一种刻蚀机文件存储装置的制作方法



1.本实用新型涉及刻蚀机存储技术领域,具体涉及一种刻蚀机文件存储装置。


背景技术:



2.全球集成电路产业正处于技术变革时期,刻蚀已经成为半导体晶圆制造中的关键步骤,在半导体制造中重要性凸显,半导体制造主要步骤包括光刻、刻蚀、以及薄膜沉积三大步骤,并且不断循环进行,以构造出复杂精细的电路结构,而这三个环节工艺的先进程度也直接决定了晶圆厂生产高制程产品的能力,以及芯片的应用性能,近年来全球刻蚀机市场规模有显著提升,高性能的刻蚀机文件存储有助于提高刻蚀机的产率,随着数据存储的能力不断发展,存储设备成为刻蚀机中最重要的设备,不再是服务器的附属设备。针对现有技术存在以下问题:
3.1、现有技术的文件存储经常需要备份,需要有相关的配件,传统磁介质软盘和驱动器因寿命短,在某些情况下无法长时间保存数据,且传输速度慢,极大程度上阻碍了计算机系统的效率;
4.2、现有技术的文件存储装置在长时间工作后,内部会产生较多的热量,热量积聚过多时间过久,会影响到关键部件和精密部件的工作效率,严重的情况下会造成部件烧毁。


技术实现要素:



