栓安装在法兰盘20上,这样在需要调焦时,取下法兰盘20与调焦环30之间的螺栓,转动调焦环30,调焦环30与镜头螺纹配合,镜头10进行升降以调节焦面位置,调焦至合适位置后,采用螺栓将调焦环30进行固定,这样只改变焦面位置而不影响其他参数,调焦方式简单,操作方便。
17.在转动调焦环30时,法兰盘不能同步进行转动,镜头10与法兰盘20之间采用凸起与凹槽配合,作为一种优选实施方式,如图3所示,所述镜头10上设有用于限制法兰盘旋转的导向槽101,法兰盘20上设有与导向槽配合的凸起201,法兰盘20与镜头10间隙配合,利用导向槽101与凸起201配合,保证法兰盘20沿镜头上下移动时不发生旋转;作为一种优选实施方式,如图4所示,所述镜头上设有用于限制法兰盘旋转的凸起201,法兰盘上设有与导向槽配合的导向槽101。
18.所述法兰盘20上设有多个用于安装调焦环的安装孔21,所述调焦环30上还设有至少一个用于转动调焦环后与法兰盘上安装孔对应的弧形槽301,这样可方便调焦后进行安装定位调焦环。
19.综上所述,本实用新型的技术方案可以充分有效的实现上述实用新型目的,且本实用新型的结构及功能原理都已经在实施例中得到充分的验证,能达到预期的功效及目的,在不背离本实用新型的原理和实质的前提下,可以对实用新型的实施例做出多种变更或修改。因此,本实用新型包括一切在专利申请范围中所提到范围内的所有替换内容,任何在本实用新型申请专利范围内所作的等效变化,皆属本案申请的专利范围之内。


技术特征:


1.一种激光直写镜头调焦结构,其特征在于,包括镜头,镜头上套有用于安装的法兰盘,镜头还套有用于调节镜头高度的调焦环,镜头与调焦环螺纹配合,调焦环通过螺钉安装在法兰盘上。2.根据权利要求1所述的激光直写镜头调焦结构,其特征在于:所述镜头上设有用于限制法兰盘旋转的导向槽,法兰盘上设有与导向槽配合的凸起。3.根据权利要求1所述的激光直写镜头调焦结构,其特征在于:所述镜头上设有用于限制法兰盘旋转的凸起,法兰盘上设有与导向槽配合的导向槽。4.根据权利要求1所述的激光直写镜头调焦结构,其特征在于:所述法兰盘上设有多个用于安装调焦环的安装孔,所述调焦环上还设有至少一个用于转动调焦环后与法兰盘上安装孔对应的弧形槽。

技术总结


本实用新型提供了一种激光直写镜头调焦结构,包括镜头,镜头上套有用于安装的法兰盘,镜头还套有用于调节镜头高度的调焦环,镜头与调焦环螺纹配合,调焦环通过螺钉安装在法兰盘上。与现有技术相比,本实用新型提供一种激光直写镜头调焦结构,在需要调焦时,取下法兰盘与调焦环之间的螺钉,转动调焦环,调焦环与镜头螺纹配合,镜头进行升降以调节焦面位置,调焦至合适位置后,采用螺栓将调焦环进行固定,这样只改变焦面位置而不影响其他参数,调焦方式简单,操作方便。操作方便。操作方便。


技术研发人员:

蔡志国 徐占辉 吴德和

受保护的技术使用者:

深圳凯世光研股份有限公司

技术研发日:

2022.06.27

技术公布日:

2022/11/10

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