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一种采用超薄压电单晶体制作的薄膜体声波谐振器[实用新型专利]

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专利名称：一种采用超薄压电单晶体制作的薄膜体声波谐振器专利类型：实用新型专利

发明人：陈培杕，黄旼，宋伟

申请号：CN201620520679.1

版权评估

申请日：20160531

公开号：CN205792476U

公开日：

20161207

无碳小车专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本实用新型提出一种采用超薄压电单晶体制作的薄膜体声波谐振器，包括具有地室的高阻衬底、由上金属电极和下金属电极夹持压电体组成的三明治有源结构，三明治有源结构设置于高阻衬底上端；所述压电体为超薄压电单晶体，地室内设有若干根支柱。超薄压电单晶体所用的压电单晶体，为所有可实用化的压电单晶体，如石英、钽酸锂、铌酸锂、四硼酸锂、锗酸铋、硅酸铋、硅酸镓镧系列、正磷酸铝和铌酸钾。所用的高阻衬底，为硅、石英、碳化硅、三氧化二铝、蓝宝石、金刚石等微电子技术常用衬底材料。本实用新型的优点有：超薄压电单晶体，晶体完整性未被破坏，为完美单晶；可以自由选择晶体及其晶向，优化器件性能；超薄压电单晶体生产技术前景明朗。

申请人：中电科技德清华莹电子有限公司

地址：313200 浙江省湖州市德清县武康镇志远北路188号

生物态硒国籍：CN

青铜截止阀代理机构：杭州丰禾专利事务所有限公司

代理人：王晓峰

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本文发布于:2024-09-24 13:20:51，感谢您对本站的认可！

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