5.本实用新型提供一种刻蚀机文件存储装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:
7.一种刻蚀机文件存储装置,包括底板所述底板的上侧固定安装有接口连接机构,所述接口连接机构的上侧固定连接有冷却罩机构,所述冷却罩机构的下侧与底板的上侧固定连接。
8.所述接口连接机构包括scsi接口,所述scsi接口的下侧固定连接有电路板。
9.所述冷却罩机构包括冷却层机构,所述冷却层机构包括螺旋流通管,所述螺旋流通管的下端固定连接有支管。
10.本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述电路板的上侧固定连接有sd卡接口,所述电路板的上侧固定连接有scsi母线,所述scsi母线的一侧固定连接有存储芯片,所述存储芯片的下侧与电路板的上侧固定连接。
11.本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述sd卡接口的下侧与底板的上侧固定连接,所述scsi母线的下侧与底板的上侧固定连接,所述电路板的外侧与底板的内部固定连接。
12.本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述支管的外侧固定连接有连接管,所述连接管的另一端固定连接有方环管,所述方环管的下侧固定连接有连接块。
13.本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述方环管的外表面固定连接有储存球仓,所述储存球仓的上侧固定连接有流通椭球管,所述流通椭球管的内部固定连接有次方
环管。
14.本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述流通椭球管的上侧固定连接有弧度管,所述弧度管的外侧固定连接有长管,所述长管的另一端固定连接有六边管。
15.本实用新型技术方案的进一步改进在于:所述冷却层机构的侧面固定连接有吸热棉,所述冷却层机构的外侧固定连接有罩壁,所述罩壁的下侧与底板的上侧固定连接,所述吸热棉的下侧与底板的上侧搭接。
16.由于采用了上述技术方案,本实用新型相对现有技术来说,取得的技术进步是:
17.1、本实用新型提供一种刻蚀机文件存储装置,采用电路板、sd卡接口、scsi接口、scsi母线和存储芯片的配合,通过scsi接口连接高速微处理器和存储芯片,两者按scsi协议联络,控制数据接口与存储芯片进行数据交换,实现高速实时读写,scsi母线具有母线仲裁功能,挂在一个scsi母线上的多个外设可以同时工作,sd卡接口完成sd卡中信息的读取,解决传统磁介质软盘和驱动器因寿命短,在某些情况下无法长时间保存数据,且传输速度慢的问题,达到提高传输速度和计算机系统效率的效果。
18.2、本实用新型提供一种刻蚀机文件存储装置,采用罩壁、吸热棉、连接块、方环管、连接管、支管、螺旋流通管、储存球仓、流通椭球管、弧度管、长管和六边管的配合,通过吸热棉将内部热量吸收储存,方环管和储存球仓作为冷却液的主要存储管,螺旋流通管在两侧将内部产生的热量进行吸收,热量经过支管和连接管的蔓延,被分散消耗,弧度管、长管和六边管形成网状吸热框架结构覆盖在外侧,将吸收的热量经过流通椭球管和次方环管分化消耗,解决存储装置长时间工作后,内部会产生较多热量的问题,达到吸收热量降低温度,保护内部部件的效果。
附图说明
19.图1为本实用新型的结构示意图;
20.图2为本实用新型接口连接机构的结构示意图;
21.图3为本实用新型冷却罩机构剖面的结构示意图;
22.图4为本实用新型冷却层机构的结构示意图。
23.图中:1、底板;
24.2、接口连接机构;21、电路板;22、sd卡接口;23、scsi接口;24、scsi母线;25、存储芯片;
25.3、冷却罩机构;31、罩壁;32、冷却层机构;321、连接块;322、方环管;323、连接管;324、支管;325、螺旋流通管;326、储存球仓;327、流通椭球管;328、次方环管;329、弧度管;3210、长管;3211、六边管;33、吸热棉。
具体实施方式
26.下面结合实施例对本实用新型做进一步详细说明:
27.实施例1
28.如图1-4所示,本实用新型提供了一种刻蚀机文件存储装置,包括底板1,底板1的上侧固定安装有接口连接机构2,接口连接机构2的上侧固定连接有冷却罩机构3,冷却罩机构3的下侧与底板1的上侧固定连接,接口连接机构2包括scsi接口23,scsi接口23的下侧固
定连接有电路板21,冷却罩机构3包括冷却层机构32,冷却层机构32包括螺旋流通管325,螺旋流通管325的下端固定连接有支管324。
29.在本实施例中,通过设置接口连接机构2,采用scsi接口23,它的多方面的优越性:一是传输速度快,现在采用高速宽带方式,并行scsi接口23的最高传输速率可以达到320mb/s以上;二是scsi作为一种智能化的系统级接口,具有独立于物理设备具体特性的高级命令结构,极大地提高了计算机系统的效率,设置冷却罩机构3和冷却层机构32,将热量进行吸收,并进行分化,加快热量的消散。
30.实施例2
31.如图1-4所示,在实施例1的基础上,本实用新型提供一种技术方案:优选的,电路板21的上侧固定连接有sd卡接口22,电路板21的上侧固定连接有scsi母线24,scsi母线24的一侧固定连接有存储芯片25,存储芯片25的下侧与电路板21的上侧固定连接,sd卡接口22的下侧与底板1的上侧固定连接,scsi母线24的下侧与底板1的上侧固定连接,电路板21的外侧与底板1的内部固定连接。
32.在本实施例中,通过scsi接口23连接高速微处理器和存储芯片25,两者按scsi协议联络,控制数据接口与存储芯片25进行数据交换,实现高速实时读写,scsi母线24具有母线仲裁功能,挂在一个scsi母线上的多个外设可以同时工作,sd卡接口22完成sd卡中信息的读取,解决传统磁介质软盘和驱动器因寿命短,在某些情况下无法长时间保存数据,且传输速度慢的问题,达到提高传输速度和计算机系统效率的效果。
33.实施例3
34.如图1-4所示,在实施例1的基础上,本实用新型提供一种技术方案:优选的,支管324的外侧固定连接有连接管323,连接管323的另一端固定连接有方环管322,方环管322的下侧固定连接有连接块321,方环管322的外表面固定连接有储存球仓326,储存球仓326的上侧固定连接有流通椭球管327,流通椭球管327的内部固定连接有次方环管328,流通椭球管327的上侧固定连接有弧度管329,弧度管329的外侧固定连接有长管3210,长管3210的另一端固定连接有六边管3211,冷却层机构32的侧面固定连接有吸热棉33,冷却层机构32的外侧固定连接有罩壁31,罩壁31的下侧与底板1的上侧固定连接,吸热棉33的下侧与底板1的上侧搭接。
35.在本实施例中,通过吸热棉33将内部热量吸收储存,方环管322和储存球仓326作为冷却液的主要存储管,螺旋流通管325在两侧将内部产生的热量进行吸收,热量经过支管324和连接管323的蔓延,被分散消耗,弧度管329、长管3210和六边管3211形成网状吸热框架结构覆盖在外侧,将吸收的热量经过流通椭球管327和次方环管328分化消耗,解决存储装置长时间工作后,内部会产生较多热量的问题,达到吸收热量降低温度,保护内部部件的效果。
36.下面具体说一下该刻蚀机文件存储装置的工作原理。
37.如图1-4所示,在使用该刻蚀机文件存储装置时,scsi接口23连接高速微处理器和存储芯片25,两者按scsi协议联络,控制数据接口与存储芯片25进行数据交换,实现高速实时读写,scsi母线24具有母线仲裁功能,挂在一个scsi母线上的多个外设可以同时工作,sd卡接口22完成sd卡中信息的读取,吸热棉33将内部热量吸收储存,方环管322和储存球仓326作为冷却液的主要存储管,螺旋流通管325在两侧将内部产生的热量进行吸收,热量经
过支管324和连接管323的蔓延,被分散消耗,弧度管329、长管3210和六边管3211形成网状吸热框架结构覆盖在外侧,将吸收的热量经过流通椭球管327和次方环管328分化消耗。
38.上文一般性的对本实用新型做了详尽的描述,但在本实用新型基础上,可以对之做一些修改或改进,这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此,在不脱离本实用新型思想精神的修改或改进,均在本实用新型的保护范围之内。

