磁盘驱动器悬架的制造方法和磁盘驱动器悬架的制造设备与流程

1.本发明涉及一种包括压电元件的磁盘驱动器悬架的制造方法和磁盘驱动器悬架的制造设备。

背景技术：

2.硬盘驱动器用于诸如个人计算机之类的信息处理设备中。硬盘驱动器包括可绕主轴旋转的磁盘和可绕枢轴转动的滑架等。滑架的臂上设有磁盘驱动器悬架。
3.磁盘驱动器悬架包括基板、负载梁和沿着负载梁设置的挠性件等。滑动件设置在万向节部分中，其中在挠性件的尖端附近形成该万向节部分。滑动件中设有用于访问磁盘的元件，例如读取记录在磁盘上的数据和写入磁盘中的数据。
4.为了处理记录密度增强的问题，有必要以更高精度来相对于磁盘的记录表面定位磁头。在日本专利第2002-50140a号(专利文献1)和日本专利第2011-216160a号(专利文献2)中，描述了包括用作致动器的压电元件的悬架。
5.压电元件布置在悬架的致动器安装部上。当压电元件要通过粘合剂固定到致动器安装部时，将粘合剂涂抹到致动器安装部上。然后，将压电元件放置在未固化的粘合剂上。此后，将悬架送入加热装置，由此加热粘合剂。加热的粘合剂固化，从而将压电元件固定到致动器安装部上。
6.在悬架的生产线上，有时会移动放置在未固化粘合剂上的压电元件。当压电元件从预定位置偏移时，配置为用作致动器的压电元件变得不能发挥预定性能。此外，获得以下专业知识，即，当压电元件的高度变化时，根据悬架类型的不同，摇摆模式或偏航模式的谐振特新会受到不利影响。
7.在日本专利第017-191914a号(专利文献3)中，描述了包括压电元件的电子设备的制造设备。在专利文献3的电子设备制造设备中，在致动器安装部上涂布有粘合剂。压电元件布置在涂布的粘合剂上。然后，通过加热器往粘合剂上吹高温气体，使粘合剂预固化。然而，在这种情况下，在粘合剂预固化之前，压电元件由于粘合剂的表面张力、振动等而移动的事实已成为问题。
8.本发明提供一种能够防止布置在致动器安装部上的压电元件的位置发生偏移的磁盘驱动器悬架的制造方法和制造设备。

技术实现要素：

9.在一个实施例中，一种包括致动器安装部的磁盘驱动器悬架的制造方法，压电元件将安装到所述致动器安装部上，其中所述方法包括将对紫外线有反应的粘合剂涂布到所述致动器安装部上的步骤，用紫外线照射涂抹到所述致动器安装部上的粘合剂以增加粘合剂的粘度的步骤，将压电元件布置在粘度增加的粘合剂上的步骤，以及加热其上布置有压电元件的所述致动器安装部的步骤。通过加热固化粘合剂，从而将所述压电元件固定在所述致动器安装部上。
10.根据该实施例，可以防止布置在所述磁盘驱动器悬架的致动器安装部上的压电元件的位置发生偏移，并且可以用粘合剂将压电元件准确地固定在预定位置上。
11.在本实施例的制造方法中，在每个压电元件的电极与每个致动器安装部的导体之间的部分上施加热固性导电材料，同时加热粘合剂和导电材料，从而使粘合剂和导电材料可以固化。
12.在将所述压电元件布置在所述致动器安装部上之后，可以向每个所述致动器安装部涂抹额外的粘合剂，并且可以用紫外线照射所添加的粘合剂。
13.在将所述压电元件布置在所述致动器安装部上之后，并且在粘合剂通过加热固化之前，可以通过在粘合剂上吹高温气体来固化粘合剂的表面附近。可以检测布置在所述致动器安装部上的压电元件的高度，并且可以根据检测到的压电元件的高度来调整紫外线的照射量。
14.根据一个实施例所述的制造设备包括传送梭、驱动机构、粘合剂供给装置、光照射装置、元件供给装置和加热装置。所述传送梭将悬架保持在其上，其中每个悬架包括致动器安装部。所述驱动机构移动所述传送梭。所述粘合剂供给装置向所述致动器安装部施加对紫外线产生反应的粘合剂。所述光照射装置用紫外线照射施加的粘合剂，从而增加粘合剂的粘度。所述元件供给装置将所述压电元件布置在粘度增加的粘合剂上。所述加热装置加热其上布置有压电元件的所述致动器安装部，从而固化粘合剂。
15.接下来的描述中将阐明本发明的其它目的和优点，并且通过以下描述，部分这些其它目的和优点会变得显而易见，或者可以通过实践本发明习得这些目的和优点。通过下文特别指出的手段和组合实现和获得本发明的目的和优点。
附图说明
16.包含在说明书中并构成说明书一部分的附图示出了本发明的实施例，它与上面给出的发明内容和下面给出的具体实施方式一起来说明本发明的原理。
17.图1是根据第一实施例的包括致动器安装部的磁盘驱动器悬架的平面图。
18.图2是示出磁盘驱动器的示例的立体图。
