聚氨酯丙烯酸酯
专利名称：一种金属氧化物透明导电薄膜的制备方法及其产品和用途专利类型：发明专利
正弦波滤波器发明人：徐苗，李民，张伟，阮崇鹏，陶洪，邹建华，王磊，彭俊彪
申请号：CN201810393735.3
申请日：20180427
公开号：CN108486550A
公开日：
输液瓶
20180904
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及一种金属氧化物透明导电薄膜的制备方法及其产品和用途，所述制备方法包括如下步骤：(1)向反应腔中通入第一金属前驱体，清洗，通入O化学吸附，通入惰性气体辅助等离子体起辉，原位氧化，清洗；再通入还原气，等离子体起辉，部分还原，清洗；(2)重复(1)N次得第一金属氧化物膜；(3)通入第二金属前驱体，清洗，通入O化学吸附，通入惰性气体辅助等离子体起辉，原位氧化，清洗；再通入还原气，等离子体起辉，部分还原，清洗；(4)重复(3)N次得第二金属氧化物膜； (5)重复(1)～(4)M次，其中，N:N＝(14～21):(1～4)，M＝10～40。实现了低温下制备低电阻率的金属氧化物导电膜。
申请人：华南理工大学无尘拖链
地址：510641 广东省广州市天河区五山路381号
国籍：CN
全球定位寻人系统代理机构：北京品源专利代理有限公司
代理人：巩克栋
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豫公网安备41160202000603
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