探针卡及探针台

（19）中华人民共和国国家知识产权局

	（12）发明专利申请	电阻丝
		（10）申请公布号 CN110208672A（43）申请公布日 2019.09.06

（21）申请号 CN201910586750.4

（22）申请日 2019.07.01

热风炉燃烧器（71）申请人德淮半导体有限公司

地址 223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

（72）发明人张鸣帆;叶定文;汪海

（74）专利代理机构上海立专利代理事务所(普通合伙)

代理人杨楷

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

探针卡及探针台

（57）摘要

本发明涉及半导体测试技术领域，提供了一种探针卡，包括：电路板；多个探针，与电路板连接，探针包括至少一个第一探针和至少一个第二探针；偏移部，与多个探针耦合，响应于第一探针加载有或者将加载测量信号而第二探针未加载或者未将加载测量信号，偏移部能够移动第一探针和/或第二探针，以使第一探针的先端比第二探针的先端更加远离电路板的所在平面。本发明提供的探针卡能够使加载有或者将加载测量信号的探针移动至优先与焊垫接触的位置，进而在测量过程中，仅将加载有测量信号的探针扎进待测物的焊垫中，而避免其他未加载测量信号的探针发生损伤，有效提高了探针的使用效率，避免探针的浪费。

法律状态

垃圾焚烧

法律状态公告日	法律状态信息	法律状态
2019-09-06	公开	公开
2019-09-06	48v转12v 公开	公开
2019-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效