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一种用于硅片的单组份金刚线切割液[发明专利]

专利名称：一种用于硅片的单组份金刚线切割液专利类型：发明专利

发明人：胡磊，张浩，陈珍珍，景欣欣，杜威劲

申请号：CN201711118431.8

中空玻璃全自动打胶机

申请日：20171113

公开号：CN109777588A甲基化分析

丝光沸石

公开日：

相册加工设备

20190521

专利内容由知识产权出版社提供

回收锡摘要：本发明公开了一种用于硅片的单组份金刚线切割液的制备方法。按重量百分比包括以下组分：具有PO‑EO‑PO结构的嵌段聚醚30‑50％，抑泡渗透剂6‑15％，非硅消泡剂3‑10％，余量为水。本发明在使用时不仅泡沫低、润湿快、硅粉分散效果好，还具有硅片线痕少、碎片比例低、排片易清洗等优点，大大提升良率，切割良率可达95％以上。

申请人：苏州禾川化学技术服务有限公司

砂轮修整器地址：215000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区01幢301室

国籍：CN

代理机构：苏州华博知识产权代理有限公司

代理人：何蔚

本文发布于:2024-09-22 03:37:36，感谢您对本站的认可！

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