30 技术纵横轻型汽车技术2020(3)
杨娟
哈特曼光阑酸洗槽>风管抗震支吊架(南京东华传动轴有限公司）
摘要：数控机床精度是影响汽车零部件加工精度的一个直接原因，通过激光 干涉仪对数控机床的定位精度、重复定位精度、反向偏差进行检测和补偿，使机床 mppt算法达到最佳精度，从而保证产品的加工质量。
关键词：激光干涉仪数控机床定位精度反向偏差精度补偿
1引言
在汽车零部件加工领域，多数企业都是采用 数控设备加工零部件，数控机床精度是影响被加 工工件尺寸精度的一个直接原因。提高工件加工 精度，首先要提高机床精度，影响数控机床精度的 主要因素为机床零部件和结构的几何误差，工件 的最终加工精度是由机床刀具与工件之间的相对 位移误差决定的。数控 机床的定位精度是指数控工 作台部件在要求的终点所达到的实际位置的精度，实际位置与理想位置之间的误差称为定位误差。数 控机床的定位精度是评定机床性能的一项重要指 标，它决定数控机床各轴运动的准确程度。定位精 度的检测目前主要采用激光干涉仪来进行，如测出 的定位精度超出精度误差时，可对数控机床定位精 度误差曲线进行分析，分析机床可能的误差源：机 床滚珠丝杠的螺距误差、齿条的齿距误差、编码器、滚珠丝杠轴承的端部浮动间隙、机床导轨的安装水 平等。当这些误差源基本排除或调整到最小误差 后，如仍达不到精度要求，可进行误差补偿，使各轴 线的定位精度达到预定的目标值。
我公司的两台加工中心因精度无法满足生产 要求，进行大修后，需恢复其定位精度，本文针对使用激光干涉仪对加工中心精度补偿过程做一个介绍。
石墨垫2激光干涉仪定位精度的测量原理以英国产Renishaw ML10激光干涉仪测量机 床线性定位精度为例，其测量原理如图1所示。激 光束由ML10激光发射器产生，这一束单频激光 波长能够达到632.9906nm，在真空状态下，波长稳 定性在长时间范围内能够优于0.1pm。当这一束激 光到达干涉镜时，它被分裂成反射光束②和发光 束③。这两束光传播到反射镜后，都被反射到干涉 镜的同一位置，干涉镜对两个光束进行调制后，直 接把光束④传回到激光发射器中，从而使两束光 在检测器中产生干涉条纹。根据光的叠加和干涉 原理，凡是光程差等于波长整数倍的位置时，振动 加强，产生明条纹；凡是光程差等于半波长奇数倍 的位置时，振动减弱，产生暗条纹。在使用激光干 涉仪进行
仿真假山定位精度测量时，干涉镜或反射镜之一 保持静止，另一个光学元件沿着线性轴线运动。图中干涉镜静止不动，反射镜沿着预定的方向运动。把干涉镜到激光器的距离作为参考值，但反射镜 到激光发射器之间的距离发生变化时，激光发射 器中条纹计数器的明条纹数值将会产生相应的变
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