扩晶工艺规程 工序名称:扩晶 范 围:适用于产品扩晶作业流程 设备及工具:扩晶机、扩晶环、静电手套、离子风扇、刀片、废料盒 使用材料:蓝膜晶片 2.作好防静电准备; 3.按《设备维护要求和维修记录表》的要求进行检查,并填写《设备维护要求和维修记录表》。 作业步骤:1.先打开气压阀,将power on钮打开并将温控器投定预热温度50℃(如图); 变频器开关电源2.待加热温度达到温控器设定温度后,打开离子风扇1分钟后开始扩晶;手持式按摩器 3.打开扩晶机上盖,将扩晶内环平整的放在底座上(光滑面朝上); 4.取一张待扩晶片,先将贴在蓝膜上的晶片等级标签纸撕下,贴于流程单背面; 5.多人交互式VR作业人员要将晶片离心纸慢慢撕下(离心纸朝上,蓝膜朝下),撕下离心纸的整个过程要在离子风扇下进行以上动作; 6.将蓝膜放入扩晶座,晶片朝上,晶片需放于扩晶环中心且必须平贴底坐(如图); 7.放下扩晶机上盖,移动手柄,使上盖扣紧扩晶环(如图); 8.按下绿上升按钮,使加热盘上升(如图); 9.将扩晶环外环平整的放到压盖内(光滑面朝下); 10.按下压盖气缸开关,压盖下压,使两片扩晶环扣紧; 11.拨下加热盘气缸开关,加热盘回位后松开手柄,打开扩晶机上盖,取出扩晶好的蓝膜,将扩晶机上盖移于原位; 12.用刀片将扩晶环外多余的蓝膜沿着扩晶环整齐地割掉; 13.将废料放到废料盒内。 注意事项:1.扩晶机运行时禁止将手伸入,防止夹伤; 2.使用刀片时注意安全; 3.操作时手不可触摸蓝膜上晶片; 4.刀片切割时,不可损伤扩晶环及环内蓝膜; 5.若有异常状况时,立即停机通知组长或设备人员; 6.下班前必须清理设备,保证设备清洁卫生; 7.工作完毕,切断电源。 | ||||||||
更改标记 | 数量 | 更改单号 | 签 镀金液名 | 日期 | 签 名 | 日期 | 第1页 | |
突变体 拟 制 | ||||||||
审 核 | ||||||||
共1页 | ||||||||
usb转换 | 批 准 | |||||||
本文发布于:2024-09-24 00:27:53,感谢您对本站的认可!
本文链接:https://www.17tex.com/tex/1/291931.html
版权声明:本站内容均来自互联网,仅供演示用,请勿用于商业和其他非法用途。如果侵犯了您的权益请与我们联系,我们将在24小时内删除。
留言与评论(共有 0 条评论) |