19.图3是沿图1中的线f3-f3的致动器安装部的剖视图。
20.图4是压电元件布置在图1所示的磁盘驱动器悬架上之前的工件的平面图。
21.图5是示出图1所示的磁盘驱动器悬架的制造工艺的流程图。
22.图6是示意性地示出致动器安装部的一部分和导电材料供给装置的一部分的剖视图。
23.图7是示意性地示出传送梭和粘合剂供给装置的立体图。
24.图8是示意性地示出传送梭和光照射装置的立体图。
25.图9是示意性地示出传送梭、元件供给装置和高度检测器的立体图。
26.图10是示出压电元件的高度与摆动频率之间的关系的图。
27.图11是示意性地示出加热装置的剖视图。
28.图12是根据第二实施例所述的包括致动器安装部的磁盘驱动器悬架的局部立体图。
29.图13是图12所示的致动器安装部的剖视图。
30.图14是示出图12所示的磁盘驱动器悬架的制造工艺的流程图。
具体实施方式
31.下文将参照图1至图11描述根据第一实施例所述的磁盘驱动器悬架、其制造方法和制造设备。
32.图1示出了根据该实施例所述的磁盘驱动器悬架10(在本说明书中，在某些情况下简称为悬架10)。
33.图2是示出包括悬架10的磁盘驱动器1的示例的立体图。磁盘驱动器1包括壳体2、绕主轴3旋转的盘4、绕枢轴5转动的滑架6、以及使滑架6旋转的定位马达7等。壳体2被未示出的盖子紧紧地盖住。悬架10附接到滑架6的臂8上。
34.图1所示的悬架10包括基部12，该基部12包括基板11、由不锈钢板构成的负载梁13、挠性件14、以及一对致动器安装部15和16。固定到滑架6的臂8的凸台部12a在基部12上形成。
35.负载梁13的基部13a(图3中示出其一部分)与基板11重叠。在负载梁13的基部13a附近形成有可沿厚度方向弯曲的铰链部13b。图1中双箭头x1所指示的方向是悬架10的纵向方向。由图1中的双箭头y1指示的方向是悬架10的宽度方向。
36.挠性件14沿着负载梁13在悬架10的纵向方向上延伸。挠性件14包括金属基座20和布线部21(其一部分在图1中示出)。金属基座20由厚度小于负载梁13的不锈钢板构成。布线部21沿金属基座20形成。
37.用作万向节部分的舌形件22在挠性件14的尖端附近形成。构成磁头的滑块23布置在舌形件22上。第一元件和第二元件设置在滑动件23中。第一元件磁性地将数据记录在磁盘4上(如图2所示)。第二元件具有读取记录在磁盘4上的数据的功能。挠曲件14的后部(挠性件尾部14a)向基部12的后部延伸。
38.一对致动器安装部15和16设置在悬架10的基部12上。在图1中，第一致动器安装部15布置在基部12的右侧。在图1中，第二致动器安装部16布置在基部12的左侧。
39.用作致动器的压电元件31和32中的每一个布置在致动器安装部15和16的每一个上。压电元件31和32由诸如锆钛酸铅(pzt)等的压电体构成。压电元件31和32中的每一个都具有使悬架10的尖端侧部分移动无穷小的数量的功能。压电元件31和32根据施加到压电元件31和32的电压而膨胀和收缩。由此，可以在摇摆方向(由图1中的双箭头s指示)上移动悬架10的尖端侧部分。
40.图3是示出第一致动器安装部15的剖视图。第二致动器安装部16以与第一致动器安装部15相同的方式构造。图4示出了压电元件31和32布置在其上之前的悬架(称为工件10’)。第一开口部41和第二开口部42在工件10’的基部12中形成。第一压电元件31布置在第一开口部41上。第二压电元件32布置在第二开口部42上。
41.如图4所示，在第一开口部41的内侧形成第一支撑部43。第一支撑部43由负载梁13的一部分(基部13a)构成。第二支撑部44在第二开口部42的内侧形成。第二支撑部44也由负载梁13的一部分(基部13a)构成。第一压电元件31通过粘合剂50(图1和图3中所示)固定到第一开口部41的内表面41a和第一支撑部43上。
42.第二压电元件32通过粘合剂50固定到第二开口部42的内表面42a和第二支撑部44
上。粘合剂50具有电绝缘性。粘合剂50的实例由紫外线敏感的光固化环氧化物基树脂构成。该粘合剂50具有粘度根据照射的紫外线的能量而变化的特性。即，当照射的紫外线的能量相对较低时，粘合剂50的粘度增加，而当紫外线的能量较高时，粘合剂50固化。此外，粘合剂50还具有通过加热使粘合剂50固化的性质。当热气流吹到粘合剂50上时，粘合剂50的表面比粘合剂50的内部更早干燥和固化。
