一种用于单晶炉CCD相机清洁装置的制作方法

一种用于单晶炉ccd相机清洁装置
技术领域
1.本实用新型涉及光伏制造技术领域,尤其涉及一种用于单晶炉ccd相机清洁装置。


背景技术:



2.现有的单晶炉,对于晶体生长的自动控制大多采用ccd相机,ccd相机利用视觉图像采集与处理技术,来实现晶体生长过程的监控。使用时将ccd相机安装至单晶炉炉盖顶部的观察窗处,ccd相机的摄像头朝向炉内设置,用于观测、拍摄炉内液面,在单晶拉制过程中的调温、引晶、放肩、转肩、等径阶段来测量液面温度、液面到导流筒的距离以及单晶硅棒直径等数据,为单晶拉制过程提供控制参数依据。
3.但是,在运行过程中,随着时间变长,ccd观察视窗玻璃会逐步附着灰尘,导致ccd显示液面温度、液面到导流筒的距离以及单晶硅棒直径等数据发生偏差,需要不时地拆开防护罩,清理视窗玻璃,并重新调整ccd相机各项参数,这种方式一定程度上影响了单晶硅的拉制。


技术实现要素:



4.本实用新型目的就是为了解决现有ccd相机清洁操作繁琐、效率低、拖慢拉制进度的问题,提供了一种用于单晶炉ccd相机清洁装置,可以在不拆防护罩的前提下对玻璃进行有效清洁,减少数据测量偏差,无须重新调整相机参数,提高单晶硅拉制效率,改善单晶硅棒的品质和产量。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种用于单晶炉ccd相机清洁装置,包括设置在单晶炉炉盖上的ccd组件,ccd组件包括一个与单晶炉炉盖相连的底座,底座上连有一个环状的安装座,安装座上连接一个防护罩,以用于保护内部的设备;
7.防护罩内设有相机组件,相机组件的底部固定在安装座上,安装座的外侧连接一根压缩空气进气管,压缩空气进气管上连有电磁阀,且其出气端穿过安装座的侧壁与一组设于安装座内的清扫喷头相连,清扫喷头正对着相机组件的镜头下方设置,以便于通过喷吹对镜头玻璃的灰尘进行清扫;
8.安装座的一侧设有除尘口,除尘口正对着清扫喷头设置,除尘口上连有一个相配合的防护盖,以便于将灰尘由除尘口排出。
9.进一步地,所述除尘口的外侧设有卡槽,其包括相互平行的上卡槽和下卡槽,上卡槽设于除尘口的上部,下卡槽设于除尘口的下部。
10.进一步地,所述防护盖为l型板,其包括水平板和竖直板,水平板的端部设有一条上卡块,竖直板的下端设有一条下卡块,上卡块与上卡槽对应嵌合,下卡块与下卡槽对应嵌合,以用于防护盖与除尘口的连接。
11.进一步地,所述清扫喷头设为喇叭状开口,压缩空气进气管与一组支管垂直相连,支管穿过安装座的侧壁与清扫喷头相连。
12.进一步地,所述安装座内连有一个环状的水平安装台,水平安装台与安装座同轴设置,相机组件固定于水平安装台上。
13.本实用新型的技术方案中,通过改变原有的清洁方式,通过在防护罩内设置压缩空气喷头,实现压缩空气自动吹灰,在不拆防护罩的前提下即可清洁ccd视窗玻璃,减少了因视窗玻璃积灰导致液面温度、液面到导流筒的距离以及单晶硅棒直径等数据测量偏差,改善了单晶硅棒的品质和产量。
附图说明
14.图1为本实用新型的用于单晶炉ccd相机清洁装置内部结构图一;
15.图2为本实用新型的用于单晶炉ccd相机清洁装置内部结构图二;
16.图3为本实用新型的ccd组件外形图;
17.图4为本实用新型的ccd组件装配图;
18.图5为本实用新型的除尘口结构图一;
19.图6为本实用新型的除尘口结构图二;
20.图7为本实用新型的除尘口剖视图;
21.图8为本实用新型的防护盖立体图。
具体实施方式
22.实施例1
23.为使本实用新型更加清楚明白,下面结合附图对本实用新型的一种用于单晶炉ccd相机清洁装置进一步说明,此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
24.参见图3和图4,一种用于单晶炉ccd相机清洁装置,包括设置在单晶炉炉盖1上的ccd组件2,其特征在于:
25.参见图1、图2和图3,ccd组件2包括一个与单晶炉炉盖1相连的底座21,底座21上连有一个环状的安装座22,安装座22上连接一个防护罩23,以用于保护内部的设备;
26.防护罩23内设有相机组件24,安装座22内连有一个环状的水平安装台11,水平安装台11与安装座22同轴设置,相机组件24固定于水平安装台11上;
27.安装座22的外侧连接一根压缩空气进气管3,压缩空气进气管3上连有电磁阀4,压缩空气进气管3与一组支管10垂直相连,支管10穿过安装座22的侧壁与一组设于安装座22内的清扫喷头5相连,清扫喷头5设为喇叭状开口;
28.参见图1、图5和图6,清扫喷头5正对着相机组件24的镜头下方设置,安装座22的一侧设有除尘口22a,除尘口22a正对着清扫喷头5设置,除尘口22a上连有一个相配合的防护盖6,以便于将灰尘由除尘口排出;
29.参见图7和图8,除尘口22a的外侧设有卡槽7,其包括相互平行的上卡槽71和下卡槽72,上卡槽71设于除尘口22a的上部,下卡槽72设于除尘口22a的下部,防护盖6为l型板,其包括水平板6a和竖直板6b,水平板6a的端部设有一条上卡块8,竖直板6b的下端设有一条下卡块9,上卡块8与上卡槽71对应嵌合,下卡块9与下卡槽72对应嵌合,以用于防护盖与除尘口的连接。
30.使用本实用新型的单晶炉ccd相机清洁装置作业时,压缩空气进气管3连接外部压缩空气管道,将安装在除尘口22a的防护盖6打开,控制打开电磁阀4,压缩空气通过管路从清扫喷头5排出,压缩空气将附着在玻璃上的灰尘由除尘口22a排出,达到清洁目的,同时可使用薄竹片包裹无尘纸通过除尘口22a对玻璃进行二次擦拭,达到清洁目的,清洁过程无需对ccd防护罩拆装及ccd相机位置挪动,清洁完毕后将除尘口的防护盖盖好即可。
31.本实用新型的装置结构精巧、操作方面,可以有效对ccd相机进行清洁,提高工作效率和清扫效果,减少数据测量偏差,无须重新调整相机参数,提高单晶硅拉制效率,改善单晶硅棒的品质和产量。
32.除上述实施例外,本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案,均落在本实用新型要求的保护范围。


