石墨煅烧操作规程

煅烧石墨操作规程
岗位任务
提供洁净高纯石墨基座、石墨卡瓣,为生产高质量的太阳能级多晶硅奠定基础。
小型变速箱 牧草收割机岗位职责
1)煅烧石墨件的准备
2)石墨件清洗
3)石墨件烘干
4spi隔离芯片)石墨件煅烧
工艺流程原理
通过高温煅烧除去石墨中的易挥发物,防止在还原和硅芯拉制时杂质沾染多晶硅。
工艺指标
1真空泵低真空到30格(1×10-3档)
2扩散泵高真空到90格(1×10-3档)
3)煅烧炉高压开后20分钟升压,每次0.5V
4)煅烧炉温到1550
开停车、紧急停车步骤及操作方法
1 开冷却水阀门
2 开真空泵
3)合扩散泵闸刀,预热扩散泵
4)开真空阀,低真空到30格(1×引线框架10-3档)时,关闭低真空阀门
5)开高真空阀门,高空到90格(1×10-3档)
6)合高压开关,二十分钟后,升高压。等真空度到8090格时,升高压,一直到8X5),炉温到1550℃,恒温23背板制作小时
离心制丸机7 停炉:慢慢降温,一般十分钟降完,停高压电、停扩散泵、关真空阀、停炉、关闭冷却水阀门
8)拆炉:拆开炉子后,戴口罩和高纯手套,把石墨件去出,装在洁净的塑料袋内密封。
9)紧急停车:先停真空泵再停电,最后停水。
常见事故原因分析及处理
1)停水:马上关闭真空泵阀门然后关闭电源。
2)停电:关闭真空泵阀门,待石墨炉内和扩散泵温度降到室温再关闭电源,最后关闭循环水阀门。
3)真空抽不到指标:停炉然后检查密封处的密封性。
连锁、报警一览表
水压、温度、真空度、电压、电流
设备一览表
循环水系统、真空系统、扩散泵、石墨煅烧炉
工艺流程简图
                                                                   

本文发布于:2024-09-21 20:52:25,感谢您对本站的认可!

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标签:石墨   扩散   真空   阀门   关闭   停炉   真空泵   温度
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