(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910268787.2
调节臂
蚀刻刀模(22)申请日 2019.04.04
地址 211123 江苏省南京市江宁区湖熟工
业集中区波光路18号
(72)发明人 梁思远 王国力 吴玉堂 朱敏
刘建芬 刘旭东
(74)专利代理机构 南京中律知识产权代理事务
所(普通合伙) 32341
代理人 李建芳
(51)Int.Cl.
G02B 13/00(2006.01)
G02B 13/22(2006.01)
(54)发明名称
一种消场曲及消像散的355nm紫外远心f-
theta镜头
(57)摘要
本发明公开了一种消场曲及消像散的355nm
紫外远心f -theta镜头，包括沿入射光线传输方
四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月
形负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜
为平凸正透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五
透镜为双凸正透镜，第六透镜为双平面保护窗口
片。本发明通过特定结构光学系统的设置，使得
远心F -theta镜头的场曲、及像散降低非常显著；
进一步，借助自由曲面的较高的设计自由度和灵
活的空间布局，以及透镜组光焦度的合理分配，
像散小于0.04mm，场曲控制在0.02mm内；远心度
光微精细加工或者紫外激光钻孔等对平场要求
苛刻的领域。权利要求书2页 说明书6页 附图2页CN 110146968 A 2019.08.20 C N 110146968
A
1.一种消场曲及消像散的355nm紫外远心f -theta镜头，其特征在于：包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸正透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为双凸正透镜，第六透镜为双平面保护窗口片。
2.如权利要求1所述的消场曲及消像散的355nm紫外远心f -theta镜头，其特征在于：沿入射光线传输方向，第一透镜的两面依次为第一物侧面和第一像侧面，第一像侧面为使用扩展多项式表征的自由曲面，
所使用的扩展多项式公式为：
其中，j＝[(m+n)2+m+3n]/2+1，z为自由曲面矢高，x和y为各面局部坐标，c为顶点曲率，k 为圆锥系数，Cj为x m y n 多项式系数，r为距离光轴镜面口径，m取值范围0～10，n取值范围0～10，归一化系数为1。
3.如权利要求1或2所述的消场曲及消像散的355nm紫外远心f -theta镜头，其特征在于：-0.8<f1/f0<-0.4；2.0<f2/f0<2.5；1.0<f3/f0<2.0；2.0<f4/f0<3.0；2.0<f5/f0<2.5，其中，f1为第一透镜焦距，f2为第二透镜焦距，f3为第三透镜焦距，f4为第四透镜焦距，f5为第五透镜焦距，f0为系统总焦距。
改性材料
4.如权利要求1或2所述的消场曲及消像散的355nm紫外远心f -theta镜头，其特征在于：第一透镜的中心厚度为10±0.2mm，第二透镜的中心厚度为15±0.2mm，第三透镜的中心厚度为24±0.2mm，第四透镜的中心厚度为20±0.2mm，第五透镜的中心厚度为20±0.2mm，第六透镜的中心厚度为3±0.2mm。
氢化松香
训练监控5.如权利要求1或2所述的消场曲及消像散的355nm紫外远心f -theta镜头，其特征在于：第一透镜的外径为50-68mm，第二透镜的外径为72-85mm，第三透镜的外径为100-108mm，第四透镜的外径为120-125mm，第五透镜的外径为135mm，第六透镜的外径为135mm。
有一个t形工件
6.如权利要求1或2所述的消场曲及消像散的355nm紫外远心f -theta镜头，其特征在于：沿入射光线传输方向，第一透镜的两面依次为第一物侧面和第一像侧面，第二透镜的两面依次为第二物侧面和第二像侧面，第三透镜的两面依次为第三物侧面和第三像侧面，第四透镜的两面依次为第四物侧面和第四像侧面，第五透镜的两面依次为第五物侧面和第五像侧面，第六透镜的两面依次为第六物侧面和第六像侧面；第一物侧面为球面，第一像侧面为自由曲面；第二物侧面为球面，第二像侧面为球面；第三物侧面为球面，第三像侧面为球面；第四物侧面为球面，第四像侧面为球面；第五物侧面为球面，第五像侧面为球面；第六物侧面为平面，第六像侧面为平面。
7.如权利要求6所述的消场曲及消像散的355nm紫外远心f -theta镜头，其特征在于：第一物侧面的曲率半径为-41.729±2mm，第一像侧面的曲率半径为776.55±2mm；第二物侧面的曲率半径为-168.30±2mm，第二像侧面的曲率半径为-86.40±2mm；第三物侧面的曲率半径为无穷大，第三像侧面的曲率半径为-98.55±2mm；第四物侧面的曲率半径为-363.33±2mm，第四像侧面的曲率半径为-142.14±2mm；第五物侧面的曲率半径为682.42±2mm，第五像侧面的曲率半径为-217.33±2mm。
8.如权利要求6所述的消场曲及消像散的355nm紫外远心f -theta镜头，其特征在于：第
权 利 要 求 书1/2页2CN 110146968 A
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