技术特征:


1.一种用于单晶炉ccd相机清洁装置,包括设置在单晶炉炉盖(1)上的ccd组件(2),其特征在于:ccd组件(2)包括一个与单晶炉炉盖(1)相连的底座(21),底座(21)上连有一个环状的安装座(22),安装座(22)上连接一个防护罩(23);防护罩(23)内设有相机组件(24),相机组件(24)的底部固定在安装座(22)上,安装座(22)的外侧连接一根压缩空气进气管(3),压缩空气进气管(3)上连有电磁阀(4),且其出气端穿过安装座(22)的侧壁与一组设于安装座(22)内的清扫喷头(5)相连,清扫喷头(5)正对着相机组件(24)的镜头下方设置;安装座(22)的一侧设有除尘口(22a),除尘口(22a)正对着清扫喷头(5)设置,除尘口(22a)上连有一个相配合的防护盖(6)。2.根据权利要求1所述的用于单晶炉ccd相机清洁装置,其特征在于:所述除尘口(22a)的外侧设有卡槽(7),其包括相互平行的上卡槽(71)和下卡槽(72),上卡槽(71)设于除尘口(22a)的上部,下卡槽(72)设于除尘口(22a)的下部。3.根据权利要求2所述的用于单晶炉ccd相机清洁装置,其特征在于:所述防护盖(6)为l型板,其包括水平板(6a)和竖直板(6b),水平板(6a)的端部设有一条上卡块(8),竖直板(6b)的下端设有一条下卡块(9),上卡块(8)与上卡槽(71)对应嵌合,下卡块(9)与下卡槽(72)对应嵌合。4.根据权利要求1~3任一项所述的用于单晶炉ccd相机清洁装置,其特征在于:所述清扫喷头(5)设为喇叭状开口,压缩空气进气管(3)与一组支管(10)垂直相连,支管(10)穿过安装座(22)的侧壁与清扫喷头(5)相连。5.根据权利要求1~3任一项所述的用于单晶炉ccd相机清洁装置,其特征在于:所述安装座(22)内连有一个环状的水平安装台(11),水平安装台(11)与安装座(22)同轴设置,相机组件(24)固定于水平安装台(11)上。

技术总结


本实用新型公开了一种用于单晶炉CCD相机清洁装置,包括设于单晶炉炉盖(1)上的CCD组件(2),CCD组件(2)包括相连的底座(21)、安装座(22)和防护罩(23);防护罩(23)内设有相机组件(24),相机组件(24)的底部固定在安装座(22)上,安装座(22)的外侧连有压缩空气进气管(3),其上连有电磁阀(4),且其出气端穿过安装座(22)的侧壁与一组清扫喷头(5)相连;安装座(22)的一侧设有除尘口(22a),除尘口(22a)正对着清扫喷头(5),除尘口(22a)上连有相配合的防护盖(6)。本实用新型的优点是有效清洁玻璃,减少数据测量偏差,提高单晶硅拉制效率,改善单晶硅棒的品质和产量。晶硅棒的品质和产量。晶硅棒的品质和产量。


技术研发人员:

赵刚 王军磊 王艺澄

受保护的技术使用者:

包头美科硅能源有限公司

技术研发日:

2022.07.18

技术公布日:

2022/11/2

本文发布于:2024-09-24 17:19:06,感谢您对本站的认可!

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