3.2.1碎硅片介绍
碎硅片：单晶硅片在生产过程中破损产生的碎片，称为碎硅片。 图3.2.1碎硅片
碎硅片原料中通常含有杂质，如：脏片、多层片、薄片、小碎片、垃圾。
除去上述杂片，按半导体阻态，可将碎硅片可分为：高阻、重惨；其中高阻片，按其生产工艺可分为：原片、抛光片、工艺片。
表3.2.1.1 碎硅片分类
3.2.1.2碎硅片分类介绍
种 类 简 介 图 片
原片高阻 高阻片，表面干净，两面同为灰的碎硅
片；或表面干净，两面同为光泽的碎硅片；
或表面干净，一面为灰一面为光泽的碎
硅片统称为原片。
抛光片高阻 高阻片，表面干净，两面同时可作镜子的
碎硅片；或表面干净，一面可作镜子，另
一面光泽或呈灰的碎硅片统称为抛光
片。
工艺片高阻
高阻片的边缘重惨、抛光片表面重惨、带
条纹的碎硅片、带格子的碎硅片、带颜
碎硅片等称为工艺片。
参见单晶硅片工艺片图‐带
、带格子
脏片
含石墨、胶、锈、油渍等污物的碎硅片统
称为脏片。
羽绒睡袋表面带胶的脏片
多层片
两层或两层以上叠加在一起的碎硅片统称为多层片。
薄片
厚度约在250μｍ以下，分选表笔无法检
测的碎硅片。
小碎
片
细小、分选表笔无法检测的碎硅片。
电弧螺柱焊机
碎粉 2mm 以下称为碎粉
表3.2.1.2 碎硅片分类介绍
3.2.2单晶硅片（档片）介绍
单晶硅片：单晶硅片在生产过程中破损产生的硅片，又称档片。
图3.2.2单晶硅片
3.2.2.1单晶硅片分类
单晶硅片原料中通常含有杂质，如：脏片、多层片、垃圾。除去上述杂片，按半导体阻态、尺寸、极性分类如下：
分类方式 种 类
原片高阻、抛光片高阻、工艺片高阻、 阻态
高阻片
镀铜·铝片（镀铜·铝片属于工艺片） 生产工艺
重惨片
尺寸 12寸、8寸、6寸、5寸、4寸
极性 P型高阻、N型高阻、P/N混合型高阻。
表3.2.2.1 单晶硅片分类
3.2.2.2单晶硅片分类介绍
种 类 简 介 图 片
原片高阻 参见碎硅片原片简介
抛光片高阻 参见碎硅片抛光片简介
工艺片高阻 参见碎硅片工艺片简介
脏片 参见碎硅片脏片简介
多层片 参见碎硅片多层片简介
表3.2.2.2 单晶硅片分类介绍
3.2.3头尾料介绍
头尾料：在拉晶、切断及切方过程中，产生的废硅料统称称为头尾料。
3.2.3.1头尾料分类
头尾料原料中通常含有杂质，如：小料、脏料、碎粉（原料碎粉、高阻碎粉）、垃圾等，出去上述硅料我们对头尾料进行如下分类：
分类方式 种 类
来源 自产料、外买料
阻态 高阻、重惨、局部重惨（半高半低）
生产来料 边皮料、头尾料、头尾片、碎晶棒、吊料
极性、电阻率 P型、N型、P/N混合型
表3.2.3.1 头尾料分类
3.2.3.2头尾料分类介绍公牛辅助
种 类 简 介 图 片
边皮料 切方过程中，产生的废硅料
里氏木霉头尾片 切断过程中，产生的废硅料
头尾料 切断过程中，产生的废硅料
碎晶棒 报废的单晶硅棒敲碎后产生的整段硅棒热转印墨水
吊 料 拉晶过程中，未充分融化而报废的硅料
脏料 含有石英、石墨等杂物的硅料
带石墨 带石英 小料 直径小于10mm的碎硅料
70sec碎粉 直径小于3mm的硅料
表3.2.3.2 头尾料分类介绍
3.2.4埚底料介绍
埚底料：在单晶硅棒（拉晶）生产过程中，在拉晶炉的内壁表面、单晶炉石英坩埚表面附着、残留的硅料，称为埚底料，可循环使用作为单晶生产
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