43.第一致动器安装部15和第二致动器安装部16构造成彼此基本相同。因此，以下使用图3所示的第一致动器安装部15为例进行说明。
44.如图3所示，第一电极61设置在压电元件31的厚度方向的一个表面上。第二电极62设置在压电元件31的另一个表面上。第一电极61通过导电材料70a连接到布线部21的端子21a。布线部21包括绝缘层21b、导体21c和覆盖层21d。
45.压电元件31的第二电极62(如图3所示)通过导电材料70b与基板11电连续。底板11还用作接地侧的导体。导电材料70a和70b由彼此相同的导电粘合剂构成。导电材料70a和70b中的每一个均包括例如由热固性有机树脂构成的粘合剂和混合在粘合剂中的导体颗粒。
46.在下文中，将参考图5至图11描述在致动器安装部15和16上分别实施压电元件31和32的过程。
47.图5是示出悬架10的制造过程的流程图。通过经历一系列步骤st1至st10，压电元件31和32在致动器安装部15和16上得以实现。
48.(1)步骤st1(施加导电材料70a的步骤)
49.在步骤st1中，未固化的导电材料70a施加到布线部21的端子21a上。例如如图6所示，通过导电材料供给装置80的喷嘴81将糊状导电材料70a施加到端子21a的导体21c上。使用作为导电材料70a，对紫外线不反应的热固性粘合剂以使在用紫外线照射导电材料70a时导电材料70a也不会固化。
50.工件10’由图7所示的传送机构90传送。传送机构90包括传送梭91和驱动机构92。传送梭91以预定间隔将多件工件10’保持在其上。驱动机构92使传送梭91沿箭头m1所示的方向移动预定间距(间隔)。驱动机构92还可以沿箭头m2指示的方向将传送梭91向后移动。传送梭91和驱动机构92构成用于将多个工件10’沿恒定方向移动预定间距的装置。
51.(2)步骤st2(涂布粘合剂的步骤)
52.在步骤st2中，将粘合剂50涂布到致动器安装部15和16上。图7中所示的粘合剂供给装置100包括分配器102，分配器102包括喷嘴101、移动机构103、控制器104、粘合剂的供应源105等。移动机构103在三维方向(由箭头x、y和z指示)上移动分配器102。控制器104控制喷嘴101的位置。从喷嘴101排出的液态粘合剂50涂布到致动器安装部15和16的支撑部43和44等上。
53.(3)步骤st3(紫外线照射步骤)
54.在步骤st3中，通过光照射装置110(如图8所示)用紫外线照射在步骤st2中涂布的未固化粘合剂50。在涂布完粘合剂50后的3至10秒后以及粘合剂50湿润并扩散后进行紫外线的照射。
55.图8所示的光照射装置110包括照射头111、支架112、控制单元113等。照射头111向致动器安装部15和16照射紫外线uv。支架112将照射头111支撑在上面。控制单元113控制紫
外线。用紫外线照射未固化的粘合剂50，由此粘合剂50的粘度增加。即，在步骤st3中进行粘合剂的增稠。
56.(4)步骤st4(放置压电元件的步骤)
57.图9示意性地示出了元件供给装置120和高度检测器121。元件供给装置120将压电元件31和32分别放置在致动器安装部15和16上。高度检测器121检测压电元件31和32的高度。
58.通过元件供给装置120将压电元件31和32分别放置在致动器安装部15和16的粘合剂50上。此时，粘合剂50已经通过步骤st3她提前进入粘度增加状态。因此，防止放置在粘合剂50上的压电元件31和32由于粘合剂50的表面张力或传送梭91的振动等而移动离开预定位置。此外，粘合剂50的粘度增加，从而防止压电元件31和32中的每一个由于其自重而过度向下移动。
59.在步骤st4中，将第一压电元件31布置在致动器安装部15上。然后，第一压电元件31的下表面上的电极61和端子21a的导体21c通过未固化的导电体材料70a彼此接触。此外，第二压电元件32布置在致动器安装部16上。然后，第二压电元件32的下表面上的电极和端子21e的导体通过未固化的导电材料70a彼此接触。
60.(5)步骤st5(检测压电元件的高度的步骤)
61.在步骤st5中，压电元件31和32中的每一个的高度由检测器121(如图9所示)检测。高度检测器121向压电元件31和32的表面发射例如激光lb。通过接收从压电元件31和32的表面反射的激光，检测器121检测压电元件31和32的高度。
