一 岗位任务
提供洁净高纯石墨基座、石墨卡瓣,为生产高质量的太阳能级多晶硅奠定基础。
二小型变速箱 牧草收割机岗位职责
(1)煅烧石墨件的准备
(2)石墨件清洗
(3)石墨件烘干
(4spi隔离芯片)石墨件煅烧
三 工艺流程原理
通过高温煅烧除去石墨中的易挥发物,防止在还原和硅芯拉制时杂质沾染多晶硅。
四 工艺指标
(3)煅烧炉高压开后20分钟升压,每次0.5V
(4)煅烧炉温到1550℃
五 开停车、紧急停车步骤及操作方法
(2) 开真空泵
(3)合扩散泵闸刀,预热扩散泵
(4)开真空阀,低真空到30格(1×引线框架
10-3档)时,关闭低真空阀门 (5)开高真空阀门,高空到90格(1×10-3档)
(6)合高压开关,二十分钟后,升高压。等真空度到80~90格时,升高压,一直到8(X5),炉温到1550℃,恒温2~3背板制作小时
(离心制丸机7) 停炉:慢慢降温,一般十分钟降完,停高压电、停扩散泵、关真空阀、停炉、关闭冷却水阀门
(8)拆炉:拆开炉子后,戴口罩和高纯手套,把石墨件去出,装在洁净的塑料袋内密封。
(9)紧急停车:先停真空泵再停电,最后停水。
六 常见事故原因分析及处理
(1)停水:马上关闭真空泵阀门然后关闭电源。
(2)停电:关闭真空泵阀门,待石墨炉内和扩散泵温度降到室温再关闭电源,最后关闭循环水阀门。
(3)真空抽不到指标:停炉然后检查密封处的密封性。
七 连锁、报警一览表
水压、温度、真空度、电压、电流
八 设备一览表
循环水系统、真空系统、扩散泵、石墨煅烧炉
九 工艺流程简图