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一种单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机[发明专利]

专利名称：一种单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机专利类型：发明专利

发明人：朱锡芳，许清泉，杨辉，陈功，徐安成

申请号：CN201510068222.1

自动皂液器申请日：20150209

公开号：CN104674182A

公开日：

20150603

彩灯控制电路专利内容由知识产权出版社提供

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摘要：本发明公开了一种单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，属于真空镀膜设备领域。本发明的镀膜机包括真空室、开卷机构、冷却辊、收卷机构、阴极小室、回转换靶装置和纠偏装置，开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置；阴极小室和回转换靶装置设于冷却辊的下部，且冷却辊、阴极小室和回转换靶装置处于同一轴线上；回转换靶装置包括机座、回转盘、均匀分布于回转盘上的极靶座板；极靶座板旋转到阴极小室的下方，并向外伸出将靶芯嵌入阴极小室内；开卷机构和收卷机构带动基带往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时更换阴极靶，并利用基材往复运动实现多层膜层的镀制，每层膜均单独镀制，便于膜层参数控制；设备结构紧凑，占地空间小。

申请人：常州工学院

地址：213022 江苏省常州市新北区巫山路1号

国籍：CN

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代理机构：南京知识律师事务所

代理人：高桂珍

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