62.未固化的粘合剂50即使其粘度增加也具有一定程度的流动性。为此，当压电元件31和32放置在粘合剂50上时，压电元件31和32易于通过它们的自重向下移动。因此，粘合剂50的粘度越小，压电元件31和32的高度变得越低(高度变得越小)。
63.图10示出了放置在致动器安装部15和16上的每个压电元件31和32的高度与摆动频率之间的关系。图10的横坐标轴表示压电元件的高度。横坐标轴上的零位是压电元件的参考高度(目标值)。图10的纵坐标轴表示摇摆方向的共振频率。当压电元件的高度过大或过小时，摇摆方向的峰值频率发生变化。即，当压电元件的高度未在允许范围内时，其不适合作为悬架的特性。
64.在步骤st5中，检测压电元件31和32的高度。将检测到的压电元件31、32的高度与参考值进行比较，并将比较结果反馈给光照射装置110的控制单元113。当检测到的高度大于第一阈值时，用于照射后续工件10’的粘合剂50的紫外线数量减少。当检测到的高度小于第二阈值时，照射后续工件10'的粘合剂50的紫外线数量增加。
65.(6)st6步骤(粘合剂预固化步骤)
66.在步骤st6中，预固化粘合剂50。本说明书中提及的术语“预固化”是指在粘合剂50被步骤st10的加热装置130完全固化之前，将粘合剂50的表面附近固化到一定程度。
67.例如，通过在致动器安装部15和16上吹高温气体(空气或惰性气体)，粘合剂50的表面附近在一定程度上固化。由此，防止压电元件31和32移动。这里提到的高温气体是指加热到足以在短时间内固化粘合剂50的温度的气体(例如惰性气体)。然而，根据诸如粘合剂50的性质等条件变化，可以省略步骤st6。
68.(7)st7步骤(涂布额外的粘合剂的步骤)
69.在步骤st7中，向致动器安装部15和16供给额外的粘合剂。例如，根据需要将粘合剂50涂布到压电元件31和32中的每一个的外周和开口部41和42中的每一个的内表面41a和42a的之间的部分上。配置为涂布粘合剂50的装置可以与图7所示的粘合剂供给装置100相同。然而，根据粘合剂50的性质或过程中的条件的不同，可以省略步骤st7。
70.(8)步骤st8(额外照射紫外线的步骤)
71.在步骤st8中，用紫外线照射在步骤st7中添加的粘合剂。此时使用的光照射装置可以与图8所示的光照射装置110相同。通过用紫外线照射添加的粘合剂，增加粘合剂的粘度。通过添加粘合剂，可以更牢固地固定压电元件31和32。然而，根据工艺中条件的不同，省略步骤st8。
72.(9)步骤st9(施加导电材料70b的步骤)
73.在步骤st9中，未固化的导电材料70b施加到第一压电元件31的顶面上的电极62和基板11之间的部分。未固化的导电材料70b也被施加到第二压电元件32的顶面上的电极和基板11之间的部分。
74.(10)st10步骤(粘合剂完全固化步骤)
75.在步骤st10中，将多个悬架10送入加热装置130(如图11所示)。在加热装置130的装置主体131的内部布置有诸如加热器132等的热源和支撑体133。放置在支撑体133上的多个悬架10由加热器132加热。容纳在装置主体131中的多个悬架10通过批量处理同时加热。加热器132将悬架10加热到适合固化粘合剂50和导电材料70a和70b中的每一个的温度。如果加热温度设定为低于压电元件31和32的居里点，并且理想地低于居里点的一半就足够了。
76.在步骤st10中，同时加热粘合剂50和导电材料70a和70b。由此，粘合剂50完全固化，并且导电材料70a和70b也固化。本文提到的术语“完全固化”是指通过不仅固化粘合剂50的表面附近而且固化粘合剂50的内部来获得实用的固定强度的一种状态。
77.通过进行上述一系列制造步骤，粘合剂50固化，压电元件31和32分别固定到致动器安装部15和16上。导电材料70a固化，由此固定压电元件31和32中的每一个和端子21a和21e中的每一个之间的连接状态。此外，导电材料70b被固化，由此压电元件31和32中的每一个与基板11之间的连接状态得到固定。
78.根据本实施例的制造方法，粘合剂50的粘度通过步骤st3(紫外线照射)增加。由此，防止压电元件31和32的位置偏移。例如，当工件10’由传送梭91传送时，防止压电元件31和32因振动而移动。在压电元件31和32按照上述方式保持在预定位置时，将工件10’引入加热装置130中。然后，通过加热装置130加热粘合剂50，从而粘合剂50完全固化。从而，可以将压电元件31和32精确地固定到致动器安装部15和16的预定位置。
