用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽的制作方法

1.本实用新型涉及一种用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，属于三氟化氮生产设备技术领域。

背景技术：

2.三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。三氟化氮制备电解槽槽体大都采用合金材质，电解槽长时间运行后，会发生槽体腐蚀现象，导致电解质内金属离子杂质过多，影响电解过程的正常运行，造成电解槽槽温不断升高，进而加剧镍阳极板的反应，导致氟化氢挥发量上升，电解液配比破坏，氟离子含量降低，三氟化氮产量降低。现有技术中存在对该问题的解决方案，但都效果不甚理想。

技术实现要素：

3.根据以上现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，有效提高槽体的耐腐蚀性，并能很好的防止反应温度过高，造成产品产量降低。
4.本实用新型所述的用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，包括槽体和封盖，裙板将槽体分隔为上部的阳极气体室和下部的阴极气体室，所述的槽体内壁和封盖内表面均涂有pfa涂层；槽体内设有若干组降温盘管，每组降温盘管呈s形纵向布置，槽体外设有降温夹套。
5.本实用新型槽体内壁和封盖内表面均涂有pfa涂层，可使槽体使用周期大大延长，避免电解残渣的产生，提高电解质的质量，改善三氟化氮转化率降低的问题，提高相同产能下三氟化氮的产量。槽体内设有若干组降温盘管，并且槽体外设有降温夹套，温控效果好，防止反应过热，提高电解效率。
6.其中，在降温夹套的侧面设有进水口和回水口，所述的回水口高于进水口。
7.停机时为了便于内部循环水排出，在降温夹套底部还设有排水口。
8.为了保证循环水能够时时充满降温夹套，提高降温效果，设置进水流量略大于回水流量，因此在降温夹套顶部设有溢流口，排出多余水流，平衡压力。
9.本实用新型所述的溢流口数量为若干，若干溢流口沿降温夹套顶部均匀排布，能更好的保证夹套充满，防止夹套内产生空气死区。
10.所述的降温盘管外表面覆盖有氯丁橡胶层，具有良好的耐热耐腐蚀性。
11.本实用新型与现有技术相比所具有的有益效果是：
12.本实用新型所述的用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，通过合理的结构设计及耐腐蚀材料的选择，能提高电解效率，改善三氟化氮转化率降低的问题，提高相同产能下三氟化氮的产量，并延长槽体使用周期，可以为企业带来良好的经济效益。
附图说明
13.图1是本实用新型的结构示意图；
14.图2是降温盘管的结构示意图。
15.图中：槽体1；裙板2；阳极气体室3；阴极气体室4；降温盘管5；降温夹套6；进水口7；回水口8；排水口9；溢流口10；封盖11。
具体实施方式
16.下面结合具体的实施例对本实用新型进一步说明。但这些例举性实施方式的用途和目的仅用来例举本实用新型，并非对本实用新型的实际保护范围构成任何形式的任何限定，更非将本实用新型的保护范围局限于此。
17.如图1～2所示，本实用新型所述的用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，包括槽体1和封盖11，裙板2将槽体1分隔为上部的阳极气体室3和下部的阴极气体室4，所述的槽体1内壁和封盖11内表面均涂有pfa涂层，可使槽体使用周期大大延长，避免电解残渣的产生，提高电解质的质量，改善三氟化氮转化率降低的问题，提高相同产能下三氟化氮的产量。
18.槽体1内设有若干组降温盘管5，每组降温盘管5呈s形纵向布置，降温盘管5外表面覆盖有氯丁橡胶层，其具有良好的耐热耐腐蚀性。
19.槽体1外设有降温夹套6，降温夹套6侧面设有进水口7和回水口8，回水口8高于进水口7。降温夹套6底部设有排水口9，为了停机时便于内部循环水的排出。
20.为了保证循环水能够时时充满降温夹套，提高降温效果，设置进水流量略大于回水流量，因此在降温夹套顶部设有若干溢流口，若干溢流口沿降温夹套顶部均匀排布，排出多余水流，能更好的保证夹套充满，防止夹套内产生空气死区，并能平衡压力。
21.本实用新型温控效果好，可以防止反应过热，提高电解效率。
22.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，包括槽体(1)和封盖(11)，裙板(2)将槽体(1)分隔为上部的阳极气体室(3)和下部的阴极气体室(4)，其特征在于：所述的槽体(1)内壁和封盖(11)内表面均涂有pfa涂层；槽体(1)内设有若干组降温盘管(5)，每组降温盘管(5)呈s形纵向布置，槽体(1)外设有降温夹套(6)。2.根据权利要求1所述的用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，其特征在于：所述的降温夹套(6)侧面设有进水口(7)和回水口(8)，所述的回水口(8)高于进水口(7)。3.根据权利要求2所述的用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，其特征在于：所述的降温夹套(6)底部还设有排水口(9)。4.根据权利要求2或3所述的用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，其特征在于：所述的降温夹套(6)顶部设有溢流口(10)。5.根据权利要求4所述的用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，其特征在于：所述的溢流口(10)数量为若干，若干溢流口(10)沿降温夹套(6)顶部均匀排布。6.根据权利要求1所述的用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，其特征在于：所述的降温盘管(5)外表面覆盖有氯丁橡胶层。

技术总结

本实用新型属于三氟化氮生产设备技术领域，具体涉及一种用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，包括槽体和封盖，裙板将槽体分隔为上部的阳极气体室和下部的阴极气体室，所述的槽体内壁和封盖内表面均涂有PFA涂层；槽体内设有若干组降温盘管，每组降温盘管呈S形纵向布置，槽体外设有降温夹套。本实用新型所述的用于生产三氟化氮的防腐蚀防过热电解槽，通过合理的结构设计及耐腐蚀材料的选择，能提高电解效率，改善三氟化氮转化率降低的问题，提高相同产能下三氟化氮的产量，并延长槽体使用周期，可以为企业带来良好的经济效益。可以为企业带来良好的经济效益。可以为企业带来良好的经济效益。