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薄膜电容器及其制造方法[发明专利]

专利名称：薄膜电容器及其制造方法专利类型：发明专利

发明人：刁克明射线灯

申请号：CN201610787122.9

挤压爆破

申请日：20160831

公开号：CN106158376A

公开日：断纸机

蒸煮炉20161123三维数据采集

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种薄膜电容器及其制造方法。该薄膜电容器包括：半导体衬底；第一金属层，其位于所述半导体衬底上；电介质层，其位于所述第一金属层上；以及第二金属层，其位于所述电介质层上，与所述第一金属层一起将所述电介质层夹在中间构成“三明治”结构。本发明采用聚四氟乙烯(Teflon)作为两层铝薄膜电极之间的电介质层，因此更适合溅射沉积，并且在室温下即可沉积，且具有沉积速率较高的优点。

申请人：北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司

地址：100071 北京市丰台区小屯路150号

国籍：CN

代理机构：北京格允知识产权代理有限公司防静电控制器

本文发布于:2024-09-24 15:24:15，感谢您对本站的认可！

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