打开收音机第3章 精密和超加工的机床设备 3 -1 机电工程学院 制造工程系
Guangdong University of Technology
July,27, 2013
3.精密和超加工的机床设备壁炉门
精密和超精密加工的基础是精密加工工艺、精密加工装备及其环境、精密 加工测控手段。 本章的主要内容
1.精密和超精密机床发展概况 2.典型超精密机床的简介 3.精密主轴部件 4.精密机床的总体布局和床身导轨 5.进给驱动系统 6.微量进给装置 7.机床的稳定性和减振隔振 8.减少热变形和恒温系统 熔断器盒3.1 精密和超精密机床发展概况
精密、超精密机床是实现精密、超精密加工的首要基础条件 随着光电子、微电子、通讯、精密光学
、新能源、精密传感 器、军事科学、航空航天等技术等的迅猛发展，对精密、超 精密零件的加工的需求越来越高，使得对精密、超精密机床 的研究和开发显得十分迫切。 美国是国际上最早研究和掌握超精密机床开发技术的国家， 从超精密加工工艺到超精密机床结构布局、超精密功能部件 、精密加工的误差控制补偿到超精密加工的环境控制等各方 面，一直走在世界的前列。 日本的精密、超精密加工技术起步较晚，但日本有着雄厚的 工业技术和市场应用基础。随着光电子、微电子、通讯、精 密光学制造的迅猛发展，日本在民用超精密加工技术及其装 备领域占有很重要的地位。 手机背光>内衣加工3.1 精密和超精密机床发展概况
1.美国 50年代末期，随着国防工业和尖端技术发展的需要， 美国首先发展了金刚石刀具超精密切削技术，当时称为 “SPDT技术” (Single Point Diamond Turning)，并 发展了相应的空气轴承主轴的超精密机床。比较有代表的有 ：
杏仁脱皮机
Lawrence Livermore国家实验室(LLL或LLNL)于1983—1984年 研制成功的DTM-3和LODTM大型金刚石超精密车床，这两台机床是现 在世界公认的水平最高的、达到当前技术最前沿的大型超精密机床。 Union Carbide公司、Moore Special Tool公司和美国空军兵器研 究所一起于20世纪90年代制订了一个以0.1μm形状精度，加工直径为 800mm的大型球面光学零件的超精加工规划，即举世闻名的POMA规 划(Point One Micrometer Accuracy)。它对机床提出了极严格的 要求。这规划已经实现：例
如，美国Moore公司现在生产的Nanotech 一500FG 轴数控超精密机床的主要精度指标都已达到上述要求。
3.1 精密和超精密机床发展概况
2. 英国
英国是较早从事精密和超精密加工 技术研究的国家之一。英国Cranheld Precision Engineering公司(CUPE)以其 精加工技术闻名于世，曾生产HATC 300等超精密车床。 1991年Cranfield公 司研制成功用于加工 X 射线天体望远 镜用反射镜的2.5mx2.5m大型超精密机 床，可用于精密磨削和坐标测量。这是 迄今第二个能制造这样大的大型超精密 机床的单位。
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