79.在本实施例中，在步骤st5中，检测压电元件31和32的高度，并将检测结果反馈到光照射装置110，从而调节粘合剂50的粘度。从而，可以使压电元件31和32的高度更接近参考值，并且避免摇摆振动模式的变化。
80.图12示出了根据第二实施例的悬架10a的一部分。关于悬架10a，与第一实施例的悬架10相同的部分，即悬架10和10a共同的部分由共同的附图标记表示。
81.与第一实施例的悬架10的情况一样，根据第二实施例所述的悬架10a包括负载梁13和挠性件14。滑动件23安装在形成在挠性件14上的舌形件22上。
82.致动器安装部15a和16a设置在滑动件23的两侧。第一压电元件31布置在第一致动器安装部15a上。图13示出了第一致动器安装部15a的横截面。第二致动器安装部16a(图12所示)具有与第一致动器安装部15a基本相同的构造。因此，下文将描述第一致动器安装部15a，而省略第二致动器安装部16a的描述。
83.如图13所示，压电元件31的一端部31a通过粘合剂50固定到金属基座20的第一支撑部20a。压电元件31的另一端部31b通过粘合剂50固定到金属基座20的第二支撑部20b。粘合剂50具有电绝缘特性。压电元件31的第一电极61通过导电材料70a与致动器安装部15a的第一导体21f电连续。压电元件31的第二电极62通过导电材料70b与致动器安装部15a的第二导体21g电连续。
84.图14是示出悬架10a的制造工序的流程图。
85.在步骤st11(涂布粘合剂的步骤)中，未固化的粘合剂50涂布到致动器安装部15a和16a的支撑部20a和20b上。
86.在步骤st12(紫外线照射步骤)中，通过用紫外线照射粘合剂50，粘合剂50的粘度增加。
87.在步骤st13(放置压电元件的步骤)中，将压电元件31和32放置在施加到致动器安装部15a和16a的粘合剂50上。通过步骤st12增加粘合剂50的粘度。因此，防止压电元件31和32移动离开预定位置。
88.在步骤st14(检测高度的步骤)中，检测压电元件31和32的高度。将检测到的压电元件31和32的高度与参考值进行比较，并将比较结果反馈给光照射装置110(如图8所示)。当检测到的高度大于第一阈值时，照射后续工件的粘合剂50的紫外线的数量减少。当检测到的高度大于第二阈值时，照射后续工件的粘合剂的紫外线的数量增加。
89.在步骤st15(粘合剂的预固化)中，粘合剂50被预固化。例如，通过在致动器安装部15a和16a上吹高温气体，粘合剂50的表面附近在一定程度上固化。由此，防止压电元件31和32移动。然而，根据诸如粘合剂50的性质等条件，可以省略步骤st15。
90.在步骤st16(施加导电材料的步骤)中，未固化的导电材料70a和70b被供给到第一致动器安装部15a。此外，未固化的导电材料70a和70b被供给到第二致动器安装部16a。
91.在步骤st17(完全固化步骤)中，将多个悬架10a容纳在加热装置130中(如图11所示)。这些悬架10a在加热装置130中被加热，由此粘合剂50和导电材料70a和70b被固化。本实施例的悬架10a使得可以将压电元件31和32固定到预定位置，由此悬架10a尤其可以在改善偏航模式下的谐振特性方面表现出效果。
92.毫无疑问，在实施本发明的过程中，不仅悬架的特定方面可以进行不同的修改和实施，而且构成致动器安装部的每个元件例如压电元件、粘合剂、导电材料等的特定方面都可以进行不同的修改和实施。此外，粘合剂供给装置、光照射装置、元件供给装置等也可以以各种配置实施。
93.本领域技术人员将容易想到其他优点和修改。因此，从广义上来说，本发明不限于本文示出和描述的具体细节和代表性实施例。因此，在不脱离由所附权利要求及其等同物所限定的总体发明构思的精神或范围的情况下，可以进行各种修改。

技术特征：