技术特征:


1.一种刻蚀机文件存储装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的上侧固定安装有接口连接机构(2),所述接口连接机构(2)的上侧固定连接有冷却罩机构(3),所述冷却罩机构(3)的下侧与底板(1)的上侧固定连接;所述接口连接机构(2)包括scsi接口(23),所述scsi接口(23)的下侧固定连接有电路板(21);所述冷却罩机构(3)包括冷却层机构(32),所述冷却层机构(32)包括螺旋流通管(325),所述螺旋流通管(325)的下端固定连接有支管(324)。2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机文件存储装置,其特征在于:所述电路板(21)的上侧固定连接有sd卡接口(22),所述电路板(21)的上侧固定连接有scsi母线(24),所述scsi母线(24)的一侧固定连接有存储芯片(25),所述存储芯片(25)的下侧与电路板(21)的上侧固定连接。3.根据权利要求2所述的一种刻蚀机文件存储装置,其特征在于:所述sd卡接口(22)的下侧与底板(1)的上侧固定连接,所述scsi母线(24)的下侧与底板(1)的上侧固定连接,所述电路板(21)的外侧与底板(1)的内部固定连接。4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机文件存储装置,其特征在于:所述支管(324)的外侧固定连接有连接管(323),所述连接管(323)的另一端固定连接有方环管(322),所述方环管(322)的下侧固定连接有连接块(321)。5.根据权利要求4所述的一种刻蚀机文件存储装置,其特征在于:所述方环管(322)的外表面固定连接有储存球仓(326),所述储存球仓(326)的上侧固定连接有流通椭球管(327),所述流通椭球管(327)的内部固定连接有次方环管(328)。6.根据权利要求5所述的一种刻蚀机文件存储装置,其特征在于:所述流通椭球管(327)的上侧固定连接有弧度管(329),所述弧度管(329)的外侧固定连接有长管(3210),所述长管(3210)的另一端固定连接有六边管(3211)。7.根据权利要求1所述的一种刻蚀机文件存储装置,其特征在于:所述冷却层机构(32)的侧面固定连接有吸热棉(33),所述冷却层机构(32)的外侧固定连接有罩壁(31),所述罩壁(31)的下侧与底板(1)的上侧固定连接,所述吸热棉(33)的下侧与底板(1)的上侧搭接。

技术总结


本实用新型公开了一种刻蚀机文件存储装置,涉及刻蚀机存储技术领域,包括底板,所述底板的上侧固定安装有接口连接机构,所述接口连接机构的上侧固定连接有冷却罩机构,所述接口连接机构包括SCSI接口,所述冷却罩机构包括冷却层机构,所述冷却层机构包括螺旋流通管,所述螺旋流通管的下端固定连接有支管。本实用新型通过SCSI接口连接高速微处理器和存储芯片,两者按SCSI协议联络,控制数据接口与存储芯片进行数据交换,实现高速实时读写,SCSI母线具有母线仲裁功能,挂在一个SCSI母线上的多个外设可以同时工作,解决传统磁介质软盘和驱动器因寿命短,在某些情况下无法长时间保存数据,且传输速度慢的问题,达到提高传输速度和计算机系统效率的效果。机系统效率的效果。机系统效率的效果。


技术研发人员:

钱强 袁鸣 张冀东 梁晓航

受保护的技术使用者:

无锡芯汉电子科技有限公司

技术研发日:

2022.06.19

技术公布日:

2022/11/22

本文发布于:2024-09-20 17:38:42,感谢您对本站的认可!

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