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一种化学机械抛光研磨液过滤装置[实用新型专利]

专利名称：一种化学机械抛光研磨液过滤装置专利类型：实用新型专利

甜菜斑蝇发明人：熊世伟电渗析实验装置

申请号：CN201420117475.4

变压器防盗报警器申请日：20140314

公开号：CN203738567U

公开日：

20140730

专利内容由知识产权出版社提供

耐高温盘根

摘要：本实用新型提供一种化学机械抛光研磨液过滤装置，应用于包括研磨液输入管路和研磨液输出管路的化学机械抛光研磨液供应系统中，包括：用于过滤从所述研磨液输入管路中输入的研磨液的研磨液过滤器；研磨液过滤器内部结构为网状结构；分别通过连接件固定在所述研磨液过滤器两端的第一T型输送管路和第二T型输送管路；用于输入去离子水的去离子水输入管路，通过连接件将其固定在所述第一T型输送管路的一接口；用于输出经过研磨液过滤器的去离子水的去离子水输出管路，通过连接件将其固定在所述第二T型输送管路的一接口。本实用新型可以减少研磨液结晶的源头，有效防止研磨液的结晶通过输送管路进入抛光界面，避免刮伤晶圆，提高晶圆的性能。

申请人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

地址：100176 北京市大兴区大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号

国籍：CN无线表决器

原水管代理机构：上海光华专利事务所

代理人：余明伟

本文发布于:2024-09-22 15:32:34，感谢您对本站的认可！

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