1.一种包括致动器安装部(15、16)，(15a、16a)的磁盘驱动器悬架的制造方法，压电元件(31、32)将安装到所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)上，其特征在于，所述方法包括：将对紫外线有反应性的粘合剂(50)涂布到所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)上；用紫外线照射涂抹到所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)上的粘合剂(50)，从而增加粘合剂(50)的粘度；将所述压电元件(31、32)设置在粘度增加的粘合剂(50)上；加热其上布置有所述压电元件(31、32)的致动器安装部(15、16)，(15a、16a)，以及通过加热使粘合剂(50)固化，从而将所述压电元件(31、32)固定在所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)上。2.根据权利要求1所述的磁盘驱动器悬架的制造方法，其特征在于，还包括：在所述压电元件(31、32)的电极(61、62)与所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)的导体(21c、21f、21g)之间的部分施加热固性导电材料(70a、70b)；以及同时加热粘合剂(50)和所述导电材料(70a、70b)从而固化粘合剂(50)和所述导电材料(70a、70b)。3.根据权利要求1所述的磁盘驱动器悬架的制造方法，其特征在于，还包括：在将所述压电元件(31、32)设置在所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)上之后，向所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)涂抹额外的粘合剂；以及用紫外线照射所添加的粘合剂，从而增加添加的粘合剂的粘度。4.根据权利要求1所述的磁盘驱动器悬架的制造方法，其特征在于，还包括将所述压电元件(31、32)设置在所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)上之后，通过在所述粘合剂(50)上吹高温气体来通过加热固化粘合剂(50)，从而固化粘合剂(50)的表面附近。5.根据权利要求1所述的磁盘驱动器悬架的制造方法，其特征在于，还包括：检测设置在所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)上的所述压电元件(31、32)的高度；和根据检测到的压电元件(31、32)的高度调整紫外线的照射量。6.一种磁盘驱动器悬架(10),(10a)的制造设备，包括其上安装压电元件(31、32)的致动器安装部(15、16),(15a、16a)，其特征在于，包括：一传送梭(91)，保持所述磁盘驱动器悬架(10、10a)；一驱动机构(92)，移动所述传送梭(91)；一粘合剂供给装置(100)，将对紫外线有反应的粘合剂(50)施加到所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)；一光照射装置(110)，对涂布的粘合剂(50)照射紫外线，由此提高粘合剂(50)的粘度；一元件供给装置(120)，将所述压电元件(31、32)布置在粘度增加的粘合剂(50)上，以及一加热装置(130)，加热其上布置有所述压电元件(31、32)的致动器安装部(15、16)，(15a、16a)，从而固化粘合剂(50)。7.根据权利要求6所述的磁盘驱动器悬架的制造设备，其特征在于，还包括：一导电材料供给装置(80)，将热固性导电材料(70a、70b)施加到所述压电元件(31、32)
的电极(61、62)与所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)的导体(21c、21f、21g)之间的部分。8.根据权利要求6所述的磁盘驱动器悬架的制造设备，其特征在于，还包括：一高度检测器(121)，检测设置在所述致动器安装部(15、16)，(15a、16a)上的压电元件(31、32)的高度，和一控制单元(113)，根据检测到的所述压电元件(31、32)的高度调整紫外线的照射量。

技术总结

将对紫外线有反应的粘合剂(50)施加到悬架(10)的致动器安装部(15、16)上。将导电材料(70a、70b)施加到致动器安装部(15、16)的导体等。当用紫外线照射粘合剂(50)时，粘合剂(50)的粘度增加。将压电元件(31、32)放置在粘度增加的粘合剂(50)上。此后，粘合剂(50)和导电材料(70a、70b)被加热，由此粘合剂(50)和导电材料(70a、70b)固化。70b)固化。70b)固化。