减小大尺寸反应烧结碳化硅内应力的工艺

防盗机箱（19）中华人民共和国国家知识产权局

	（12）发明专利申请
		（10）申请公布号 CN107903068A（43）申请公布日 2018.04.13
		指挥大厅控制台

（21）申请号 CN201711020462.X

混合罐

（22）申请日 2017.10.27

（71）申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所水中氨氮的测定方法

地址 130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

（72）发明人董斌超;张舸;张学军;崔聪聪;曹琪;包建勋

（74）专利代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人赵勍毅

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

减小大尺寸反应烧结碳化硅内应力的工艺

（57）摘要

本发明公开了一种减小大尺寸反应烧结碳化硅内应力的烧结工艺，包括如下步骤：提供一真空烧结炉，真空烧结炉设有多组加热器，待烧结的坯体置于多组加热器中间；用碳化硅粉通过凝胶注模工艺并脱脂制成碳化硅素坯；将一定质量的硅放到碳化硅素坯试样上，然后一起放入真空烧结炉中按照设定的程序进行烧结，本发明通过控制硅的凝固方向，减小反应烧结碳化硅坯体内因硅的凝固膨胀而产生的内应力。该工艺可以使硅凝固时的体积膨胀不会集中到坯体某一部分，而且体积膨胀有释放的通道，即硅的凝固膨胀不受约束，消除其在坯体内产生的应力。

泄漏率法律状态

多媒体教学讲台

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2018-04-13	公开	公开
2018-04-13	公开	公开
2018-04-13	公开	公开
2018-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2018-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2018-12-14	授权	授权