导致烟气吸收塔塔顶换热器回流温度偏高，造成尾气中部分氯硅烷无法完全冷凝下来，混合气中含有少量氯硅烷不仅对循环氢气质量有影响，同时对后续氢气压缩单元氢压机设备运行稳定性和安全性造成相应影响。 1.3 改进方向
针对这个问题，可以将还原装置溴化锂机组产生低温水引入尾气冷却器，能够有效增加换热效果，使还原炉尾气中氯硅烷达到更好地分离效果，并且能够有效地降低进入塔顶换热器进口温度，降低烟气吸收塔喷淋温度，从而改善烟气吸收塔分离效果，并且也可以尽可能降低进入氢气压缩机氯硅烷，保证氢气压缩机稳定安全运行。
2 气体输送单元
2.1 工艺流程
由烟气吸收塔出来混合气体通过氢气压缩机输送，提高流体推动力，为后部工序提供足够传质动力。
刷镀液
2.2 存在问题
由于氢气压缩机卸荷器气缸侧为氢气夹带氯硅烷，卸荷器通过压缩空气推动，将气缸与进气空间流道封闭对氢压机进行加载，而其中卸荷器传动密封使用是是填料密封，属于硬密封，在氢气压缩机长时间运行加载过程，因填料与阀杆不断相互摩擦，导致填料逐渐发生磨损，严重时甚至导致填料发生形变或者是位移，这样会发生设备串压情况，从而严重影响压缩机正 常运行，对混合气体质量也会造成一定影响。
2.3 改进方向
由于氢气压缩机卸荷器通过仪表气推动，卸荷器传动密封为填料密封，通过将填料改为一体式填料，采用软密封形式，这样可以提高填料密封性能，增加填料耐磨程度，防止在氢气压缩机运行加载过程中填料发生形变和位移，减小氢气压缩机泄漏量。
3 氯化氢吸收单元
3.1 工艺流程
根据混合气中各组分溶解度不同，将来自氢气压缩机混合气体经过氯化氢吸收塔，采用氯硅烷作为吸收剂，其中大量氯化氢和二氯二氢硅在加压低温条件下被吸收剂溶解吸收后，送
锅炉烟囱制造
传感器数据0 引言
在改良西门子法多晶硅[1-2]生产过程中，还原炉内氢气与氯硅烷发生还原反应，尾气中主要含有SiCl 4、HCl 、少量二氯二氢硅DCS 、聚合物和未反应SiHCl 3及H 2气体等，而还原炉内氢气还可能与其中硼，磷杂质发生还原反应，所以还原炉尾气中可能含有BC13, PC13, B, P, PH 3等杂质。尾气回收装置[3-4]主要包括五个单元，分别为尾气粗分离单元、气体输送单元、氯化氢吸收单元、氯化氢解析单元、H 2净化单元，工艺流程见图1。若尾气回收各单元未达到预期处理效果，杂质可能再循环氢气中不断积累，最终将影响电子级多晶硅成品质量，所以本文主要尾气回收装置各单元对循环氢气质量影响因素进行了分析研究。
图1 改良西门子法尾气回收工艺流程图
曲轴设计1 尾气粗分离单元
1.1 工艺流程
来自还原炉装置尾气包括四氯化硅SiCl 4、氯化氢HCl 、少量二氯硅烷DCS 、聚合物和未反应三氯氢硅SiHCl 3及氢气H 2，通过尾气回收装置尾气冷却器冷却后，经气液分离器分离，进入烟气吸收塔进行粗分离，在烟气吸收塔中混合气被从塔顶喷流下氯硅烷液体在低温条件下洗涤，混合气中大部分氯硅烷气体被冷凝后进入精馏工序提纯循环使用，而烟气吸收塔塔顶得到除去大部分氯硅烷混合气体。
1.2 存在问题
若公用工程供应冷剂温度偏高，还原炉运行负荷偏高时，
影响尾气回收装置循环氢气质量的因素分析
李有斌 李宏盼 陈叮琳(青海黄河水电新能源分公司，青海 西宁 810007)
摘要：改良西门子法多晶硅生产尾气回收装置尾气粗分离单元、气体输送单元、氯化氢吸收单元、氯
选料网化氢解析单元、H 2净化单元五个单元，还原炉尾气中杂质BC13, PC13，以及单质B, P 等通过烟气吸收、加压冷凝，吸收解析，氢气净化过程中从氢气中分离，提纯后氢气送至还原炉循环利用。文章通过分析5个单元工艺流程中可能存在问题，并提出改进方向可以提高循环氢气杂质去除效果，保证还原炉化学气相沉积过程中循环氢气纯度。关键词：尾气回收；循环氢气；杂质
>压铸机料筒的设计
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