玻璃深加工
刘月豹巩燕龙郑琦林高峰
划线仪(安徽方兴光电新材料科技有限公司蚌埠233010) 摘要触摸屏加工需要使用的导电薄膜材料主要以ITO导电玻璃和ITO导电薄膜为主，随着触控终端的轻薄化，PET导电膜的应用越来越广，目前常规导电膜材料在应用于中大尺寸触摸屏产品时，会产生延迟及触摸不灵敏的情况。从镀膜工艺角度岀发，研究在PET上进行低方阻ITO溅射，测试结果表明，低阻IT0薄膜性能稳定可靠，工艺量产可行，产品性能可以满足市场需求。
铝合金拉丝关键词低方阻；柔性PET；IT0膜；导电薄膜；触摸屏
中图分类号：TQ171文献标识码：A文章编号：1003-1987(2020)03-0041-05
Study on Coating Process of Low Square Resistance PET Conductive Film for Touch Screen LIUYuebao,GONGYanlong,ZHENG Qilin,GAO Feng
(Anhui Fangxing Photoelectric New Material Science&Technology,bengbu233010,China)粉底原料
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Abstract:ITO conductive glass and ITO conductive film are the main conductive materials for touch screen.At present,when conventional conductive film materials are applied to medium and large size touch screen products,there will be delay and insensitive.Focuses on the study of ITO sputtering on conductive film with low square resistance from the perspective of coating technology.The test results show that the properties of low resistance film are stable and reliable,the process is feasible,and the product properties can meet the market demand.
Key Words:Low square resistance,flexible pet,ITO film,conductive film,touch screen
0引言
薄页纸真空卷对卷（Roll TO Roll）镀膜是在真空状态下利用磁控溅射或其他溅射方式实现柔性基材连续镀膜的一种技术，因其生产效率高、制程稳定性好而被广泛应用于触摸屏领域和食品包装领域。其技术主要包括真空获取技术、精密传动技术、溅射沉积技术。因其控制精度高，可实现柔性材料大规模生产。目前国外制作卷对卷设备的主要厂商有日本的爱发科，德国的冯•阿登纳和美国的应用材料等，其设备主要应用于真空包装、汽车装饰膜、触摸屏、防伪标识制作等领域。国内使用卷对卷镀膜设备的公司主要有欧菲光、伯恩光学、万顺、日久、方兴等公司，目前使用的柔性基底主要是PET（polyethyleneterephthalate，简称PET），少量镀膜厂商在尝试使用COP （Cyclo Olefin Polymer，一种环烯姪聚合物材料）基材。 PET导电薄膜应用在电容式触摸屏上已有io余年历史[1-3]，因其良好的导电性及透明性，材料取材的广泛性，目前有80%以上的触摸屏厂商在使用ITO导电膜，并且随着触摸屏事业的发展，涉及的触摸屏应用领域也越来越广泛[4-6]O 目前触摸屏用ITO材料已被市场广泛接受，涉及到
第一作者：刘月豹（1968-），男，高级工程师。研究方向：真空镀膜。
通讯作者：巩燕龙（1988-），男，硕士研究生。研究方向：真空镀膜。
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