发明人：刘琦，刘朋
头部跟踪
申请号：CN201420237944.6申请日：20140509
管路接头公开号：CN203849299U
吸湿剂
公开日：
攀岩板20140924
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型提供一种高温测试探针卡，包括：基板、陶瓷板、底座、探针，加热装置、温度控制器以及温度传感器；其中，所述陶瓷板固定于所述基板底部、所述底座固定于所述陶瓷板底部，所述加热装置及温度传感器固定于所述陶瓷板及所述底座之间，所述探针的第一端穿过所述底座以用于与晶圆接触，第二端与基板上的电路相连，所述温度控制器连接于所述温度传感器及所述加热装置。本实用新型通过植入加热电阻丝，使得电阻丝和探针充分接触，温度控制器对加热电阻丝实施温度控制，避免了测试过程中探针丢失温度的现象，实现了测试的高效性，和测试数据的可靠性；另外，把计算机和温度控制器连接起来，实现了对探针温度的全自动控制及全温监控。 申请人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
ca3660地址：100176 北京市大兴区大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所
代理人：李仪萍
电机线束
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